大規(guī)模量產(chǎn)場景中，晶圓切割的穩(wěn)定性與一致性至關重要。中清航科推出的全自動切割生產(chǎn)線，集成自動上下料、在線檢測與 NG 品分揀功能，單臺設備每小時可處理 30 片 12 英寸晶圓，且通過工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺實現(xiàn)多設備協(xié)同管控，設備綜合效率（OEE）提升至 90% 以上，明顯降低人工干預帶來的質(zhì)量波動。隨著芯片集成度不斷提高，晶圓厚度逐漸向超薄化發(fā)展，目前主流晶圓厚度已降至 50-100μm，切割過程中極易產(chǎn)生變形與破損。中清航科創(chuàng)新采用低溫輔助切割技術，通過局部深冷處理增強晶圓材料剛性，配合特制真空吸附平臺，確保超薄晶圓切割后的翹曲度小于 20μm，為先進封裝工藝提供可靠的晶圓預處理保障。中清航科多軸聯(lián)動切割頭，適應曲面晶圓±15°傾角加工。晶圓切割藍膜

中清航科創(chuàng)新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案：先以激光在晶圓表面形成引導槽，再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率，解決化合物半導體（如GaAs、SiC）的脆性開裂問題，加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點。中清航科全自動切割機配備多軸聯(lián)動補償系統(tǒng)，通過實時監(jiān)測晶圓形變動態(tài)調(diào)整切割參數(shù)。搭配吸附托盤，將12英寸晶圓平整度誤差控制在±2μm內(nèi)，支持3D NAND多層堆疊結構加工。鎮(zhèn)江碳化硅線晶圓切割代工廠超窄街切割方案中清航科實現(xiàn)30μm道寬，芯片數(shù)量提升18%。

對于高價值的晶圓產(chǎn)品，切割過程中的追溯性尤為重要。中清航科的切割設備內(nèi)置二維碼追溯系統(tǒng)，每片晶圓進入設備后都會生成單獨的二維碼標識，全程記錄切割時間、操作人員、工藝參數(shù)、檢測結果等信息，可通過掃碼快速查詢?nèi)鞒虜?shù)據(jù)，為質(zhì)量追溯與問題分析提供完整依據(jù)。在晶圓切割的邊緣處理方面，中清航科突破傳統(tǒng)工藝限制，開發(fā)出激光倒角技術。可在切割的同時完成晶圓邊緣的圓弧處理，倒角半徑可精確控制在 5-50μm 范圍內(nèi)，有效減少邊緣應力集中，提高晶圓的機械強度。該技術特別適用于需要多次搬運與清洗的晶圓加工流程。

面對全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈的區(qū)域化布局趨勢，中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區(qū)的本地化服務網(wǎng)絡。其 7×24 小時在線技術支持團隊，可通過遠程診斷系統(tǒng)快速定位設備故障，配合就近備件倉庫，將平均故障修復時間（MTTR）控制在 4 小時以內(nèi)，確保客戶生產(chǎn)線的連續(xù)穩(wěn)定運行。綠色制造已成為半導體行業(yè)的發(fā)展共識，中清航科在晶圓切割設備的設計中融入多項節(jié)能技術。其研發(fā)的變頻激光電源，能源轉(zhuǎn)換效率達到 92%，較傳統(tǒng)設備降低 30% 的能耗；同時采用水循環(huán)冷卻系統(tǒng)，水資源回收率達 95% 以上，幫助客戶實現(xiàn)環(huán)保指標與生產(chǎn)成本的雙重優(yōu)化。中清航科切割液回收系統(tǒng)降低耗材成本35%，符合綠色制造。

中清航科ESG解決方案：設備內(nèi)置能源管理模塊，智能調(diào)節(jié)激光功率與主軸轉(zhuǎn)速，單次切割能耗降低42%。碳追蹤平臺每8小時生成減排報告，助力客戶達成碳中和目標，已獲全球25家代工廠采購認證。功率器件背面金層在切割中易翹曲。中清航科開發(fā)脈沖電流輔助切割，在刀片-晶圓界面施加微電流（<10mA），瞬時加熱至150℃軟化金層，剝離風險下降90%，剪切強度保持>45MPa。中清航科推出粉塵組分診斷系統(tǒng)：通過LIBS（激光誘導擊穿光譜）在線分析顆粒元素構成，自動推薦冷卻液配方調(diào)整方案。幫助客戶減少因金屬污染導致的芯片失效，良率提升1.2%。中清航科晶圓切割機支持物聯(lián)網(wǎng)運維，故障響應速度提升60%。蘇州碳化硅線晶圓切割測試

切割機預測性維護平臺中清航科上線，關鍵部件壽命預警準確率99%。晶圓切割藍膜

中清航科開放6條全自動切割產(chǎn)線，支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實時追蹤進度，平均交貨周期48小時，良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光（脈寬400fs）配合氦氣保護，在銅-硅界面形成納米級熔融區(qū)，剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺，收錄3000+材料參數(shù)組合。客戶輸入晶圓類型/厚度/目標良率，自動生成比較好參數(shù)包，工藝開發(fā)周期縮短90%。