真空閥的重要部件是球體,通過旋轉(zhuǎn)球體來控制流體的開啟和關(guān)閉。在真空系統(tǒng)中,真空閥可以精確地控制氣流的流動路徑,實(shí)現(xiàn)氣路的開關(guān)功能??刂茪饬鞔笮。和ㄟ^調(diào)節(jié)球體的旋轉(zhuǎn)角度,可以精確地控制通過閥門的氣體流量。這種功能在需要精確控制氣體流量的應(yīng)用場景中非常重要,如半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜涂覆等領(lǐng)域。真空閥通常用于壓力低于1×10^-6Torr(或相應(yīng)單位)的高真空環(huán)境中。在這種環(huán)境下,由于密封要求非常嚴(yán)格,真空閥的密封性能變得尤為重要。良好密封性能:真空閥通常采用金屬密封或真空密封的設(shè)計。金屬密封球閥使用特殊的氣密材料作為密封圈,如金屬O型密封圈或金屬波紋管密封圈。真空密封球閥則采用復(fù)合密封結(jié)構(gòu),如金屬密封結(jié)合硅橡膠密封,以保證在高真空環(huán)境下的可靠密封。精確調(diào)節(jié)流量,滿足多樣化需求。上海真空閥密封形式
流體阻力?。赫婵臻y在全開狀態(tài)體通道與管道直徑一致,流體阻力小。這有助于減少能源消耗和提高系統(tǒng)效率。綜上所述,真空閥具有高真空密封性能、快速啟閉與操作簡便、耐腐蝕與耐高壓、長壽命與可靠性、適用范圍廣、維護(hù)方便以及流體阻力小等特點(diǎn)。這些特點(diǎn)使得真空閥在高真空和超高真空環(huán)境中得到了廣泛的應(yīng)用和認(rèn)可。真空閥采用特殊的密封結(jié)構(gòu)和材料,如金屬密封或彈性密封,以確保在高真空或超高真空環(huán)境中具有良好的密封性能。密封面經(jīng)過精密加工和拋光,減少氣體泄漏的可能性,從而保持系統(tǒng)的真空度。上海真空閥密封形式提供穩(wěn)定流量輸出,確保質(zhì)量。
真空閥是一種特殊的閥門,其主要作用是在真空系統(tǒng)中開關(guān)氣路、控制氣流大小,以及在高真空或超高真空環(huán)境中對氣體進(jìn)行精確控制。以下是關(guān)于真空閥作用的詳細(xì)解釋:開關(guān)氣路與控制氣流開關(guān)氣路:真空閥通過閥球的旋轉(zhuǎn),可以實(shí)現(xiàn)氣路的開啟和關(guān)閉。當(dāng)閥球上的通孔與閥體通道對齊時,閥門處于開啟狀態(tài),介質(zhì)可以順暢地通過;當(dāng)閥球旋轉(zhuǎn)使通孔與閥體通道錯開時,閥門關(guān)閉,阻止介質(zhì)流動。這種開關(guān)功能在真空系統(tǒng)中至關(guān)重要,可以實(shí)現(xiàn)對氣體流動的精確控制??刂茪饬鞔笮。和ㄟ^調(diào)節(jié)閥球的旋轉(zhuǎn)角度,真空閥還可以在一定程度上控制氣流的流量。雖然其主要功能并非精確調(diào)節(jié)流量,但在某些應(yīng)用場景下,這種調(diào)節(jié)功能仍然具有一定的實(shí)用價值。高真空環(huán)境適應(yīng)性高真空適應(yīng)性:真空閥的設(shè)計使其能夠在高真空狀態(tài)下正常工作。
在真空泵對容器進(jìn)行抽真空的過程中,可以通過關(guān)閉和打開不同的閥門來控制氣流的流向,從而實(shí)現(xiàn)對真空度的精確調(diào)節(jié)。定量充氣功能部分真空閥還具備定量充氣功能。這通常通過在閥門上設(shè)置一個具有特定體積的小洞來實(shí)現(xiàn)。當(dāng)小洞與高壓氣瓶相連時,可以充滿高壓氣體;當(dāng)小洞與真空容器相連時,則可以將高壓氣體定量地充入容器中。高真空環(huán)境下的密封性能真空閥采用特殊的密封結(jié)構(gòu)和材料,以確保在真空、高真空及一定的正壓力條件下均保持良好的密封性能。其泄漏率極低,能夠滿足高真空和超高真空系統(tǒng)的要求。模塊化設(shè)計,便于維修更換。
真空閥是一種用帶有圓形通道的球體作啟閉件,球體隨閥桿轉(zhuǎn)動實(shí)現(xiàn)啟閉動作的閥門。真空閥的啟閉件是一個有孔的球體,繞垂直于通道的軸線旋轉(zhuǎn),從而達(dá)到啟閉通道的目的。啟閉迅速、輕便:真空閥只需要用旋轉(zhuǎn)90度的操作和很小的轉(zhuǎn)動力矩就能關(guān)閉嚴(yán)密,操作方便,開閉迅速。流體阻力小:全通徑的真空閥基本沒有流阻,特別適用于大流量、低阻力的場合。結(jié)構(gòu)簡單,體積小,重量輕:真空閥的結(jié)構(gòu)相對簡單,便于安裝和維修。密封性能好:真空閥具有兩個密封面,密封材料能夠使用各種塑料,密封性好,能實(shí)現(xiàn)完全密封。適用范圍廣:真空閥的通徑范圍廣,從小到幾毫米,大到幾米,從高真空至高壓力都可應(yīng)用。易于操作和維修:真空閥的密封圈一般都是活動的,拆卸更換都比較方便。可用于多種介質(zhì):真空閥不僅適用于水、溶劑、酸和天然氣等一般工作介質(zhì),還適用于工作條件惡劣的介質(zhì),如氧氣、過氧化氫、甲烷和乙烯等。真空閥適應(yīng)寬范圍溫度變化。上海真空閥密封形式
真空閥實(shí)現(xiàn)高精度壓力調(diào)節(jié)。上海真空閥密封形式
真空閥:由于真空系統(tǒng)中的氣壓非常低,要求氣密性能極高,一般要求在10-9Pa范圍。因此,真空閥通常使用金屬密封結(jié)構(gòu),如金屬球與金屬閥座匹配,或金屬球與金屬球面密封,以保證密封性能。普通球閥:通常使用彈性密封結(jié)構(gòu),如O型圈密封,這種結(jié)構(gòu)的密封性能無法滿足高真空和超高真空的需求。材料選擇真空閥:通常使用不銹鋼、銅、鋁等金屬材料制作,很大程度地保證了閥門本身的氣密性。普通球閥:則可以使用很多種材料,如鑄鐵、鑄鋼、不銹鋼、聚四氟乙烯(PTFE)等材料。上海真空閥密封形式