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類金剛石薄膜(DLC)擁有高硬度,低摩擦、耐腐蝕等性能,已經(jīng)應(yīng)用于機(jī)械刀具、模具、汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。但由于制備技術(shù)的限制,導(dǎo)致DLC存在殘余應(yīng)力較高、膜/基結(jié)合力差、摩擦性能不穩(wěn)定、大面積均勻制備困難等問題。線性陽極離子束技術(shù)具有等離子體離化率高、大面積均勻沉積等特點,是制備高性能DLC薄膜的理想技術(shù)。針對DLC與基體結(jié)合性能較差的現(xiàn)狀,首先從添加合適過渡層(W)匹配膜/基適應(yīng)性出發(fā),探討W過渡層厚度對DLC薄膜物相、機(jī)械力學(xué)、摩擦學(xué)性能的影響。在此基礎(chǔ)上,通過不同工藝W過渡層結(jié)構(gòu)設(shè)計,研究其對膜/基性能的影響。為改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應(yīng)用,根據(jù)不同類型過渡層性能的對比,優(yōu)化過渡層設(shè)計,制備出膜/基結(jié)合強度高、機(jī)械性能良好的DLC復(fù)合薄膜,上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。真空鍍膜機(jī)DLC薄膜的適用范圍。青浦金屬DLC技術(shù)
雖然液相電沉積技術(shù)在制備類金剛石薄膜及其相關(guān)材料方面具有很多優(yōu)勢,目前對電化學(xué)沉積DLC薄膜的研究報道也越來越多,但這一領(lǐng)域仍有很多方面需要進(jìn)一步研究:(1)繼續(xù)擴(kuò)大成膜基底的選擇范圍,并深入研究不同基底材料對DLC薄膜性能的影響;(2)更為全面地研究不同電解液和沉積條件對薄膜性質(zhì)的影響;(3)深入研究成膜機(jī)理,并建立具有普遍指導(dǎo)意義的理論模型;(4)開展功能元素的摻雜,使其可以在微電子、生物傳感器等高新領(lǐng)域得到應(yīng)用。電沉積方法的獨特優(yōu)勢,決定了它巨大的發(fā)展?jié)摿?,已在近年來受到了人們的普遍重視,相信隨著研究的不斷深入,技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟,該領(lǐng)域的研究范圍將會越來越廣,研究成果也會越來越豐碩。DLC薄膜的性能與應(yīng)用DLC薄膜將高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨損、抗劃傷性、耐腐蝕性、抗粘連、化學(xué)穩(wěn)定性等特性完美地結(jié)合,在力學(xué)、摩擦學(xué)、生物學(xué)、電學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)和聲學(xué)等方面展示出優(yōu)良特性,可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、工模具、刀具、汽車、電子、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、航空航天、裝飾外觀保護(hù),如手表外殼、首飾配件、手機(jī)外殼等領(lǐng)域。徐州不銹鋼DLC新型的DLC(類金剛石碳)涂層材料——金剛烷化合物。
類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法,DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等,可用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,具有良好的應(yīng)用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強沉積系統(tǒng),并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進(jìn)行DLC膜的開發(fā)。該項技術(shù)用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域,用于摩擦、光學(xué)功能等用途。目前在我國技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段,有巨大市場潛力。
利用非平衡磁控濺射技術(shù)在316L不銹鋼基底和316L不銹鋼基底噴焊Ni60C涂層表面分別制備a-C、a-C∶H、a-C∶Cr3種類金剛石碳基(DLC)薄膜,對比分析了不同防護(hù)體系在5%H2SO4(質(zhì)量分?jǐn)?shù))溶液中的耐磨蝕性能.結(jié)果表明:較單層DLC薄膜,Ni60C/DLC復(fù)合體系膜-基結(jié)合強度大幅提高,腐蝕磨損性能明顯改善,其摩擦系數(shù)在~×10-8~×10-8mm3/N·m之間.Ni60C涂層作為硬質(zhì)支撐層提高了薄膜的承載能力,且有效了腐蝕摩擦過程中碳基(DLC)薄膜的石墨化進(jìn)程,提高了Ni60C/DLC復(fù)合體系耐磨蝕性能.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。鋅鎳合金電鍍,特氟龍涂層,DLC涂層的性能區(qū)別?
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機(jī)械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來,類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結(jié)構(gòu)構(gòu)造成的多量子阱結(jié)構(gòu),具有共振隧道效應(yīng)的和獨特的電特性,在微電子領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度,電子發(fā)射均勻性好,并且其具有負(fù)的電子親和勢,有效功函數(shù)相對較低的和較寬的禁帶寬度,即使在較低的外電場作用下,也可產(chǎn)生較大的發(fā)生電流,這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。不同過渡層對DLC薄膜力學(xué)性能和摩擦學(xué)性能的影響。松江電鍍DLC工藝
手表的DLC電鍍原理是什么?青浦金屬DLC技術(shù)
類金剛石(英文:Diamond-likeCarbon縮寫DLC)是一種非晶碳,這種材料表現(xiàn)出很多與金剛石相類似的性質(zhì),DLC常常作為涂層材料使用。類金剛石的微觀結(jié)構(gòu)為了弄清楚類金剛石的概念,我們首先研究一下碳元素。碳元素存在于自然界當(dāng)中,我們平時看到的鉆石、石墨、富勒烯、碳納米管等等都是碳元素形成的。當(dāng)碳原子以sp3鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成金剛石。當(dāng)碳原子以sp2鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成石墨。當(dāng)以碳原子sp2、sp3鍵混合雜化的時候,形成的就是類金剛石了。類金剛石常常是以薄膜形式使用的,類金剛石薄膜具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴(yán)格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵。青浦金屬DLC技術(shù)