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利用激光干涉儀的線性測(cè)長(zhǎng)功能,不但能夠測(cè)量出數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對(duì)精度進(jìn)行補(bǔ)償。還能幫助我們利用檢測(cè)圖形和數(shù)據(jù),來(lái)分析數(shù)控機(jī)床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法,從而迅速恢復(fù)機(jī)床,縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間,提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。激光干涉儀是根據(jù)光學(xué)干涉基本原理設(shè)計(jì)而成的。具體到API激光干涉儀,即激光器射出單一頻率波,當(dāng)此光束抵達(dá)偏振分光鏡時(shí),會(huì)被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束),在這兩道光射向其反光鏡,然后透過(guò)分光鏡反射回去,在激光頭內(nèi)的探測(cè)器形成一道干涉光束,若光程差沒(méi)有任何變化,探測(cè)器會(huì)在每一次光程改變時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極找到變動(dòng)的信號(hào)。計(jì)算處理系統(tǒng)可以通過(guò)此變化來(lái)測(cè)量?jī)晒獬涕g差異變化。用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)。北京數(shù)控設(shè)備幾何精度激光干涉儀價(jià)格
激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測(cè)工具,能對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測(cè)量、直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、角度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測(cè)量。其中線性測(cè)量功能通過(guò)機(jī)床運(yùn)行一段直線插補(bǔ)程序,能檢測(cè)線性坐標(biāo)軸的定位精度、重復(fù)定位精度,反向間隙等。以我司生產(chǎn)的型號(hào)XL-80激光干涉儀為例,其線性測(cè)長(zhǎng)精度可達(dá)到±0.5ppm(0~40℃),線性測(cè)量比較長(zhǎng)可以達(dá)到80m,比較高線性測(cè)長(zhǎng)分辨率0.001μm,比較高測(cè)量速度240m/min。激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、Zgao測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。北京數(shù)控設(shè)備幾何精度激光干涉儀價(jià)格影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差。
激光干涉儀的使用方法:透鏡面形檢測(cè):調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測(cè),自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合,觀測(cè)顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。此外,干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步,無(wú)需切換,任何人都能簡(jiǎn)單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長(zhǎng)的測(cè)試軌道來(lái)配合測(cè)量尺寸,可簡(jiǎn)便的測(cè)量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測(cè):開(kāi)啟標(biāo)尺電源開(kāi)關(guān)(清零),調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條),凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度(凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度)到第2個(gè)星點(diǎn)出現(xiàn)的時(shí)候調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕,使圖像出現(xiàn)貓眼像,標(biāo)尺移動(dòng)的數(shù)值就為被測(cè)透鏡的曲率半徑。
激光干涉儀使用環(huán)境:因?yàn)楣鈱W(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化,溫度不穩(wěn)定將直接影響測(cè)量精度的可靠性,所以激光干涉儀的使用對(duì)環(huán)境也有一定的要求:1、溫度要求在20℃左右,濕度不大于60%。2、遠(yuǎn)離振動(dòng)源,以免條紋產(chǎn)生抖動(dòng)影響測(cè)量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他需要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合,南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動(dòng)靈活的特點(diǎn),用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡(jiǎn)單操作,非常適合大批量快速檢測(cè)。激光干涉儀在實(shí)際使用中,需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等。蘇州數(shù)控設(shè)備幾何精度激光干涉儀
激光干涉儀有數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)的應(yīng)用。北京數(shù)控設(shè)備幾何精度激光干涉儀價(jià)格
隨著光學(xué)產(chǎn)品的快速發(fā)展,從高科技產(chǎn)品到數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)等大眾消費(fèi)產(chǎn)品,無(wú)不與光學(xué)息息相關(guān),推動(dòng)了光學(xué)研究和光學(xué)加工的快速發(fā)展,同時(shí)也光學(xué)檢測(cè)手段提出了更高的要求,也正因?yàn)槿绱耍す飧缮鎯x成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢(mèng)想與追求,擁有一臺(tái)激光干涉儀,就擁有世界先進(jìn)的檢測(cè)手段,就擁有令人信服的檢測(cè)結(jié)果,就能證明可以生產(chǎn)先進(jìn)的產(chǎn)品。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他需要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合。北京數(shù)控設(shè)備幾何精度激光干涉儀價(jià)格