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常州納米類金剛石廠

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-11-16

類金剛石薄膜的制備方法較多,相關(guān)的工藝層出不窮,因而對(duì)于不同應(yīng)用場合,有相應(yīng)的工藝方法,制備出對(duì)應(yīng)性能要求的薄膜。通過改變制備方法的相關(guān)參數(shù),調(diào)控薄膜中的sp3,sp2雜化鍵的比例及不同的氫含量可獲得不同性能特征的DLC薄膜。如含氫與不含氫的DLC薄膜在不同濕度環(huán)境中會(huì)呈現(xiàn)不同的摩擦學(xué)特性。針對(duì)在特殊環(huán)境服役的DLC薄膜,如高承載,高速運(yùn)轉(zhuǎn)的零部件,也會(huì)對(duì)DLC薄膜進(jìn)行適當(dāng)?shù)膿诫s來改變薄膜內(nèi)部交聯(lián)碳基質(zhì)混合網(wǎng)絡(luò)的成鍵方式與薄膜表面的化學(xué)狀態(tài),進(jìn)而提高薄膜的性能,以實(shí)現(xiàn)在實(shí)際工況中的應(yīng)用。其中摻雜的金屬主要有Ti、Cr、W、Mo、Al、Ni、Cu、Co、Nb等,非金屬有Si、N、F等,化合物有過渡態(tài)金屬氮化物,氧化物及其硫化物等。通過摻雜能一定程度上緩解DLC薄膜的高內(nèi)應(yīng)力,熱穩(wěn)定性差等缺陷,進(jìn)而改善DLC薄膜的環(huán)境敏感性,擴(kuò)大其應(yīng)用場合。為增強(qiáng)薄膜與基材之間的結(jié)合力,減小薄膜脫落失效的可能性,通常采用過渡層和多層梯度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。如在金屬基材上鍍制薄膜時(shí)。DLC涂層在骨科中也有應(yīng)用。常州納米類金剛石廠

隨著技術(shù)及航空航天技術(shù)的發(fā)展,紅外技術(shù)越來越受到人們的重視,在及航天領(lǐng)域有著舉足輕重的作用。紅外光學(xué)元件的工作環(huán)境往往非常惡劣,如空-空導(dǎo)彈、超音速飛機(jī)等裝備光電系統(tǒng)的紅外窗口,需要承受灰塵、高溫、高壓、雨淋、冰雹撞擊、熱沖擊等嚴(yán)峻考驗(yàn),因此對(duì)紅外窗口材料的性能要求越來越苛刻,既要求材料在工作波段具有優(yōu)良的光學(xué)性能,還要求材料具有優(yōu)良的力學(xué)、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕等性能。常作為紅外窗口的材料有鍺(Ge)、硫化鋅(ZnS)、硒化鋅(ZnSe)、砷化鎵(GaAs)、氟化鎂(MgF2)、藍(lán)寶石(sapphire)、尖晶石等,但這些材料在應(yīng)用中都存在著一些問題,例如,Ge在高溫時(shí)透過率下降;GaAs制備成本高且難制成大尺寸窗口;ZnS紅外透過率較低,耐濕性差;ZnSe雖然紅外透過率較高,但強(qiáng)度和耐腐蝕性差,等等,很難找到一種材料既有較高的紅外透過率,又有很好的綜合性能抵抗惡劣的環(huán)境且制備成本低。于是人們考慮在材料表面鍍上具有保護(hù)性能的紅外增透膜,而DLC膜恰恰順應(yīng)了時(shí)代的需求。常州納米類金剛石廠類金剛石薄膜的損耗嚴(yán)重嗎?

涂層刀具結(jié)合了基體度高韌性以及涂層高硬度高耐磨性的特點(diǎn),可以提高刀具壽命和加工效率.類金剛石薄膜(DLC)是由無序sp3鍵、sp2鍵、sp1鍵配位碳原子混合而成,具有一系列與金剛石膜相類似的性能(如熱導(dǎo)率高,熱膨脹系數(shù)小,化學(xué)穩(wěn)定性好,硬度和彈性模量高,耐磨性好及摩擦系數(shù)低等)以及優(yōu)異的耐摩擦性能和自潤滑特性,因此成為高速鋼和硬質(zhì)合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世紀(jì)70年代,其沉積方法主要有物理相沉積法(包括磁控濺射沉積、離子束沉積、脈沖激光沉積)和化學(xué)氣相沉積法,近幾年還發(fā)展了液相電化學(xué)沉積法.其表征方法主要有拉曼光譜、X射線光電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)等.DLC薄膜的研究開發(fā)應(yīng)用過程中存在兩個(gè)主要問題:一是膜基結(jié)合力差;二是熱穩(wěn)定性差,這極大降低了工具的使用壽命.改變工藝參數(shù)、摻雜、制備中間過渡層、酸蝕法、機(jī)械處理等可以提高DLC膜的膜基結(jié)合力;在保證高膜基結(jié)合力的同時(shí)具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性.隨著薄膜制備技術(shù)的成熟,制備熱穩(wěn)定性好,sp3含量高同時(shí)內(nèi)應(yīng)力低。

類金剛石薄膜(DLC)擁有高硬度,低摩擦、耐腐蝕等性能,已經(jīng)應(yīng)用于機(jī)械刀具、模具、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。但由于制備技術(shù)的限制,導(dǎo)致DLC存在殘余應(yīng)力較高、膜/基結(jié)合力差、摩擦性能不穩(wěn)定、大面積均勻制備困難等問題。線性陽極離子束技術(shù)具有等離子體離化率高、大面積均勻沉積等特點(diǎn),是制備高性能DLC薄膜的理想技術(shù)。針對(duì)DLC與基體結(jié)合性能較差的現(xiàn)狀,首先從添加合適過渡層(W)匹配膜/基適應(yīng)性出發(fā),探討W過渡層厚度對(duì)DLC薄膜物相、機(jī)械力學(xué)、摩擦學(xué)性能的影響。在此基礎(chǔ)上,通過不同工藝W過渡層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),研究其對(duì)膜/基性能的影響。為改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應(yīng)用,根據(jù)不同類型過渡層性能的對(duì)比,優(yōu)化過渡層設(shè)計(jì),制備出膜/基結(jié)合強(qiáng)度高、機(jī)械性能良好的DLC復(fù)合薄膜,上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石碳涂層DLC的用途。

采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國較早汽車股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)配氣機(jī)構(gòu)試驗(yàn)臺(tái)架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)節(jié)能的影響.試驗(yàn)結(jié)果表明,在邊界潤滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實(shí)際使用工況下,配氣機(jī)構(gòu)的摩擦損失降低6%.DLC涂層零件可以降低發(fā)動(dòng)機(jī)摩擦損失,適用于汽車低碳技術(shù)路線.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。DLC涂層結(jié)合強(qiáng)度不高,通過納米調(diào)制等手段來提高其結(jié)合力。蘇州金剛石類金剛石廠

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表面硬質(zhì)涂層硬度的檢測方法,并分別利用顯微硬度計(jì)和納米壓入儀對(duì)類金剛石(DLC)涂層進(jìn)行了硬度檢測試驗(yàn),運(yùn)用Jonsson-Hogmark提出的顯微硬度模型進(jìn)行了涂層本征硬度的推算,并與納米壓入硬度進(jìn)行了對(duì)比分析,結(jié)果表明,在加載力為1N時(shí),兩者具有較好的一致性,推算結(jié)果可信.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于0.1結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。常州納米類金剛石廠

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標(biāo)簽: 類金剛石 DLC 鍍鈦