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Thermal EMMI鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-06

在電子產(chǎn)業(yè)的半導(dǎo)體材料檢測(cè)中,電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)用途,為半導(dǎo)體材料的質(zhì)量提升提供了重要保障。半導(dǎo)體材料的質(zhì)量直接影響半導(dǎo)體器件的性能,材料中存在的摻雜不均、位錯(cuò)、微裂紋等缺陷,會(huì)導(dǎo)致器件的電學(xué)性能和熱學(xué)性能下降。通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體材料施加電激勵(lì),使材料內(nèi)部產(chǎn)生電流,缺陷處由于導(dǎo)電性能和導(dǎo)熱性能的異常,會(huì)產(chǎn)生局部的溫度差異。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠敏銳地檢測(cè)到這些溫度差異,并通過(guò)分析溫度場(chǎng)的分布特征,評(píng)估材料的質(zhì)量狀況。例如,在檢測(cè)硅晶圓時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)晶圓表面的摻雜不均區(qū)域,這些區(qū)域會(huì)影響后續(xù)芯片制造的光刻和刻蝕工藝;在檢測(cè)碳化硅材料時(shí),能夠識(shí)別出材料內(nèi)部的微裂紋,這些裂紋會(huì)導(dǎo)致器件在高壓工作時(shí)發(fā)生擊穿。檢測(cè)結(jié)果為半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)提供了詳細(xì)的質(zhì)量反饋,幫助企業(yè)優(yōu)化材料生長(zhǎng)工藝,提升電子產(chǎn)業(yè)上游材料的品質(zhì)。電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng),電子檢測(cè)黃金組合。Thermal EMMI鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制

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鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵(lì)方式在電子產(chǎn)業(yè)的多層電路板檢測(cè)中優(yōu)勢(shì)明顯,為多層電路板的生產(chǎn)質(zhì)量控制提供了高效解決方案。多層電路板由多個(gè)導(dǎo)電層和絕緣層交替疊加而成,層間通過(guò)過(guò)孔實(shí)現(xiàn)電氣連接,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,在生產(chǎn)過(guò)程中容易出現(xiàn)層間短路、盲孔堵塞、絕緣層破損等缺陷。這些缺陷會(huì)導(dǎo)致電路板的電氣性能下降,甚至引發(fā)短路故障。電激勵(lì)能夠通過(guò)不同層的線(xiàn)路施加電流,使電流在各層之間流動(dòng),缺陷處會(huì)因電流分布異常而產(chǎn)生溫度變化。鎖相熱成像系統(tǒng)可以通過(guò)檢測(cè)層間的溫度變化,精細(xì)定位缺陷的位置和類(lèi)型。例如,檢測(cè)層間短路時(shí),系統(tǒng)會(huì)發(fā)現(xiàn)短路點(diǎn)處的溫度明顯高于周?chē)鷧^(qū)域;檢測(cè)盲孔堵塞時(shí),會(huì)發(fā)現(xiàn)對(duì)應(yīng)位置的溫度分布異常。與傳統(tǒng)的 X 射線(xiàn)檢測(cè)相比,該系統(tǒng)的檢測(cè)速度更快,成本更低,而且能夠直觀(guān)地顯示缺陷的位置,助力多層電路板生產(chǎn)企業(yè)提高質(zhì)量控制水平。缺陷定位鎖相紅外熱成像系統(tǒng)品牌電激勵(lì)為鎖相熱成像系統(tǒng)提供穩(wěn)定熱信號(hào)源。

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RTTLIT 系統(tǒng)采用了先進(jìn)的鎖相熱成像(Lock-In Thermography)技術(shù),這是一種通過(guò)調(diào)制電信號(hào)來(lái)大幅提升特征分辨率與檢測(cè)靈敏度的創(chuàng)新方法。在傳統(tǒng)的熱成像檢測(cè)中,由于背景噪聲和熱擴(kuò)散等因素的影響,往往難以精確檢測(cè)到微小的熱異常。而鎖相熱成像技術(shù)通過(guò)對(duì)目標(biāo)物體施加特定頻率的電激勵(lì),使目標(biāo)物體產(chǎn)生與激勵(lì)頻率相同的熱響應(yīng),然后通過(guò)鎖相放大器對(duì)熱響應(yīng)信號(hào)進(jìn)行解調(diào),只提取與激勵(lì)頻率相關(guān)的熱信號(hào),從而有效地抑制了背景噪聲,極大地提高了檢測(cè)的靈敏度和分辨率。

鎖相熱成像系統(tǒng)的組件各司其職,共同保障了系統(tǒng)的高效運(yùn)行。可調(diào)諧激光器作為重要的熱源,能夠提供穩(wěn)定且可調(diào)節(jié)頻率的周期性熱激勵(lì),以適應(yīng)不同被測(cè)物體的特性;紅外熱像儀則如同 “眼睛”,負(fù)責(zé)采集物體表面的溫度場(chǎng)分布,其高分辨率確保了溫度信息的細(xì)致捕捉;鎖相放大器是系統(tǒng)的 “中樞處理器” 之一,專(zhuān)門(mén)用于從復(fù)雜的信號(hào)中提取與激勵(lì)同頻的相位信息,過(guò)濾掉無(wú)關(guān)噪聲;數(shù)據(jù)處理單元?jiǎng)t對(duì)收集到的信息進(jìn)行綜合處理和分析,**終生成清晰、直觀(guān)的缺陷圖像。這些組件相互配合、協(xié)同工作,每個(gè)環(huán)節(jié)的運(yùn)作都不可或缺,共同確保了系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率、高對(duì)比度的檢測(cè)效果,滿(mǎn)足各種高精度檢測(cè)需求。電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)微缺陷檢測(cè)。

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鎖相熱成像系統(tǒng)在鋰電池檢測(cè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。隨著新能源汽車(chē)的快速發(fā)展,鋰電池的安全性和可靠性越來(lái)越受到關(guān)注。鋰電池內(nèi)部的隔膜破損、極片錯(cuò)位等缺陷,可能會(huì)導(dǎo)致電池短路、熱失控等嚴(yán)重問(wèn)題。鎖相熱成像系統(tǒng)可以通過(guò)對(duì)鋰電池施加周期性的充放電激勵(lì),使電池內(nèi)部的缺陷區(qū)域產(chǎn)生異常的溫度變化。系統(tǒng)能夠捕捉到這些細(xì)微的溫度變化,并通過(guò)鎖相技術(shù)將其從復(fù)雜的背景信號(hào)中提取出來(lái),從而定位缺陷的位置。這種檢測(cè)方式不僅能夠快速檢測(cè)出鋰電池的內(nèi)部缺陷,還能對(duì)電池的性能進(jìn)行評(píng)估,為鋰電池的生產(chǎn)質(zhì)量控制和使用安全提供了有力的技術(shù)保障。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)下的缺陷無(wú)所遁形。失效分析鎖相紅外熱成像系統(tǒng)范圍

電激勵(lì)作為一種能量輸入方式,能激發(fā)物體內(nèi)部熱分布變化,為鎖相熱成像系統(tǒng)捕捉細(xì)微溫差提供熱源基礎(chǔ)。Thermal EMMI鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制

在電子產(chǎn)業(yè)中,電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng)的結(jié)合為電子元件檢測(cè)帶來(lái)了前所未有的高效解決方案。電激勵(lì)的原理是向電子元件施加特定頻率的周期性電流,利用電流通過(guò)導(dǎo)體時(shí)產(chǎn)生的焦耳效應(yīng),使元件內(nèi)部產(chǎn)生均勻且可控的熱量。當(dāng)元件存在短路、虛焊、內(nèi)部裂紋等缺陷時(shí),缺陷區(qū)域的熱傳導(dǎo)特性會(huì)與正常區(qū)域產(chǎn)生明顯差異,進(jìn)而導(dǎo)致溫度分布出現(xiàn)異常。鎖相熱成像系統(tǒng)憑借其高靈敏度的紅外探測(cè)能力和先進(jìn)的鎖相處理技術(shù),能夠捕捉這些細(xì)微的溫度變化,即使是微米級(jí)的缺陷也能被清晰識(shí)別。與傳統(tǒng)的探針檢測(cè)或破壞性檢測(cè)方法相比,這種非接觸式的檢測(cè)方式無(wú)需拆解元件,從根本上避免了對(duì)元件的損傷,同時(shí)還能實(shí)現(xiàn)大批量元件的快速檢測(cè)。例如,在手機(jī)芯片的批量質(zhì)檢中,該系統(tǒng)可在幾分鐘內(nèi)完成數(shù)百片芯片的檢測(cè),提升了電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)檢環(huán)節(jié)的效率和產(chǎn)品的可靠性。Thermal EMMI鎖相紅外熱成像系統(tǒng)按需定制