深圳市立成真空泵科技有限公司2025-07-19

返流率指泵工作時(shí)，與抽氣方向相反、通過(guò)入口的單位面積、單位時(shí)間內(nèi)泵液 (如油) 質(zhì)量流率。高返流率會(huì)污染被抽系統(tǒng)，像在對(duì)潔凈度要求高的半導(dǎo)體制造中，返流的泵油會(huì)影響芯片質(zhì)量。

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