采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國(guó)較早汽車(chē)股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)的挺柱上制備類(lèi)金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)試驗(yàn)臺(tái)架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)節(jié)能的影響.試驗(yàn)結(jié)果表明,在邊界潤(rùn)滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67％,抗磨損性能大幅度提高；在實(shí)際使用工況下,配氣機(jī)構(gòu)的摩擦損失降低6％.DLC涂層零件可以降低發(fā)動(dòng)機(jī)摩擦損失,適用于汽車(chē)低碳技術(shù)路線.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類(lèi)金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。類(lèi)金剛（DLC）石薄膜的分類(lèi)。寶山DLC工藝

利用ECR-PECVD技術(shù)在等離子體活化后的UHMWPE表面成功制備出一種含氫DLC薄膜。UHMWPE經(jīng)等離子體活化提高了其表面能和表面粗糙度，增強(qiáng)了與DLC間的膜基結(jié)合強(qiáng)度。DLC薄膜的沉積，進(jìn)一步提高了UHMWPE的表面硬度、表面抗擦傷能力和耐磨損能力。⑹UHMWPE表面金屬過(guò)渡層的引入，提高了DLC薄膜的沉積速率和薄膜中sp3鍵的含量，進(jìn)一步提高了UHMWPE的耐磨損性能⑺本文采用的“低溫等離子體活化/強(qiáng)化預(yù)處理+DLC薄膜沉積”的雙重表面改性技術(shù)對(duì)提高UHMWPE的耐磨性來(lái)說(shuō)將起到雙重保障作用。將該技術(shù)應(yīng)用于UHMWPE人工關(guān)節(jié)臼的表面改性具有潛在的重要應(yīng)用價(jià)值。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類(lèi)金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。昆山DLC工藝DLC薄膜的研究以及講解。

類(lèi)金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms，簡(jiǎn)稱(chēng)DLC膜)，是含有類(lèi)似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜，也是我們?cè)谶@里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的來(lái)源和制備方法的差異，DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類(lèi)。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長(zhǎng)程無(wú)序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開(kāi)始磁過(guò)濾真空弧及沉積DLC膜研究，正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點(diǎn)等。不同的制備方法，DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同。類(lèi)金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms，簡(jiǎn)稱(chēng)DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等，可用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，具有良好的應(yīng)用前景。我們開(kāi)發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng)，并同過(guò)該系統(tǒng)中的磁過(guò)濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來(lái)進(jìn)行DLC膜的開(kāi)發(fā)。該項(xiàng)技術(shù)用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域，用于摩擦、光學(xué)功能等用途。目前在我國(guó)技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段，有巨大市場(chǎng)潛力。

在眾多類(lèi)型的碳材料中，類(lèi)金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其優(yōu)異的性能吸引了世界范圍內(nèi)的關(guān)注和研究。DLC薄膜的結(jié)構(gòu)處于金剛石和石墨結(jié)構(gòu)之間的，主要是由金剛石結(jié)構(gòu)的sp3雜化碳原子和石墨結(jié)構(gòu)的sp2雜化碳原子混雜在一起形成的復(fù)雜三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)構(gòu)成[27]。根據(jù)晶體材料的特征分析，DLC薄膜通常呈現(xiàn)非晶態(tài)或非晶納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)。根據(jù)氫的有無(wú)可以分為含氫DLC薄膜(a-C:H)和不含氫DLC薄膜(a-C)。根據(jù)不同的含氫量和sp3與sp2雜化鍵的比例又分為不同的細(xì)類(lèi),如圖1-1所示。在2005年德國(guó)工程師學(xué)會(huì)定制的“碳涂層”標(biāo)準(zhǔn)中，又可將DLC薄膜細(xì)分為不同的七大類(lèi)[27]。由于DLC薄膜的結(jié)構(gòu)介于金剛石和石墨之間，使其具有高的硬度，優(yōu)異的減摩抗磨性能，同時(shí)還具有高的熱導(dǎo)率、低的介電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學(xué)透過(guò)性以及優(yōu)異的化學(xué)惰性和較好的生物相容性等。因而DLC薄膜不僅呈現(xiàn)良好的摩擦學(xué)性能，還具有良好的耐腐蝕性能。純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性，各類(lèi)酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。

DLC薄膜處于熱力學(xué)非平衡狀態(tài)，其原子排布呈現(xiàn)出近程有序、遠(yuǎn)程無(wú)序的特點(diǎn)。近程有序主要表現(xiàn)為C-C原子之間的sp3和sp2雜化鍵的結(jié)構(gòu)。第一種模型是Beeman等人提出的，他們構(gòu)造了三種具有不同sp3和sp2雜化碳原子含量的非晶碳薄膜模型。此模型具備兩個(gè)典型特征：其一，除了sp2雜化結(jié)構(gòu)模型外，所有模型對(duì)應(yīng)于相對(duì)各向同性的無(wú)序混亂網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，而且沒(méi)有內(nèi)部懸鍵；其二，所有模型都做了弛豫處理，目的是使由偏離結(jié)晶態(tài)的鍵長(zhǎng)、鍵角所引起的應(yīng)變能降到比較低。第二種模型是完全無(wú)規(guī)網(wǎng)絡(luò)模型，由Phillips等人提出并完善。該模型的基本觀點(diǎn)是，在非晶態(tài)隨機(jī)共價(jià)網(wǎng)絡(luò)當(dāng)中，當(dāng)原子的平均數(shù)與原子的機(jī)械自由度相等時(shí)，該結(jié)構(gòu)被完全。增加配位數(shù)，則可以生成更多的共價(jià)鍵而降低體系能力，可以穩(wěn)定固態(tài)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，但鍵的拉伸和鍵角的畸形會(huì)造成更多的應(yīng)變能。類(lèi)金剛石(DLC)的簡(jiǎn)介。鎮(zhèn)江不銹鋼DLC價(jià)格

DLC耳機(jī)膜片優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)。寶山DLC工藝

類(lèi)金剛石薄膜又稱(chēng)山膜。碳的一種亞穩(wěn)態(tài)，組成主要是碳，也含有氫，其量隨工藝條件而異，多時(shí)可達(dá)20%。類(lèi)金剛石具有很高的硬度、高導(dǎo)熱性、高絕緣性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、從紅外到紫外的高光學(xué)透過(guò)率等。這與金剛石相似，但其性能數(shù)值均低于金剛石膜。類(lèi)金剛石膜已開(kāi)始用作耐磨涂層。類(lèi)金剛石碳（DLC）是非晶結(jié)構(gòu)，碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合。含氫DLC又稱(chēng)為α-C:H，其中氫含量在20%到50%之間。無(wú)氫類(lèi)金剛石膜包括無(wú)氫非晶碳（α-C）和四面體非晶碳（ta-C）膜。α-C膜含有一些sp3鍵；ta-C膜中以sp3鍵為主（sp3>70%）。結(jié)構(gòu)類(lèi)金剛石薄膜通常又被人們稱(chēng)為DLC薄膜，是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡(jiǎn)稱(chēng)，它是一類(lèi)性質(zhì)近似于金剛石，具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等，同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式。寶山DLC工藝