納米壓印是一種理想的光刻技術(shù),它具有生產(chǎn)率和分辨率高的特點(diǎn).脫模過(guò)程中,粘連限制了圖形的精確轉(zhuǎn)移,因此,抗粘連成為納米壓印技術(shù)需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題.氟化自組裝單分子層是一種被多種應(yīng)用的抗粘連涂層,介紹和分析了其在耐熱性和降解方面的新的研究進(jìn)展.介紹了類(lèi)金剛石碳膜、在光刻膠上噴涂脫模劑和含氟表面活化劑在納米壓印抗粘連研究上的進(jìn)展,分析了這些方法所存在的問(wèn)題及納米壓印抗粘連的發(fā)展趨勢(shì).上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類(lèi)金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。類(lèi)金剛石碳膜(DLC膜)的結(jié)構(gòu)性質(zhì)及其應(yīng)用。無(wú)錫刀具類(lèi)金剛石
多數(shù)實(shí)驗(yàn)研究表明:DLC在大氣環(huán)境下可以表現(xiàn)出低的摩擦系數(shù),如果制備工藝恰當(dāng),其摩擦因數(shù)比較低可達(dá),且類(lèi)金剛石膜具有良好的自潤(rùn)滑特性,所以人們可較好的將其使用在高真空、高溫等不適于液體潤(rùn)滑的情況以同時(shí)又有清潔要求的環(huán)境中,如航天航空領(lǐng)域。上個(gè)世紀(jì)70年代末前蘇聯(lián)將DLC技術(shù)應(yīng)用于宇航儀表中的動(dòng)壓氣浮軸承,成功研制出高精度且永不磨損型陀螺動(dòng)壓馬達(dá)。1990年歐洲空間中心摩擦實(shí)驗(yàn)室在評(píng)價(jià)了空間使用的各種固體材料之后,明確指出今后太空空間的固體材料涂層應(yīng)該是以金剛石膜和類(lèi)金剛石膜為主。通過(guò)分析比較,他們認(rèn)為DLC是適合未來(lái)的太空空間潤(rùn)滑摩擦表面的涂層。研究還發(fā)現(xiàn),類(lèi)金剛石膜在超高真空中的磨損更為緩和,同時(shí)產(chǎn)生的磨損粒子更少,摩擦狀態(tài)更穩(wěn)定。故DLC作為固體潤(rùn)滑膜應(yīng)用到宇航具有比其他材料更為突出的潛力,必將在航天航空領(lǐng)域留下濃墨重彩的一筆。湖州滾刀類(lèi)金剛石哪家便宜類(lèi)金剛石薄膜的種類(lèi)及其應(yīng)用。
類(lèi)金剛石薄膜又稱山膜。碳的一種亞穩(wěn)態(tài),組成主要是碳,也含有氫,其量隨工藝條件而異,多時(shí)可達(dá)20%。類(lèi)金剛石具有很高的硬度、高導(dǎo)熱性、高絕緣性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、從紅外到紫外的高光學(xué)透過(guò)率等。這與金剛石相似,但其性能數(shù)值均低于金剛石膜。類(lèi)金剛石膜已開(kāi)始用作耐磨涂層。類(lèi)金剛石碳(DLC)是非晶結(jié)構(gòu),碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合。含氫DLC又稱為α-C:H,其中氫含量在20%到50%之間。無(wú)氫類(lèi)金剛石膜包括無(wú)氫非晶碳(α-C)和四面體非晶碳(ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3鍵;ta-C膜中以sp3鍵為主(sp3>70%)。結(jié)構(gòu)類(lèi)金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡(jiǎn)稱,它是一類(lèi)性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式。
在刀具上沉積類(lèi)金剛石(DLC)薄膜的關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題是如何提高DLC薄膜的附著力,以發(fā)揮DLC薄膜在刀具涂層領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì).本文通過(guò)對(duì)微型鉆頭表面進(jìn)行不同的化學(xué)預(yù)處理后利用射頻等離子體化學(xué)氣相沉法沉積DLC薄膜,對(duì)影響膜基附著力的內(nèi)在規(guī)律進(jìn)行了探討.結(jié)果表明:采用簡(jiǎn)單酸堿腐蝕(先后使用NaOH溶液和HNO3溶液進(jìn)行腐蝕)對(duì)DLC薄膜附著力的提高有一定作用,而綜合腐蝕(首先使用酸堿腐蝕,然后使用Murakami試劑腐蝕)的效果更佳;此外,使用Murakami試劑腐蝕時(shí)間過(guò)長(zhǎng)(超過(guò)6min)會(huì)影響鉆頭本體的機(jī)械強(qiáng)度.實(shí)驗(yàn)結(jié)果對(duì)于DLC薄膜作為微型鉆頭涂層的應(yīng)用具有很好的指導(dǎo)意義.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類(lèi)金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。類(lèi)金剛石薄膜研究進(jìn)展。
天然生成的金剛石常常發(fā)現(xiàn)有幾乎純結(jié)晶形式的立方取向的sp雜化的碳原子。有時(shí)候它們會(huì)有一些缺陷或者是雜質(zhì)原子,這使它們有一定的顏色,但是晶格仍然是立方結(jié)構(gòu)而且鍵合仍然是純粹的sp雜化。立方晶型的內(nèi)部能量比六方晶型要略低,而且就從熔融材料中生長(zhǎng)速率而言,無(wú)論是自然形成還是合成金剛石都足夠的慢,使得晶格有時(shí)間以比較低的能量(立方)生長(zhǎng),從而使sp雜化的碳原子成為可能。相比之下,類(lèi)金剛石碳是由具有高能量前驅(qū)碳(例如等離子體、陰極電弧沉積、濺射沉積以及離子束沉積)在相對(duì)冷的表面上快速冷卻或淬火而成。在這些情況下,立方晶格和六方晶格被一層層的隨機(jī)混合,因?yàn)樵谔荚颖弧皟鼋Y(jié)”在材料表面之前并沒(méi)有足夠的結(jié)晶生長(zhǎng)的時(shí)間。非晶類(lèi)金剛石涂層可以導(dǎo)致沒(méi)有長(zhǎng)程晶格有序。沒(méi)有長(zhǎng)程有序就沒(méi)有脆性斷裂平面,因此涂層會(huì)比較有彈性、對(duì)基底材料的形狀有適應(yīng)性,同時(shí)和金剛石一樣硬。事實(shí)上,這種性質(zhì)已經(jīng)被用來(lái)研究類(lèi)金剛石碳在納米尺度上的原子間磨損。不同過(guò)渡層對(duì)DLC薄膜力學(xué)性能和摩擦學(xué)性能的影響。昆山真空類(lèi)金剛石價(jià)格
類(lèi)金剛石薄膜的用處。無(wú)錫刀具類(lèi)金剛石
薄膜與基體間的界面結(jié)合性能是決定薄膜性能發(fā)揮的關(guān)鍵要素.針對(duì)類(lèi)金剛石薄膜(DLC)在硬質(zhì)合金上結(jié)合力差的問(wèn)題,采用線性陽(yáng)極離子束復(fù)合磁控濺射技術(shù)在硬質(zhì)合金YG8基體上設(shè)計(jì)制備了單層W過(guò)渡層、WC過(guò)渡層、雙層W過(guò)渡層和三層W過(guò)渡層4種不同W過(guò)渡層的DLC薄膜,探討了不同過(guò)渡層對(duì)DLC薄膜力學(xué)和摩擦學(xué)性能的影響.結(jié)果表明:不同過(guò)渡層結(jié)構(gòu)的DLC薄膜結(jié)構(gòu)致密,界面柱狀生長(zhǎng)隨著層數(shù)增加及過(guò)渡層厚度的降低而打斷,有利于改善薄膜的韌性.當(dāng)為三層W過(guò)渡層時(shí),DLC薄膜的斷裂韌性達(dá)到最大值MPa·m1/2;與單層W過(guò)渡層相比,薄膜硬度有小幅下降,但薄膜內(nèi)應(yīng)力降低了55%,且膜/基匹配性更佳,結(jié)合強(qiáng)度高達(dá)85N,此時(shí)薄膜具有較低的摩擦因數(shù)和磨損率,表現(xiàn)出比較優(yōu)異的抗磨減摩性能.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類(lèi)金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問(wèn)題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。無(wú)錫刀具類(lèi)金剛石