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在半導(dǎo)體制造工藝中微差壓表是必不可少
在半導(dǎo)體制造工藝中，環(huán)境與設(shè)備的精密管控直接關(guān)系到芯片良率與性能。山本，長野計器（NAGANO KEIKI）的微差壓表憑借百年計測技術(shù)積淀，為半導(dǎo)體行業(yè)提供高純度氣體監(jiān)測、潔凈室壓差管控等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的精細(xì)解決方案，成為全球前沿晶圓廠和封測企業(yè)的優(yōu)先設(shè)備。
應(yīng)用場景：
1. 高純度氣體系統(tǒng)監(jiān)測
采用不銹鋼波登管與氬弧焊接工藝，確保微差壓表在腐蝕性氣體（如蝕刻用氟化氫、氨氣）和高純度惰性氣體（如氬氣、氮?dú)猓┉h(huán)境中長期穩(wěn)定工作，避免泄漏，沉積、刻蝕等工藝的氣體流量精度。
2. 潔凈室與隔離室壓差管控
通過實時監(jiān)測潔凈室與外界環(huán)境的微壓差（±50Pa以內(nèi)），防止顆粒污染物侵入，滿足ISO 1-5級潔凈度要求，適用于光刻區(qū)、封裝無塵車間等敏感區(qū)域。
3. 關(guān)鍵設(shè)備狀態(tài)預(yù)警
集成于薄膜沉積設(shè)備、光刻機(jī)輔助系統(tǒng)中，監(jiān)測氣體過濾器堵塞或管道壓力波動，提前預(yù)警設(shè)備異常，減少非計劃停機(jī)損失。
技術(shù)優(yōu)勢：
1. 嚴(yán)苛環(huán)境適應(yīng)性：全不銹鋼結(jié)構(gòu)（含外殼與連接部件）通過RoHS認(rèn)證，耐腐蝕性遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
2. 精度與可靠性：嚴(yán)格的氣密性檢測與耐壓測試（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），確保在恒壓或波動壓力下誤差率低于±1% FS。
3. 定制化服務(wù)：支持甘油填充、衛(wèi)生型變送器集成等選項，適配半導(dǎo)體特殊工藝需求。
行業(yè)驗證：
長野計器微差壓表已服務(wù)于中芯國ji、京東方等頭部企業(yè)，并獲日本本土及國內(nèi)多地晶圓廠批量采購。其GV系列、GW系列產(chǎn)品在3D NAND存儲芯片制造與前沿封裝產(chǎn)線中表現(xiàn)好，助力客戶實現(xiàn)工藝良率提升與綜合成本優(yōu)化。
選擇山本，長野微差壓表，即是選擇百年品牌對精密與可靠的不懈追求——為半導(dǎo)體制造的每一帕斯卡壓力，提供值得信賴的。
另外，為了響應(yīng)客戶的降本增效需求，要求我們對應(yīng)國內(nèi)替代方案，我們花了兩年時間，經(jīng)過多次廠家研發(fā)成功了?，F(xiàn)在可以為客戶做國內(nèi)替代品。質(zhì)量一樣，價格美麗！
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