簡單說來,石墨態(tài)的C原子就是sp2型雜化,金剛石態(tài)的C原子就是sp3型雜化。類金剛石膜DLC,就是C原子以石墨態(tài)和金剛石態(tài)兩種形態(tài)混合的碳膜。這種復(fù)雜形態(tài)對的碳膜,既有金剛石膜的高硬度,又具有石墨膜的潤滑性。DLC的制備由于類金剛石膜的優(yōu)異性能,自它面世以來,人們就在世界范圍掀起了碳膜的研究熱潮,相繼出現(xiàn)了一系列的碳膜制備技術(shù)??偟膩碚f,制備類金剛石膜現(xiàn)在主要是用各種氣相沉積法,根據(jù)制備原理的不同,大體上可以分為物相沉積和化學(xué)氣相沉積,根據(jù)離化碳原子和加熱方法的不同,DLC的制備方法可分為:真空電弧沉積,噴射沉積,等離子沉積,脈沖激光沉積,電子加入CVD法等等。DLC的制備方法不同,工藝條件不同,制造出來的類金剛石膜也是不一樣。如何對類金剛石薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析?浦東類金剛石技術(shù)
隨著技術(shù)及航空航天技術(shù)的發(fā)展,紅外技術(shù)越來越受到人們的重視,在及航天領(lǐng)域有著舉足輕重的作用。紅外光學(xué)元件的工作環(huán)境往往非常惡劣,如空-空導(dǎo)彈、超音速飛機(jī)等裝備光電系統(tǒng)的紅外窗口,需要承受灰塵、高溫、高壓、雨淋、冰雹撞擊、熱沖擊等嚴(yán)峻考驗(yàn),因此對紅外窗口材料的性能要求越來越苛刻,既要求材料在工作波段具有優(yōu)良的光學(xué)性能,還要求材料具有優(yōu)良的力學(xué)、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕等性能。常作為紅外窗口的材料有鍺(Ge)、硫化鋅(ZnS)、硒化鋅(ZnSe)、砷化鎵(GaAs)、氟化鎂(MgF2)、藍(lán)寶石(sapphire)、尖晶石等,但這些材料在應(yīng)用中都存在著一些問題,例如,Ge在高溫時透過率下降;GaAs制備成本高且難制成大尺寸窗口;ZnS紅外透過率較低,耐濕性差;ZnSe雖然紅外透過率較高,但強(qiáng)度和耐腐蝕性差,等等,很難找到一種材料既有較高的紅外透過率,又有很好的綜合性能抵抗惡劣的環(huán)境且制備成本低。于是人們考慮在材料表面鍍上具有保護(hù)性能的紅外增透膜,而DLC膜恰恰順應(yīng)了時代的需求。昆山插齒刀類金剛石工藝類金剛石鍍膜的溫度多高?—推薦上海英屹涂層技術(shù)有限公司!
類金剛石薄膜(DLC)擁有高硬度,低摩擦、耐腐蝕等性能,已經(jīng)應(yīng)用于機(jī)械刀具、模具、汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。但由于制備技術(shù)的限制,導(dǎo)致DLC存在殘余應(yīng)力較高、膜/基結(jié)合力差、摩擦性能不穩(wěn)定、大面積均勻制備困難等問題。線性陽極離子束技術(shù)具有等離子體離化率高、大面積均勻沉積等特點(diǎn),是制備高性能DLC薄膜的理想技術(shù)。針對DLC與基體結(jié)合性能較差的現(xiàn)狀,首先從添加合適過渡層(W)匹配膜/基適應(yīng)性出發(fā),探討W過渡層厚度對DLC薄膜物相、機(jī)械力學(xué)、摩擦學(xué)性能的影響。在此基礎(chǔ)上,通過不同工藝W過渡層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),研究其對膜/基性能的影響。為改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應(yīng)用,根據(jù)不同類型過渡層性能的對比,優(yōu)化過渡層設(shè)計(jì),制備出膜/基結(jié)合強(qiáng)度高、機(jī)械性能良好的DLC復(fù)合薄膜,上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。
使用類金剛石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作為涂層,采用等離子體離子浸沒注入技術(shù))對空間飛輪長壽命軸承溝道表面進(jìn)行改性.結(jié)果表明,陪試件表面DLC改性后表面粗糙度、軸承內(nèi)外溝道輪廓形狀誤差等特性未發(fā)生明顯改變,改性層表面納米硬度提高2倍左右;陪試件摩擦試驗(yàn)結(jié)果表明,改性后表面的摩擦學(xué)性能得到了明顯改善;DLC涂層的穩(wěn)定摩擦因數(shù)為基體的1/3~1/4,有利于延長空間飛輪軸承的工作壽命.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石碳涂層DLC的用途。
類金剛石薄膜的制備方法根據(jù)制備DLC薄膜碳源的不同,可將DLC薄膜的制備方法分為固體靶材為碳源的物相沉積法和含碳?xì)怏w為碳源的化學(xué)氣相沉積法。其中DLC薄膜的制備方法和性能也隨著相應(yīng)沉積技術(shù)的發(fā)展獲得改進(jìn)和提升。傳統(tǒng)的氣相沉積技術(shù)制備薄膜的能量來自于熱源。為制備性能更為優(yōu)異,功能應(yīng)用多樣化的新型特殊薄膜,傳統(tǒng)的鍍膜技術(shù)無法滿足實(shí)際的需求。為使薄膜達(dá)到更優(yōu)異的性能,逐漸地把各種氣體放電技術(shù)引入到薄膜材料制備的過程中,進(jìn)而發(fā)展形成了離子鍍膜技術(shù)。離子鍍膜技術(shù)能很大程度上增加膜層粒子的離化率,提高膜層粒子的整體能量,終高效地進(jìn)行薄膜的制備。相應(yīng)的,對于制備DLC薄膜的兩種主要方法也進(jìn)行了一定程度的補(bǔ)充優(yōu)化。類金剛石薄膜研究進(jìn)展。昆山插齒刀類金剛石工藝
類金剛石涂層怎么使用?浦東類金剛石技術(shù)
在眾多類型的碳材料中,類金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其優(yōu)異的性能吸引了世界范圍內(nèi)的關(guān)注和研究。DLC薄膜的結(jié)構(gòu)處于金剛石和石墨結(jié)構(gòu)之間的,主要是由金剛石結(jié)構(gòu)的sp3雜化碳原子和石墨結(jié)構(gòu)的sp2雜化碳原子混雜在一起形成的復(fù)雜三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)構(gòu)成[27]。根據(jù)晶體材料的特征分析,DLC薄膜通常呈現(xiàn)非晶態(tài)或非晶納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)。根據(jù)氫的有無可以分為含氫DLC薄膜(a-C:H)和不含氫DLC薄膜(a-C)。根據(jù)不同的含氫量和sp3與sp2雜化鍵的比例又分為不同的細(xì)類,如圖1-1所示。在2005年德國工程師學(xué)會定制的“碳涂層”標(biāo)準(zhǔn)中,又可將DLC薄膜細(xì)分為不同的七大類[27]。由于DLC薄膜的結(jié)構(gòu)介于金剛石和石墨之間,使其具有高的硬度,優(yōu)異的減摩抗磨性能,同時還具有高的熱導(dǎo)率、低的介電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學(xué)透過性以及優(yōu)異的化學(xué)惰性和較好的生物相容性等。因而DLC薄膜不僅呈現(xiàn)良好的摩擦學(xué)性能,還具有良好的耐腐蝕性能。浦東類金剛石技術(shù)
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