類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)兩類。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon,簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer—likecarbon,簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時還結(jié)合一定數(shù)量的氫.類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過相同簡單的結(jié)構(gòu)單元通過共價鍵重復(fù)連接而成的化合物。這種類金剛石薄膜因為sp2鍵占據(jù)了主要數(shù)量,所以比較軟,又不具備石墨的特性,使得它的用途受到了限制,在摩擦學(xué)的應(yīng)用上還處在起步階段。鋅鎳合金電鍍,特氟龍涂層,DLC涂層的性能區(qū)別?松江銑刀DLC公司
碳是類金剛石膜的主要成分。碳元素有3種同素異形體,即金剛石、石墨和各種無定形碳。碳原子按組成鍵的不同存在3種不同形態(tài),即sp1、sp2和sp3。類金剛石膜(DLC)是一種碳原子之間以共價鍵鍵合的亞穩(wěn)態(tài)的非晶體材料,其共價鍵主要含有sp2和sp32種雜化方式,同時在含氫的類金剛石膜DLC中還存在一些C-H鍵。由于碳源和制備方法的不同,可將類金剛石膜分為含氫和不含氫的兩大類,因此,DLC也被分為非晶體碳膜和非晶體含氫碳膜。簡單介紹一下sp1,sp2,sp3雜化。sp1雜化:處于基態(tài)的碳原子(電子排布式為:1s22s22p2)的一個2s電子激發(fā)至一個空的2p軌道上,使原子進入激發(fā)態(tài)(電子排布式為:1s22s12p3)。然后,一個2s軌道再和上述填充了一個電子的2p軌道進行sp雜化,形成兩個sp雜化軌道。剩余2個p軌道,上面各有1個單電子。sp2雜化:處于基態(tài)的碳原子(電子排布式為:1s22s22p2)的一個2s電子激發(fā)至一個空的2p軌道上,使原子進入激發(fā)態(tài)(電子排布式為:1s22s12p3)。然后,一個2s軌道再和上述兩個各填充了一個電子的2p軌道進行sp2雜化,形成三個sp2雜化軌道。剩余一個p軌道,上面有1個單電子。sp3雜化:處于基態(tài)的碳原子。松江銑刀DLC公司純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。
研究結(jié)果表明:采用射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積方法,可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜與基材之間存在較大的內(nèi)應(yīng)力,薄膜牢度較小,易剝落,且不耐磨。用旋轉(zhuǎn)磁控電弧離子鍍技術(shù),在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層,然后再用射頻等離子體化學(xué)氣相沉積(rfPEVCD)方法在過渡層上制備了DLC薄膜,發(fā)現(xiàn)所制備的DLC碳膜的附著牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。
類金剛石(英文:Diamond-likeCarbon縮寫DLC)是一種非晶碳,這種材料表現(xiàn)出很多與金剛石相類似的性質(zhì),DLC常常作為涂層材料使用。類金剛石的微觀結(jié)構(gòu)為了弄清楚類金剛石的概念,我們首先研究一下碳元素。碳元素存在于自然界當(dāng)中,我們平時看到的鉆石、石墨、富勒烯、碳納米管等等都是碳元素形成的。當(dāng)碳原子以sp3鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成金剛石。當(dāng)碳原子以sp2鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成石墨。當(dāng)以碳原子sp2、sp3鍵混合雜化的時候,形成的就是類金剛石了。類金剛石常常是以薄膜形式使用的,類金剛石薄膜具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵。類金剛石薄膜(DLC)是一種非晶態(tài)薄膜。
類金剛石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)發(fā)現(xiàn)于20世紀70年代,是一系列含有sp3和sp2鍵的非晶碳膜,它有著和金剛石膜非常接近的性質(zhì)——高硬度、高彈性模量、耐磨損、低摩擦系數(shù)、高電阻率、高透光率和高化學(xué)穩(wěn)定性等。因此,類金剛石薄膜技術(shù)被廣泛應(yīng)用到機械、電子、光學(xué)和醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。摻雜的DLC膜是一種非晶半導(dǎo)體材料,禁帶寬度可以在1—4eV之間調(diào)制,可大面積生長,材料自身和加工過程環(huán)保,在光電探測領(lǐng)域的運用具有非常大的潛力。但目前DLC半導(dǎo)體摻雜尚無法獲得n型或者p型DLC半導(dǎo)體材料。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。Cr-DLC涂層的腐蝕傾向和腐蝕速率都要小于ZL114合金母材。湖州DLC公司
不同過渡層對DLC薄膜力學(xué)性能和摩擦學(xué)性能的影響。松江銑刀DLC公司
DLC形式的碳膜因其高硬度、低摩擦系數(shù)成為一種具有廣泛應(yīng)用前景的鍍層,但其通常具有較高的內(nèi)應(yīng)力因而薄膜沉積的厚度受到限制。類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率。良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。了它作為刀具對鋼鐵材料的加工應(yīng)用。以sp2雜化為主的高硬度類石墨膜,具有較高的硬度,又有低的摩擦系數(shù),內(nèi)應(yīng)力比較小,因而可以沉積相對較厚的膜層,在與鋼鐵材料接觸時不會出現(xiàn)觸媒反應(yīng),是一種優(yōu)異的抗磨減摩鍍層。DLC膜是一種共價鍵形式的非晶碳材料,它主要以SP2和SP3兩種雜化方式存在,而DLC膜的性質(zhì)也主要由SP2和SP3鍵的相對含量所決定,由于SP3鍵的含量變化范圍寬,在不同工藝條件下制備的DLC膜的性能也有所不同。DLC膜的性能包括:低摩擦系數(shù)、高耐磨性、高導(dǎo)熱率、高電阻率、高硬度、良好的光學(xué)透過性和生物相容性,所以現(xiàn)在被廣泛應(yīng)用在機械、汽車、電子、光學(xué)、醫(yī)療等領(lǐng)域。純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。松江銑刀DLC公司