激光干涉儀使用環(huán)境：因為光學(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化，溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性，所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求：1、溫度要求在20℃左右，濕度不大于60%。2、遠(yuǎn)離振動源，以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測機構(gòu)以及其他需要進行光學(xué)表面檢測的場合，南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點，用12v電源，其耗電量極低，干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換，任何人都能簡單操作，非常適合大批量快速檢測。激光干涉儀可以進導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。安徽機床誤差修正激光干涉儀

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，激光干涉儀并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。精密測量激光干涉儀品牌激光干涉儀常配合筆記本電腦使用。

數(shù)控機床設(shè)備在維修維保或機床設(shè)備大修之后，使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，把檢測的數(shù)據(jù)值通過數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補償進入數(shù)控系統(tǒng)，利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差，利用球桿儀檢測數(shù)控軸聯(lián)動加工的真圓度，不但可以提高相關(guān)聯(lián)的幾個數(shù)控軸聯(lián)動加工的精度等級，還保證了數(shù)控軸的精度、延長數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器，對數(shù)控機床設(shè)備進行精度的再校準(zhǔn)。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標(biāo)準(zhǔn)，它具備自動線性誤差補償功能，可以方便恢復(fù)機床精度。

激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量。湖南數(shù)控軸垂直度激光干涉儀

激光干涉儀為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。安徽機床誤差修正激光干涉儀

數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當(dāng)前為有效且普遍應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)谋硎局?。?dāng)采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補償點位置的問題。機床系統(tǒng)種類繁多，正逐步向自動補償邁進。安徽機床誤差修正激光干涉儀