激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復(fù)定位精度，反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量長可以達到80m，較高線性測長分辨率0.001μm，較高測量速度240m/min。對于不同的數(shù)控機床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠?qū)⒂绊憴C床精度的原因列出來，數(shù)控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù)，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調(diào)整和數(shù)控機床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導(dǎo)，縮短數(shù)控機床維修時間，提高數(shù)控機床維修的效率。激光干涉儀使用注意事項：如必須擦拭則應(yīng)當小心擦拭，利用科學(xué)的方法進行清潔。福建小型激光干涉儀

激光干涉儀的維護：儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動，儀器搬動時，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。2、光學(xué)零件不用時，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。使用時，各調(diào)整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。河南顯微式激光干涉儀維修激光干涉儀可以進導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

利用激光干涉儀的線性測長功能，不但能夠測量出數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對精度進行補償。還能幫助我們利用檢測圖形和數(shù)據(jù)，來分析數(shù)控機床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法，從而迅速恢復(fù)機床，縮短數(shù)控機床維修時間，提高數(shù)控機床維修的效率。激光干涉儀是根據(jù)光學(xué)干涉基本原理設(shè)計而成的。具體到API激光干涉儀，即激光器射出單一頻率波，當此光束抵達偏振分光鏡時，會被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束)，在這兩道光射向其反光鏡，然后透過分光鏡反射回去，在激光頭內(nèi)的探測器形成一道干涉光束，若光程差沒有任何變化，探測器會在每一次光程改變時，在相長性和相消性干涉的兩極找到變動的信號。計算處理系統(tǒng)可以通過此變化來測量兩光程間差異變化。

激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值，偏離我們的預(yù)估，以至于在高精度檢測時，對設(shè)備產(chǎn)生懷疑。因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學(xué)鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。激光干涉儀使用注意事項：必要時要使用精密儀表油潤滑。

激光干涉儀的使用方法：透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。此外，干涉圖像與對準系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標準鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量。長沙顯微式激光干涉儀維修

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性。福建小型激光干涉儀

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光波長非常穩(wěn)定，可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。福建小型激光干涉儀