在半導(dǎo)體制造工藝中微差壓表是必不可少

來(lái)源：發(fā)布時(shí)間：2025-07-11

在半導(dǎo)體制造工藝中，環(huán)境與設(shè)備的精密管控直接關(guān)系到芯片良率與性能。山本，長(zhǎng)野計(jì)器（NAGANO KEIKI）的微差壓表憑借百年計(jì)測(cè)技術(shù)積淀，為半導(dǎo)體行業(yè)提供高純度氣體監(jiān)測(cè)、潔凈室壓差管控等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的精細(xì)解決方案，成為全球前沿晶圓廠(chǎng)和封測(cè)企業(yè)的優(yōu)先設(shè)備。

應(yīng)用場(chǎng)景：

1. 高純度氣體系統(tǒng)監(jiān)測(cè)

采用不銹鋼波登管與氬弧焊接工藝，確保微差壓表在腐蝕性氣體（如蝕刻用氟化氫、氨氣）和高純度惰性氣體（如氬氣、氮?dú)猓┉h(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定工作，避免泄漏，沉積、刻蝕等工藝的氣體流量精度。

2. 潔凈室與隔離室壓差管控

通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈室與外界環(huán)境的微壓差（±50Pa以?xún)?nèi)），防止顆粒污染物侵入，滿(mǎn)足ISO 1-5級(jí)潔凈度要求，適用于光刻區(qū)、封裝無(wú)塵車(chē)間等敏感區(qū)域。

3. 關(guān)鍵設(shè)備狀態(tài)預(yù)警

集成于薄膜沉積設(shè)備、光刻機(jī)輔助系統(tǒng)中，監(jiān)測(cè)氣體過(guò)濾器堵塞或管道壓力波動(dòng)，提前預(yù)警設(shè)備異常，減少非計(jì)劃停機(jī)損失。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

1. 嚴(yán)苛環(huán)境適應(yīng)性：全不銹鋼結(jié)構(gòu)（含外殼與連接部件）通過(guò)RoHS認(rèn)證，耐腐蝕性遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

2. 精度與可靠性：嚴(yán)格的氣密性檢測(cè)與耐壓測(cè)試（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），確保在恒壓或波動(dòng)壓力下誤差率低于±1% FS。

3. 定制化服務(wù)：支持甘油填充、衛(wèi)生型變送器集成等選項(xiàng)，適配半導(dǎo)體特殊工藝需求。

行業(yè)驗(yàn)證：

長(zhǎng)野計(jì)器微差壓表已服務(wù)于中芯國(guó)ji、京東方等頭部企業(yè)，并獲日本本土及國(guó)內(nèi)多地晶圓廠(chǎng)批量采購(gòu)。其GV系列、GW系列產(chǎn)品在3D NAND存儲(chǔ)芯片制造與前沿封裝產(chǎn)線(xiàn)中表現(xiàn)好，助力客戶(hù)實(shí)現(xiàn)工藝良率提升與綜合成本優(yōu)化。

選擇山本，長(zhǎng)野微差壓表，即是選擇百年品牌對(duì)精密與可靠的不懈追求——為半導(dǎo)體制造的每一帕斯卡壓力，提供值得信賴(lài)的。

另外，為了響應(yīng)客戶(hù)的降本增效需求，要求我們對(duì)應(yīng)國(guó)內(nèi)替代方案，我們花了兩年時(shí)間，經(jīng)過(guò)多次廠(chǎng)家研發(fā)成功了。現(xiàn)在可以為客戶(hù)做國(guó)內(nèi)替代品。質(zhì)量一樣，價(jià)格美麗！

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