激光干涉儀使用技巧；Z軸激光光路快速準直方法：用激光干涉儀進行線性測量時，Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求，準直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀使用注意事項：必要時要使用精密儀表油潤滑。湖南多功能激光干涉儀安裝

激光干涉儀原理：激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。精密儀器激光干涉儀哪個牌子好激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關？

激光干涉儀的維護：儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

利用激光干涉儀的線性測長功能，不但能夠測量出數(shù)控機床的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據并對精度進行補償。還能幫助我們利用檢測圖形和數(shù)據，來分析數(shù)控機床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法，從而迅速恢復機床，縮短數(shù)控機床維修時間，提高數(shù)控機床維修的效率。激光干涉儀是根據光學干涉基本原理設計而成的。具體到API激光干涉儀，即激光器射出單一頻率波，當此光束抵達偏振分光鏡時，會被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束)，在這兩道光射向其反光鏡，然后透過分光鏡反射回去，在激光頭內的探測器形成一道干涉光束，若光程差沒有任何變化，探測器會在每一次光程改變時，在相長性和相消性干涉的兩極找到變動的信號。計算處理系統(tǒng)可以通過此變化來測量兩光程間差異變化。激光干涉儀使用注意事項：盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。

激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時，對設備產生懷疑。因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。激光干涉儀有數(shù)控機床動態(tài)性能檢測的應用。福建專業(yè)激光干涉儀

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。湖南多功能激光干涉儀安裝

從激光器發(fā)出的一束單色﹑頻率穩(wěn)定的激光,在分光鏡上被分為強度相等的兩束,一束經分光鏡反射進入干涉儀的一臂(稱為Y臂),另一束透過分光鏡進入與其垂直的另一臂(稱為X臂),在經歷了幾乎相同的度越時間之后,兩束光返回,并在分光鏡上重新相遇,并在那里產生干涉。若兩束光的度越時間相等(或時間差為光振動周期的整數(shù)倍)則兩束光在光探測器上干涉減弱呈暗條紋,而返回激光器的那個合光束則是干涉加強呈亮條紋。精心調節(jié)干涉儀的臂長使兩束光完全相干相減,則探測器探測不到光強,激光干涉儀引力波探測器的輸出信號為零。這是探測器的初始工作狀態(tài)。湖南多功能激光干涉儀安裝