在半導(dǎo)體制造工藝中微差壓表是必不可少
在半導(dǎo)體制造工藝中,環(huán)境與設(shè)備的精密管控直接關(guān)系到芯片良率與性能。山本,長野計器(NAGANO KEIKI)的微差壓表憑借百年計測技術(shù)積淀,為半導(dǎo)體行業(yè)提供高純度氣體監(jiān)測、潔凈室壓差管控等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的精細(xì)解決方案,成為全球前沿晶圓廠和封測企業(yè)的優(yōu)先設(shè)備。
應(yīng)用場景:
1. 高純度氣體系統(tǒng)監(jiān)測
采用不銹鋼波登管與氬弧焊接工藝,確保微差壓表在腐蝕性氣體(如蝕刻用氟化氫、氨氣)和高純度惰性氣體(如氬氣、氮?dú)猓┉h(huán)境中長期穩(wěn)定工作,避免泄漏,沉積、刻蝕等工藝的氣體流量精度。
2. 潔凈室與隔離室壓差管控
通過實時監(jiān)測潔凈室與外界環(huán)境的微壓差(±50Pa以內(nèi)),防止顆粒污染物侵入,滿足ISO 1-5級潔凈度要求,適用于光刻區(qū)、封裝無塵車間等敏感區(qū)域。
3. 關(guān)鍵設(shè)備狀態(tài)預(yù)警
集成于薄膜沉積設(shè)備、光刻機(jī)輔助系統(tǒng)中,監(jiān)測氣體過濾器堵塞或管道壓力波動,提前預(yù)警設(shè)備異常,減少非計劃停機(jī)損失。
技術(shù)優(yōu)勢:
1. 嚴(yán)苛環(huán)境適應(yīng)性:全不銹鋼結(jié)構(gòu)(含外殼與連接部件)通過RoHS認(rèn)證,耐腐蝕性遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
2. 精度與可靠性:嚴(yán)格的氣密性檢測與耐壓測試(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)),確保在恒壓或波動壓力下誤差率低于±1% FS。
3. 定制化服務(wù):支持甘油填充、衛(wèi)生型變送器集成等選項,適配半導(dǎo)體特殊工藝需求。
行業(yè)驗證:
長野計器微差壓表已服務(wù)于中芯國ji、京東方等頭部企業(yè),并獲日本本土及國內(nèi)多地晶圓廠批量采購。其GV系列、GW系列產(chǎn)品在3D NAND存儲芯片制造與前沿封裝產(chǎn)線中表現(xiàn)好,助力客戶實現(xiàn)工藝良率提升與綜合成本優(yōu)化。
選擇山本,長野微差壓表,即是選擇百年品牌對精密與可靠的不懈追求——為半導(dǎo)體制造的每一帕斯卡壓力,提供值得信賴的。
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