致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列,是電子工業(yè)中不可或缺的精密檢測(cè)工具,在半導(dǎo)體芯片、先進(jìn)封裝技術(shù)、功率電子器件以及印刷電路板(PCB)等領(lǐng)域的失效分析中發(fā)揮著舉足輕重的作用。
該設(shè)備搭載——實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析(RTTLIT)系統(tǒng),并集成高靈敏度紅外相機(jī)、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術(shù)組件,賦予其三大特性:超凡靈敏度與亞微米級(jí)檢測(cè)精度,可捕捉微弱熱信號(hào)與光子發(fā)射;高精度溫度測(cè)量能力(鎖相靈敏度達(dá)0.001℃),支持動(dòng)態(tài)功耗分析;無(wú)損故障定位特性,無(wú)需破壞器件即可鎖定短路、開(kāi)路等缺陷。憑借技術(shù)集成優(yōu)勢(shì),ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點(diǎn),更能通過(guò)失效分析優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性,為半導(dǎo)體制造、先進(jìn)封裝及電子器件研發(fā)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。 定位芯片內(nèi)部微短路、漏電、焊點(diǎn)虛接等導(dǎo)致的熱異常點(diǎn)。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡銷售公司
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 也是科研與教學(xué)領(lǐng)域的利器,其設(shè)備能捕捉微觀世界的熱信號(hào)。它將紅外探測(cè)與顯微技術(shù)結(jié)合,呈現(xiàn)物體表面溫度分布,分辨率達(dá)微米級(jí),可觀察半導(dǎo)體芯片熱點(diǎn)、電子器件熱分布等。非接觸式測(cè)量是其一大優(yōu)勢(shì),無(wú)需與被測(cè)物體直接接觸,避免了對(duì)樣品的干擾,適用于多種類型的樣品檢測(cè)。實(shí)時(shí)成像功能可追蹤動(dòng)態(tài)熱變化,如材料相變、化學(xué)反應(yīng)熱釋放。在高校,熱紅外顯微鏡助力多學(xué)科實(shí)驗(yàn);在企業(yè),為產(chǎn)品研發(fā)和質(zhì)量檢測(cè)提供支持,推動(dòng)各領(lǐng)域創(chuàng)新突破。 顯微紅外成像熱紅外顯微鏡評(píng)估 PCB 走線布局、過(guò)孔設(shè)計(jì)對(duì)熱分布的影響,指導(dǎo)散熱片、導(dǎo)熱膠的選型與 placement。
除了熱輻射,電子設(shè)備在出現(xiàn)故障或異常時(shí),還可能伴隨微弱的光發(fā)射增強(qiáng)。熱紅外顯微鏡搭載高靈敏度的光學(xué)探測(cè)器,如光電倍增管(PMT)或電荷耦合器件(CCD),能夠有效捕捉這些低強(qiáng)度的光信號(hào)。這類光發(fā)射通常源自電子在半導(dǎo)體材料中發(fā)生的能級(jí)躍遷、載流子復(fù)合或其他物理過(guò)程。通過(guò)對(duì)光發(fā)射信號(hào)的成像和分析,熱紅外顯微鏡不僅能夠進(jìn)一步驗(yàn)證熱點(diǎn)區(qū)域的存在,還可輔助判斷異常的具體機(jī)制,為故障定位和性能評(píng)估提供更精確的信息。
無(wú)損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析(NDA)技術(shù),為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價(jià)值樣品的前提下,捕捉隱性熱信號(hào)以定位內(nèi)部缺陷,既保障了分析的準(zhǔn)確性,又為后續(xù)驗(yàn)證、復(fù)盤保留了完整樣本,讓失效分析從 “找到問(wèn)題” 到 “解決問(wèn)題” 的閉環(huán)更高效、更可靠。
相較于無(wú)損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測(cè),這些有損分析方法雖能獲取內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息,但會(huì)破壞樣品完整性,更適合無(wú)需保留樣品的分析場(chǎng)景,與無(wú)損分析形成互補(bǔ)。 檢測(cè) PCB 焊點(diǎn)、芯片鍵合線的接觸電阻異常,避免虛焊導(dǎo)致的瞬態(tài)過(guò)熱。
在國(guó)內(nèi)失效分析設(shè)備領(lǐng)域,專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對(duì)較少,尤其在熱紅外檢測(cè)這類高精度細(xì)分領(lǐng)域,具備自主技術(shù)積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術(shù)門檻 —— 需融合光學(xué)、紅外探測(cè)、信號(hào)處理等多學(xué)科技術(shù),也受限于市場(chǎng)需求的專業(yè)化程度,導(dǎo)致多數(shù)企業(yè)傾向于代理或集成方案。
致晟光電正是國(guó)內(nèi)少數(shù)深耕該領(lǐng)域的原廠之一。不同于單純的設(shè)備組裝,其從中樞技術(shù)迭代入手,在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎(chǔ)上進(jìn)化出熱紅外顯微鏡,形成從光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、信號(hào)算法研發(fā)到整機(jī)制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體、材料等行業(yè)的失效分析需求,例如針對(duì)先進(jìn)制程芯片的微小熱信號(hào)檢測(cè)、國(guó)產(chǎn)新材料的熱特性研究等場(chǎng)景,提供更貼合實(shí)際應(yīng)用的設(shè)備與技術(shù)支持,成為本土失效分析領(lǐng)域不可忽視的自主力量。 熱紅外顯微鏡可捕捉物體熱輻射,助力電子元件熱分布與散熱性分析。熱發(fā)射顯微鏡熱紅外顯微鏡
熱紅外顯微鏡能透過(guò)硅片或封裝材料,對(duì)半導(dǎo)體芯片內(nèi)部熱缺陷進(jìn)行非接觸式檢測(cè)。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡銷售公司
熱紅外顯微鏡是一種融合紅外熱成像與顯微技術(shù)的精密檢測(cè)工具,通過(guò)捕捉物體表面及內(nèi)部的熱輻射信號(hào),實(shí)現(xiàn)微觀尺度下的溫度分布可視化分析。其**原理基于黑體輻射定律——任何溫度高于***零度的物體都會(huì)發(fā)射紅外電磁波,且溫度與輻射強(qiáng)度呈正相關(guān),而顯微鏡系統(tǒng)則賦予其微米級(jí)的空間分辨率,可精細(xì)定位電子器件、材料界面等微觀結(jié)構(gòu)中的異常熱點(diǎn)。
在電子工業(yè)中,熱紅外顯微鏡常用于半導(dǎo)體芯片的失效定位 —— 例如透過(guò)封裝材料檢測(cè)內(nèi)部金屬層微短路、晶體管熱斑;在功率器件領(lǐng)域,可分析 IGBT 模塊的熱阻分布、SiC 器件的高溫可靠性;在 PCB 板級(jí)檢測(cè)中,能識(shí)別高密度線路的功耗異常區(qū),輔助散熱設(shè)計(jì)優(yōu)化。此外,材料科學(xué)領(lǐng)域也可用其研究納米材料的熱傳導(dǎo)特性,生物醫(yī)學(xué)中則可用于細(xì)胞層級(jí)的熱響應(yīng)分析。 半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡銷售公司