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非制冷熱紅外顯微鏡原理

來源: 發(fā)布時間:2025-07-28

在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內部電路。但這種方法會破壞內部電路和引線,導致無法進行電動態(tài)分析,適用于需觀察內部電路靜態(tài)結構的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝,優(yōu)點是開封過程不會損壞內部電路和引線,開封后仍可進行電動態(tài)分析,能為失效分析提供更豐富的動態(tài)數(shù)據(jù)。自動法則是利用硫酸噴射實現(xiàn)局部去除,自動化操作可提高效率和精度,不過同樣屬于破壞性處理,會對樣品造成一定程度的損傷。


在半導體制造中,通過逐點熱掃描篩選熱特性不一致的晶圓,提升良率。非制冷熱紅外顯微鏡原理

非制冷熱紅外顯微鏡原理,熱紅外顯微鏡

從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到熱紅外顯微鏡的演變,是其技術團隊對微觀熱分析需求的深度洞察與持續(xù)創(chuàng)新的結果。它既延續(xù)了通過紅外熱輻射解析熱行為的原理,又通過全尺度觀測、高靈敏度檢測、場景化分析等創(chuàng)新,突破了傳統(tǒng)技術的邊界。如今,這款設備已成為半導體失效分析、新材料熱特性研究、精密器件研發(fā)等領域的專業(yè)工具,為行業(yè)在微觀熱管控、缺陷排查、性能優(yōu)化等方面提供了更高效的技術支撐,推動微觀熱分析從 “可見” 向 “可知”“可控” 邁進。科研用熱紅外顯微鏡與光學顯微鏡對比熱紅外顯微鏡能透過硅片或封裝材料,對半導體芯片內部熱缺陷進行非接觸式檢測。

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致晟光電熱紅外顯微鏡的軟件算法優(yōu)化,信號處理邏輯也是其競爭力之一。

其搭載的自適應降噪算法,能通過多幀信號累積與特征學習,精細識別背景噪聲的頻譜特征 —— 無論是環(huán)境溫度波動產生的低頻干擾,還是電子元件的隨機噪聲,都能被針對性濾除,使信噪比提升 2-3 個數(shù)量級。

針對微弱熱信號提取,算法內置動態(tài)閾值調節(jié)機制,結合熱信號的時域相關性與空間分布特征,可從噪聲中剝離 0.05mK 級的微小溫度變化,即使納米尺度結構的隱性感熱信號也能被清晰捕捉。同時,軟件支持熱分布三維建模、溫度梯度曲線分析、多區(qū)域熱演化對比等多元功能,通過直觀的可視化界面呈現(xiàn)數(shù)據(jù) —— 從熱點定位的微米級標記到熱傳導路徑的動態(tài)模擬,為用戶提供從信號提取到深度分析的全流程支持,大幅提升微觀熱分析效率。

在失效分析中,零成本簡單且常用的三個方法基于“觀察-驗證-定位”的基本邏輯,無需復雜設備即可快速縮小失效原因范圍:

1.外觀檢查法(VisualInspection)

2.功能復現(xiàn)與對比法(FunctionReproduction&Comparison)

3.導通/通路檢查法(ContinuityCheck)

但當失效分析需要進階到微觀熱行為、隱性感官缺陷或材料/結構內部異常的層面時,熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 能成為關鍵工具,與基礎方法結合形成更深度的分析邏輯。在進階失效分析中,熱紅外顯微鏡可捕捉微觀熱分布,鎖定電子元件微區(qū)過熱(如虛焊、短路)、材料內部缺陷(如裂紋、氣泡)引發(fā)的隱性熱異常,結合動態(tài)熱演化記錄,與基礎方法協(xié)同,從 “不可見” 熱信號中定位失效根因。 熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩(wěn)定性與熱性能 。

非制冷熱紅外顯微鏡原理,熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡在半導體IC裸芯片熱檢測中發(fā)揮著關鍵作用。對于半導體IC裸芯片而言,其內部結構精密且集成度高,微小的熱異常都可能影響芯片性能甚至導致失效,因此熱檢測至關重要。熱紅外顯微鏡能夠非接觸式地對裸芯片進行熱分布成像與分析,清晰捕捉芯片工作時的溫度變化情況。它可以定位芯片上的熱點區(qū)域,這些熱點往往是由電路設計缺陷、局部電流過大或器件老化等問題引起的。通過對熱點的檢測和分析,工程師能及時發(fā)現(xiàn)芯片潛在的故障風險,為優(yōu)化芯片設計、改進制造工藝提供重要依據(jù)。同時,該顯微鏡還能測量裸芯片內部關鍵半導體結點的溫度,也就是結溫。結溫是評估芯片性能和可靠性的重要參數(shù),過高的結溫會縮短芯片壽命,影響其穩(wěn)定性。熱紅外顯微鏡憑借高空間分辨率的熱成像能力,可實現(xiàn)對結溫的測量,幫助研發(fā)人員更好地掌握芯片的熱特性,從而制定合理的散熱方案,提升芯片的整體性能與可靠性。熱紅外顯微鏡在材料研究領域,常用于觀察材料微觀熱傳導特性。熱紅外成像熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡的 AI 智能分析模塊,自動標記異常熱斑并匹配歷史失效數(shù)據(jù)庫。非制冷熱紅外顯微鏡原理

致晟光電——熱紅外顯微鏡在信號調制技術上的優(yōu)化升級,以多頻率調制為突破點,構建了更精細的微觀熱信號解析體系。其通過精密算法控制電信號的頻率切換與幅度調節(jié),使不同深度、不同材質的樣品區(qū)域產生差異化熱響應 —— 高頻信號可捕捉表層微米級熱點,低頻信號則能穿透材料識別內部隱性感熱缺陷,形成多維度熱特征圖譜。

這種動態(tài)調制方式,不僅將特征分辨率提升至納米級,更通過頻率匹配過濾環(huán)境噪聲與背景干擾,使檢測靈敏度較傳統(tǒng)單頻調制提高 3-5 倍,即使是 0.1mK 的微小溫度波動也能被捕捉。 非制冷熱紅外顯微鏡原理