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采用磁控濺射的方法，利用氬氣和甲烷為氣源,在中國(guó)較早汽車股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜。利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)試驗(yàn)臺(tái)架，研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)節(jié)能的影響.試驗(yàn)結(jié)果表明，在邊界潤(rùn)滑條件下，DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67％,抗磨損性能大幅度提高；在實(shí)際使用工況下,配氣機(jī)構(gòu)的摩擦損失降低6％，DLC涂層零件可以降低發(fā)動(dòng)機(jī)摩擦損失,適用于汽車低碳技術(shù)路線。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層...

類金剛石(DLC)由于其優(yōu)越的耐摩擦學(xué)性能和抗腐蝕性能.生物相容性,被認(rèn)為是一個(gè)有前途的生物醫(yī)學(xué)材料.DLC薄膜與各種原子鍵結(jié)構(gòu)和成分結(jié)合,應(yīng)用于骨科、心血管和牙科等醫(yī)療領(lǐng)域.細(xì)胞可在DLC膜生長(zhǎng),證實(shí)其沒(méi)有任何細(xì)胞毒性和炎性.DLC涂層在骨科中應(yīng)用:減少磨損、腐蝕和碎片的形成.DLC涂層也減少凝血活性,通過(guò)降低血小板粘附和開(kāi)啟.然而,一些相互矛盾的結(jié)果說(shuō)DLC涂層沒(méi)有明顯改進(jìn)不銹鋼支架或股骨頭的性能的觀察.這個(gè)爭(zhēng)議應(yīng)該討論更詳細(xì)的涂層的基本信息,,如原子鍵結(jié)構(gòu)、成分和,或電子結(jié)構(gòu)此外,應(yīng)該仔細(xì)考慮DLC膜的不穩(wěn)定性,所造成的高水平的殘余應(yīng)力和不良的附著力.DLC涂層應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域,需要選...

離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法，較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜，重點(diǎn)考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對(duì)薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜，薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢(shì)，而膜中sp3含量變化趨勢(shì)則與之相反。在選定的實(shí)驗(yàn)條件下，-100V偏壓時(shí)所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤(rùn)滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD...

類金剛石薄膜（diamond-likecarbon,DLC）是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶碳薄膜，具有一系列類似于金剛石的多種優(yōu)異性能，如高硬度、低摩擦系數(shù)、高耐磨耐蝕性、高熱導(dǎo)率、在可見(jiàn)到紫外光范圍內(nèi)透明、良好的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)異的生物兼容性及表面光滑等，可多用于機(jī)械、電子、光學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。本項(xiàng)目制備的類金剛石薄膜具有質(zhì)量穩(wěn)定，與基體結(jié)合強(qiáng)，硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)和透光性可調(diào)控，耐摩擦磨損和熱穩(wěn)定性好等綜合優(yōu)良性能。制備工藝方法具有成膜速率高，可實(shí)現(xiàn)低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜，與金剛石相比具有更高的性能價(jià)格比。類金剛（DLC）石薄膜的分類。浦東新區(qū)電鍍DLC涂層廠DLC涂層（類金剛...

DLC形式的碳膜因其高硬度、低摩擦系數(shù)成為一種具有廣泛應(yīng)用前景的鍍層，但其通常具有較高的內(nèi)應(yīng)力因而薄膜沉積的厚度受到限制。類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜，是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡(jiǎn)稱，它是一類性質(zhì)近似于金剛石，具有高硬度，高電阻率。良好光學(xué)性能等，同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。了它作為刀具對(duì)鋼鐵材料的加工應(yīng)用。以sp2雜化為主的高硬度類石墨膜，具有較高的硬度，又有低的摩擦系數(shù)，內(nèi)應(yīng)力比較小，因而可以沉積相對(duì)較厚的膜層，在與鋼鐵材料接觸時(shí)不會(huì)出現(xiàn)觸媒反應(yīng)，是一種優(yōu)異的抗磨減摩...

DLC薄膜制備技術(shù)的研究開(kāi)始于七十年代。1971年Aisenberg和Chabot成功地利用碳離子束沉積出DLC薄膜以來(lái)，離子束沉積法(Ionbeamdeposition)是開(kāi)始用于制備DLC膜。其后研究者發(fā)現(xiàn)了一系列生成DLC薄膜的辦法。Maissel等在《薄膜工藝手冊(cè)》一書中指出，大多數(shù)能夠在氣相中沉積的薄膜材料也能在液相中通過(guò)電化學(xué)方法合成，反之亦然。給DLC薄膜的制備帶來(lái)了新的思路，現(xiàn)在除了常見(jiàn)的化學(xué)氣相沉積(CVD)和物相沉積(PVD)，也可以通過(guò)液相的電化學(xué)沉積來(lái)制備DLC膜。因此通常在兩個(gè)電極之間施加很高的電壓，即利用強(qiáng)電場(chǎng)使溶液中的C-H、C-O和O-H等鍵發(fā)生斷裂生成碳碎片，...

類金剛石（英文：Diamond-likeCarbon縮寫DLC）是一種非晶碳，這種材料表現(xiàn)出很多與金剛石相類似的性質(zhì)，DLC常常作為涂層材料使用。類金剛石的微觀結(jié)構(gòu)為了弄清楚類金剛石的概念，我們首先研究一下碳元素。碳元素存在于自然界當(dāng)中，我們平時(shí)看到的鉆石、石墨、富勒烯、碳納米管等等都是碳元素形成的。當(dāng)碳原子以sp3鍵的雜化軌道行程共價(jià)鍵的時(shí)候，就會(huì)形成金剛石。當(dāng)碳原子以sp2鍵的雜化軌道行程共價(jià)鍵的時(shí)候，就會(huì)形成石墨。當(dāng)以碳原子sp2、sp3鍵混合雜化的時(shí)候，形成的就是類金剛石了。類金剛石常常是以薄膜形式使用的，類金剛石薄膜具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等，同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的...

在眾多類型的碳材料中，類金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其優(yōu)異的性能吸引了世界范圍內(nèi)的關(guān)注和研究。DLC薄膜的結(jié)構(gòu)處于金剛石和石墨結(jié)構(gòu)之間的，主要是由金剛石結(jié)構(gòu)的sp3雜化碳原子和石墨結(jié)構(gòu)的sp2雜化碳原子混雜在一起形成的復(fù)雜三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)構(gòu)成[27]。根據(jù)晶體材料的特征分析，DLC薄膜通常呈現(xiàn)非晶態(tài)或非晶納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)。根據(jù)氫的有無(wú)可以分為含氫DLC薄膜(a-C:H)和不含氫DLC薄膜(a-C)。根據(jù)不同的含氫量和sp3與sp2雜化鍵的比例又分為不同的細(xì)類,如圖1-1所示。在2005年德國(guó)工程師學(xué)會(huì)定制的“碳涂層”標(biāo)準(zhǔn)中，又可將DLC薄膜細(xì)分為不同的七大類[27]。...

類金剛石薄膜的制備方法根據(jù)制備DLC薄膜碳源的不同，可將DLC薄膜的制備方法分為固體靶材為碳源的物相沉積法和含碳?xì)怏w為碳源的化學(xué)氣相沉積法。其中DLC薄膜的制備方法和性能也隨著相應(yīng)沉積技術(shù)的發(fā)展獲得改進(jìn)和提升。傳統(tǒng)的氣相沉積技術(shù)制備薄膜的能量來(lái)自于熱源。為制備性能更為優(yōu)異，功能應(yīng)用多樣化的新型特殊薄膜，傳統(tǒng)的鍍膜技術(shù)無(wú)法滿足實(shí)際的需求。為使薄膜達(dá)到更優(yōu)異的性能，逐漸地把各種氣體放電技術(shù)引入到薄膜材料制備的過(guò)程中，進(jìn)而發(fā)展形成了離子鍍膜技術(shù)。離子鍍膜技術(shù)能很大程度上增加膜層粒子的離化率，提高膜層粒子的整體能量，終高效地進(jìn)行薄膜的制備。相應(yīng)的，對(duì)于制備DLC薄膜的兩種主要方法也進(jìn)行了一定程度的補(bǔ)充...

DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性，而且具有很低的摩擦系數(shù)，一般低于0.2，是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化，其摩擦系數(shù)比較低可達(dá)0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù)，但加入H能提高潤(rùn)滑作用，環(huán)境也對(duì)摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來(lái)說(shuō)，DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜（如上述的TiN、TiC、TiAlN等）相比，在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。國(guó)此，DLC膜有可能在許多摩擦學(xué)領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。廣州有色金屬研究院制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達(dá)0.13-0.15的摩擦系數(shù)。優(yōu)化的沉積類金剛石(D...

采用高功率脈沖磁控濺射技術(shù)制備DLC膜層,研究了偏壓的變化對(duì)膜層結(jié)構(gòu)及主要力學(xué)性能的影響.利用掃描電鏡、原子力顯微鏡、拉曼光譜儀、X射線光電子能譜儀、納米壓入儀、劃痕儀和磨擦磨損試驗(yàn)儀分析檢測(cè)了DLC膜結(jié)構(gòu)與性能.結(jié)果表明:偏壓的提高,有利于改善DLC膜的表面光潔度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏壓時(shí)的9nm降低至偏壓為-350V的7nm;致密性的提高使沉積速率略有下降,膜層厚度減小.偏壓的增加,DLC膜內(nèi)部sp3含量先增加后減小趨勢(shì),在偏壓為-250V時(shí),DLC膜中sp3含量比較高.偏壓的增大,DLC膜的硬度、楊氏模量和摩擦磨損等主要力學(xué)性能均呈先增大后減小的趨勢(shì),并在偏壓為...

采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測(cè)試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學(xué)成分和原子價(jià)鍵結(jié)構(gòu)等.采用原位納米壓入技術(shù)、涂層附著力劃痕儀、球盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)對(duì)薄膜的力學(xué)和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了測(cè)試.結(jié)果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結(jié)構(gòu),組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內(nèi)sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應(yīng)力由135MPa增至538MPa,結(jié)合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢(shì).多層膜在大氣和真空中的摩擦因...

研究結(jié)果表明，采用射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法，可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜與基材之間存在較大的內(nèi)應(yīng)力，薄膜牢度較小，易剝落，且不耐磨。用旋轉(zhuǎn)磁控電弧離子鍍技術(shù)，在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過(guò)渡層，然后再用射頻等離子體化學(xué)氣相沉積(rfPEVCD)方法在過(guò)渡層上制備了DLC薄膜，發(fā)現(xiàn)所制備的DLC碳膜的附著牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD...

類金剛石膜是一類性質(zhì)類似于金剛石的具有多項(xiàng)質(zhì)量性能的新型膜材料，它的面世是人類膜材料科學(xué)的一大進(jìn)步。由于類金剛石膜的高耐磨性、低摩擦系數(shù)、熱穩(wěn)定性、紅外透光性、高電阻、低介電常數(shù)及生物相容性，適合于多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用，同時(shí)類金剛石膜的制備方法簡(jiǎn)單，使其引起人們的關(guān)注。我們來(lái)談?wù)勵(lì)惤饎偸さ陌l(fā)現(xiàn)、結(jié)構(gòu)和制備方法，介紹一下多層類金剛石膜在機(jī)械、光學(xué)、醫(yī)療、電子、航天等領(lǐng)域的應(yīng)用，總結(jié)一下它的研究現(xiàn)狀和發(fā)展前景。隨著人類對(duì)金剛石的研究的深入和其應(yīng)用的，人類對(duì)其的需求越來(lái)越大，但是，由于制備金剛石的工業(yè)化工藝條件比較難以實(shí)現(xiàn)，因此人們渴望能有一種可以替代金剛石的新材料。類金剛石膜（diamond-like...

表面硬質(zhì)涂層硬度的檢測(cè)方法,并分別利用顯微硬度計(jì)和納米壓入儀對(duì)類金剛石(DLC)涂層進(jìn)行了硬度檢測(cè)試驗(yàn),運(yùn)用Jonsson-Hogmark提出的顯微硬度模型進(jìn)行了涂層本征硬度的推算,并與納米壓入硬度進(jìn)行了對(duì)比分析,結(jié)果表明,在加載力為1N時(shí),兩者具有較好的一致性,推算結(jié)果可信.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于0.1結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。DLC薄膜的功能特性是什么。...

簡(jiǎn)單說(shuō)來(lái)，石墨態(tài)的C原子就是sp2型雜化，金剛石態(tài)的C原子就是sp3型雜化。類金剛石膜DLC，就是C原子以石墨態(tài)和金剛石態(tài)兩種形態(tài)混合的碳膜。這種復(fù)雜形態(tài)對(duì)的碳膜，既有金剛石膜的高硬度，又具有石墨膜的潤(rùn)滑性。DLC的制備由于類金剛石膜的優(yōu)異性能，自它面世以來(lái)，人們就在世界范圍掀起了碳膜的研究熱潮，相繼出現(xiàn)了一系列的碳膜制備技術(shù)?？偟膩?lái)說(shuō)，制備類金剛石膜現(xiàn)在主要是用各種氣相沉積法，根據(jù)制備原理的不同，大體上可以分為物相沉積和化學(xué)氣相沉積，根據(jù)離化碳原子和加熱方法的不同，DLC的制備方法可分為：真空電弧沉積，噴射沉積，等離子沉積，脈沖激光沉積，電子加入CVD法等等。DLC的制備方法不同，工藝條件不...

經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的DLC薄膜合成過(guò)程中，研究人員發(fā)現(xiàn)，合成出來(lái)的DLC薄膜會(huì)因?yàn)椴煌暮铣蓷l件展現(xiàn)出不同的顏色狀態(tài)，DLC薄膜的顏色也許能夠用來(lái)簡(jiǎn)單的判斷DLC的種類。為此，中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院唐永炳研究員及其團(tuán)隊(duì)成員周小龍博士、鄭勇平博士，聯(lián)合日本國(guó)立長(zhǎng)岡技術(shù)科學(xué)大學(xué)齋藤秀俊教授，泰國(guó)國(guó)立同步輻射光源研究所SarayutTunmee博士等，通過(guò)選擇不同物相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）等傳統(tǒng)DLC薄膜沉積方法和改變沉積條件等途徑，對(duì)所獲得DLC薄膜顏色進(jìn)行定量分析，并利用NEXAFS和RBS/ERDA等多種表征手段對(duì)其微結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能進(jìn)行定量分析，同時(shí)結(jié)合從頭算起的性原理模擬計(jì)算，較...

介紹了采用物理相沉積(PVD)技術(shù)制備類金剛石涂層的方法,進(jìn)而論述了涂層的摩擦磨損和結(jié)合力等性能的研究現(xiàn)狀和發(fā)展前景.分析并綜述了類金剛石涂層的技術(shù)發(fā)展,以及制備類金剛石薄膜的方法和影響其性能的多種要素.表面涂有類金剛石薄膜的工件具有較高的硬度、良好的熱傳導(dǎo)率、極低的摩擦系數(shù)、優(yōu)異的電絕緣性能等.類金剛石薄膜(DLCFilms)是近年來(lái)興起的一種以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合生成的亞穩(wěn)態(tài)材料,因其優(yōu)異的減摩和抗磨性能,在摩擦學(xué)領(lǐng)域獲得了應(yīng)用,是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料.DLC涂層的性能研究大多集中在它的摩擦學(xué)特性和結(jié)合力性能,并且作為的涂層材料已被應(yīng)用于汽車、模具、刀具等領(lǐng)域.上海...

類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強(qiáng)、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來(lái)制作復(fù)雜、異型刀具，是未來(lái)刀具的一個(gè)重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積、真空陰極電弧沉積、等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積)與分類.從酸蝕法、施加過(guò)渡層、表面微噴砂處理和摻雜4個(gè)方面分析如何提高膜基結(jié)合力，探討了DLC膜的摩擦性能受濕度、溫度和加工條件的影響。例舉了幾個(gè)國(guó)內(nèi)外DLC涂層硬質(zhì)合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之處,提出了下一步研究工作的重點(diǎn)是優(yōu)化DLC膜的制備工藝、提高膜基結(jié)合力和熱穩(wěn)定性...

Ta-C涂層是一種無(wú)氫碳元素涂層，其sp3與sp2鍵的比值較高。與其他DLC涂層相比，ta-C膜層具有更高的硬度和抗溫性能，并可降低摩擦系數(shù)。該涂層應(yīng)用在汽車工業(yè)的挺桿（氣門頂筒），并一直應(yīng)用至今。Ta-C涂層應(yīng)用于諸如汽車頂桿零件的目的之一是為了減小摩擦，其帶來(lái)的效果是改善了發(fā)動(dòng)機(jī)效率、更少的燃油消耗和更低的CO2排放。對(duì)更佳燃油經(jīng)濟(jì)性和更少污染的推動(dòng)，已將ta-C涂層應(yīng)用在切削刀具和成形工具上。增大汽車行駛里程數(shù)的措施之一是降低汽車自身重量。除了采用超度合金鋼，在車身和發(fā)動(dòng)機(jī)上采用鋁合金已在過(guò)去幾年以來(lái)日益增長(zhǎng)。在汽車和航空航天業(yè)，塑料（包括碳纖維增強(qiáng)塑料CFRP）的應(yīng)用也在日益增長(zhǎng)。...

采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國(guó)較早汽車股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)試驗(yàn)臺(tái)架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)節(jié)能的影響.試驗(yàn)結(jié)果表明,在邊界潤(rùn)滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67％,抗磨損性能大幅度提高；在實(shí)際使用工況下,配氣機(jī)構(gòu)的摩擦損失降低6％.DLC涂層零件可以降低發(fā)動(dòng)機(jī)摩擦損失,適用于汽車低碳技術(shù)路線.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層...

類金剛石薄膜的制備方法根據(jù)制備DLC薄膜碳源的不同，可將DLC薄膜的制備方法分為固體靶材為碳源的物相沉積法和含碳?xì)怏w為碳源的化學(xué)氣相沉積法。其中DLC薄膜的制備方法和性能也隨著相應(yīng)沉積技術(shù)的發(fā)展獲得改進(jìn)和提升。傳統(tǒng)的氣相沉積技術(shù)制備薄膜的能量來(lái)自于熱源。為制備性能更為優(yōu)異，功能應(yīng)用多樣化的新型特殊薄膜，傳統(tǒng)的鍍膜技術(shù)無(wú)法滿足實(shí)際的需求。為使薄膜達(dá)到更優(yōu)異的性能，逐漸地把各種氣體放電技術(shù)引入到薄膜材料制備的過(guò)程中，進(jìn)而發(fā)展形成了離子鍍膜技術(shù)。離子鍍膜技術(shù)能很大程度上增加膜層粒子的離化率，提高膜層粒子的整體能量，終高效地進(jìn)行薄膜的制備。相應(yīng)的，對(duì)于制備DLC薄膜的兩種主要方法也進(jìn)行了一定程度的補(bǔ)充...

類金剛石在電學(xué)性能及應(yīng)用。DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能，一般來(lái)說(shuō)，含氫DLC薄膜電阻率比不含氫的DLC薄膜的高，可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3相的緣故。由于DLC中的sp2相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系，因此沉積工藝和離子束的能量都對(duì)DLC薄膜層電阻率有著很大的影響。由于DLC薄膜的良好導(dǎo)熱性能，它可以作為芯片中銅片散熱器的絕緣電阻，能防止通常功率下因熱膨脹系數(shù)不匹配而引起的銅片抓痕。此外，DLC在腐蝕介質(zhì)中表現(xiàn)出極高的化學(xué)惰性，可以保護(hù)基底免遭外界腐蝕介質(zhì)的溶蝕。純的DLC薄膜表現(xiàn)出極好的耐蝕性，可以抵御各類酸堿甚至王水的侵蝕。另外，DLC薄膜具有較低的電子親和勢(shì)，是一種優(yōu)異的冷陰極場(chǎng)發(fā)射材料...

類金剛石薄膜（diamond-likecarbon,DLC）是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶碳薄膜，具有一系列類似于金剛石的多種優(yōu)異性能，如高硬度、低摩擦系數(shù)、高耐磨耐蝕性、高熱導(dǎo)率、在可見(jiàn)到紫外光范圍內(nèi)透明、良好的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)異的生物兼容性及表面光滑等，可多用于機(jī)械、電子、光學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。本項(xiàng)目制備的類金剛石薄膜具有質(zhì)量穩(wěn)定，與基體結(jié)合強(qiáng)，硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)和透光性可調(diào)控，耐摩擦磨損和熱穩(wěn)定性好等綜合優(yōu)良性能。制備工藝方法具有成膜速率高，可實(shí)現(xiàn)低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜，與金剛石相比具有更高的性能價(jià)格比。DLC碳膜的自潤(rùn)滑機(jī)制和磨損機(jī)理進(jìn)行了探索。浦東銑刀DLC哪家便宜由于天...

類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜，是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡(jiǎn)稱，它是一類性質(zhì)近似于金剛石，具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等，同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式，從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì)：金剛石（diamond）—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合；石墨（graphite）—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合；而如同緒論里所述類金剛石（DLC）—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合，生成的無(wú)定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài)，它沒(méi)有嚴(yán)格的定義，可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳，因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性；所以由類金剛石而來(lái)的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)...

納米壓印是一種理想的光刻技術(shù),它具有生產(chǎn)率和分辨率高的特點(diǎn).脫模過(guò)程中,粘連限制了圖形的精確轉(zhuǎn)移,因此,抗粘連成為納米壓印技術(shù)需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題.氟化自組裝單分子層是一種被多種應(yīng)用的抗粘連涂層,介紹和分析了其在耐熱性和降解方面的新的研究進(jìn)展.介紹了類金剛石碳膜、在光刻膠上噴涂脫模劑和含氟表面活化劑在納米壓印抗粘連研究上的進(jìn)展,分析了這些方法所存在的問(wèn)題及納米壓印抗粘連的發(fā)展趨勢(shì).上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)...

DLC應(yīng)用：特殊的耐腐蝕性應(yīng)用：DLC膜可以在一些特殊的場(chǎng)合作為耐腐蝕性涂層，可以很好的保護(hù)基體。某種類型模具上沉積總厚度為2.5um的DLC膜層后，在100℃的強(qiáng)堿溶液中可以保持10小時(shí)以上不腐蝕。結(jié)論DLC膜具有相對(duì)適中的硬度，較低的摩擦系數(shù)、低磨損率和優(yōu)異的抗腐蝕性能。添加Me元素后，可以調(diào)節(jié)高硬度類石墨膜的硬度和韌性，并能提高膜基結(jié)合強(qiáng)度，Me含量在一定范圍內(nèi)，膜基結(jié)合強(qiáng)度能夠達(dá)到非常理想的結(jié)果，而且具有良好的摩擦磨損性能。在一定載荷范圍內(nèi)，類石墨膜的摩擦系數(shù)隨著載荷的提高而降低。DLC膜具有抗磨減摩的特性，是一種具有廣闊應(yīng)用前景的抗磨減摩鍍層。純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性，各類酸、堿甚...

用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測(cè)試了不同摩擦副在干摩擦和油潤(rùn)滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學(xué)顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明：采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)小；摩擦副之間的硬度差對(duì)其耐磨壽命具有很大的影響,加入潤(rùn)滑劑可以抵消這種影響；汽車活塞銷涂層類金剛石在工作一定時(shí)間后,表面粗糙度降低，耐磨壽命提高,同時(shí)DLC對(duì)摩擦副具有拋光潤(rùn)滑作用,是一種汽車零部件推薦的抗磨減磨涂層材料。活塞銷涂層類金剛石實(shí)際裝車現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試表明,壽命比沒(méi)有涂層的活塞銷提高。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備...

有數(shù)種方法來(lái)生產(chǎn)類金剛石碳，但都是基于, sp雜化鍵比sp雜化鍵小很多的事實(shí)。因此原子尺度上壓力、沖擊、催化或者是幾種方法的組合的應(yīng)用可以迫使sp雜化碳原子結(jié)合在一起形成sp鍵合。這些作用必須足夠強(qiáng)使得這些原子能夠偏離sp鍵合的特性，而不能像彈簧一樣變形回來(lái)。一般的技術(shù)，要有一種足夠的壓力，要么能夠使sp雜化碳原子團(tuán)簇深入到涂層內(nèi)，使得沒(méi)有足夠的空間讓sp雜化擴(kuò)張回來(lái)，要么這些新的團(tuán)簇就很快被下一輪新到來(lái)的碳所埋?？梢园堰@個(gè)過(guò)程想象成為下冰雹一樣的一種更局部化、更快、更加納米的熱壓結(jié)合條件來(lái)生產(chǎn)天然和合成的金剛石。由于它們單獨(dú)的的發(fā)生在生長(zhǎng)薄膜或涂層表面的許多地方，它們傾向于形成類似于鵝卵石街...

類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms，簡(jiǎn)稱DLC膜)，是含有類似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜，也是我們?cè)谶@里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的來(lái)源和制備方法的差異，DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長(zhǎng)程無(wú)序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開(kāi)始磁過(guò)濾真空弧及沉積DLC膜研究，正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點(diǎn)等。不同的制備方法，DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同。類金剛石...