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云浮新款晶圓運送機械吸臂哪里好

來源: 發(fā)布時間:2025-08-09

它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)?!彼詫I(yè)機械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊;搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件;進行激光切割;噴涂;裝配機械零部件等等。編程就是讓計算機為解決某個問題而使用某種程序設計語言編寫程序代碼,并最終得到結果的過程。為了使計算機能夠理解人的意圖,人類就必須要將需解決的問題的思路、方法、和手段通過計算機能夠理解的形式告訴計算機,使得計算機能夠根據(jù)人的指令一步一步去工作,完成某種特定的任務。這種人和計算機之間交流的過程就是編程。X移動,Y移動,Z移動組成,通過在執(zhí)行終端加裝X轉動,Y轉動,Z轉動可以到達空間內的任何坐標點。云浮新款晶圓運送機械吸臂哪里好

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技術實現(xiàn)要素:


本實用新型要解決的技術問題是:現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,各個所述絨毛墊之間間隔排布。 江西正規(guī)晶圓運送機械吸臂怎么聯(lián)系工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。

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晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。

晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路最主要的原料是硅,因此對應的就是硅晶圓。 關節(jié)式機械手因其結構復雜。廣東官方晶圓運送機械吸臂價格便宜

場景是新技術應用中的重要一環(huán),場景越多意味著應用的廣大性和未來的期望空間越大,而如果一款技術誕生沒有實際的應用場景,即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機械手臂的應用場景有哪些呢?它的應用特點十分明顯,主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復性高的動作。如果工作場景符合上述兩個特點,機械手臂都可以得到應用。

機械手臂應用場景多在制造業(yè),有重工業(yè)屬性,如金屬加工、拋光打磨、裝配、機床上下料、碼垛/搬運、橡膠/塑料、分揀等。 運動元件。如油缸、氣缸、齒條、凸輪等是驅動手臂運動的部件。

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隨著半導體制造工藝向更小尺寸、更高集成度的方向發(fā)展,對機械吸臂的精度和穩(wěn)定性要求越來越高。在納米級的制造工藝中,吸臂的微小振動、位置偏差或吸附力不均勻都可能對晶圓造成嚴重影響。因此,如何進一步提高吸臂的運動精度和穩(wěn)定性,減少各種誤差因素的影響,是當前面臨的一個重要挑戰(zhàn)。半導體制造車間的環(huán)境要求極為嚴格,需要在超凈、恒溫、恒濕的條件下進行生產(chǎn)。機械吸臂在這樣的環(huán)境中運行,需要具備良好的防塵、防靜電、耐腐蝕等性能。同時,為了滿足不同工藝設備的接口要求和工作空間限制,吸臂的設計還需要具備更高的靈活性和兼容性。如何在滿足這些復雜環(huán)境和工藝要求的前提下,保證吸臂的可靠性和使用壽命,也是需要解決的關鍵問題。吸臂采用靜電除塵技術,保證晶圓表面的清潔度。云浮新款晶圓運送機械吸臂哪里好

機械手臂是機械人技術領域中得到最***實際應用的自動化機械裝置.云浮新款晶圓運送機械吸臂哪里好

可選地,所述托板包括:

主板;

排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側與所述主板固定連接;

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地,所述表面為平面。

另外,本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中,機械手臂傳送晶圓時,晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,不易發(fā)生平移,這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。 云浮新款晶圓運送機械吸臂哪里好

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