通過對這些微光信號的成像與定位,它能直接“鎖定”電性能缺陷的物理位置,如同在黑夜中捕捉螢火蟲的微光,實現(xiàn)微米級的定位。而熱紅外顯微鏡則是“溫度的解讀師”,依托紅外熱成像技術,它檢測的是芯片工作時因能量損耗產(chǎn)生的溫度差異。電流通過芯片時的電阻損耗、電路短路時的異常功耗,都會轉化為局部溫度的細微升高,這些熱量以紅外輻射的形式散發(fā),被熱紅外顯微鏡捕捉并轉化為熱分布圖。通過分析溫度異常區(qū)域,它能間接推斷電路中的故障點,尤其擅長發(fā)現(xiàn)與能量損耗相關的問題。微光顯微鏡能檢測半導體器件微小缺陷和失效點,及時發(fā)現(xiàn)隱患,保障設備可靠運行、提升通信質量。直銷微光顯微鏡售價
定位短路故障點短路是造成芯片失效的關鍵誘因之一。
當芯片內部電路發(fā)生短路時,短路區(qū)域會形成異常電流通路,引發(fā)局部溫度驟升,并伴隨特定波長的光發(fā)射現(xiàn)象。EMMI(微光顯微鏡)憑借其超高靈敏度,能夠捕捉這些由短路產(chǎn)生的微弱光信號,再通過對光信號的強度分布、空間位置等特征進行綜合分析,可實現(xiàn)對短路故障點的精確定位。
以一款高性能微處理器芯片為例,其在測試中出現(xiàn)不明原因的功耗激增問題,技術人員初步判斷為內部電路存在短路隱患。通過EMMI對芯片進行全域掃描檢測,在極短時間內便在芯片的某一特定功能模塊區(qū)域發(fā)現(xiàn)了光發(fā)射信號。結合該芯片的電路設計圖紙和版圖信息進行深入分析,終鎖定故障點為兩條相鄰的鋁金屬布線之間因絕緣層破損而發(fā)生的短路。這一定位為后續(xù)的故障修復和工藝改進提供了直接依據(jù)。 低溫熱微光顯微鏡市場價處理 ESD 閉鎖效應時,微光顯微鏡檢測光子可判斷其位置和程度,為研究機制、制定防護措施提供支持。
微光顯微鏡無法檢測不產(chǎn)生光子的失效(如歐姆接觸、金屬短路),且易受強光環(huán)境干擾;熱紅外顯微鏡則難以識別無明顯溫度變化的失效(如輕微漏電但功耗極低的缺陷),且溫度信號可能受環(huán)境熱傳導影響。
實際分析中,二者常結合使用,通過 “光 - 熱” 信號交叉驗證,提升失效定位的準確性。致晟光電在技術創(chuàng)新的征程中,實現(xiàn)了一項突破性成果 —— 將熱紅外顯微鏡與微光顯微鏡集可以集成于一臺設備,只需一次采購,便可以節(jié)省了重復的硬件投入。
微光顯微鏡(EMMI)無法探測到亮點的情況:
一、不會產(chǎn)生亮點的故障有歐姆接觸(OhmicContact)金屬互聯(lián)短路(MetalInterconnectShort)表面反型層(SurfaceInversionLayer)硅導電通路(SiliconConductingPath)等。
二、亮點被遮蔽的情況有掩埋結(BuriedJunctions)及金屬下方的漏電點(LeakageSitesunderMetal)。此類情況可采用背面觀測模式(backsidemode),但該模式*能探測近紅外波段的發(fā)光,且需對樣品進行減薄及拋光處理等。 微光顯微鏡搭配高分辨率鏡頭,可將微小缺陷放大至清晰可見,讓檢測更易觀察分析,提升檢測的準確度。
我司專注于微弱信號處理技術的深度開發(fā)與場景化應用,憑借深厚的技術積累,已成功推出多系列失效分析檢測設備及智能化解決方案。更懂本土半導體產(chǎn)業(yè)的需求,軟件界面貼合工程師操作習慣,無需額外適配成本即可快速融入產(chǎn)線流程。
性價比優(yōu)勢直擊痛點:相比進口設備,采購成本降低 30% 以上,且本土化售后團隊實現(xiàn) 24 小時響應、48 小時現(xiàn)場維護,備件供應周期縮短至 1 周內,徹底擺脫進口設備 “維護慢、成本高” 的困境。用國產(chǎn)微光顯微鏡,為芯片質量把關,讓失效分析更高效、更經(jīng)濟、更可控! 我司微光顯微鏡探測芯片封裝打線及內部線路短路產(chǎn)生的光子,快速定位短路位置,優(yōu)勢獨特。檢測用微光顯微鏡運動
針對光器件,能定位光波導中因損耗產(chǎn)生的發(fā)光點,為優(yōu)化光子器件的傳輸性能、降低損耗提供關鍵數(shù)據(jù)。直銷微光顯微鏡售價
同時,微光顯微鏡(EMMI)帶來的高效失效分析能力,能大幅縮短研發(fā)周期。在新產(chǎn)品研發(fā)階段,快速發(fā)現(xiàn)并解決失效問題,可避免研發(fā)過程中的反復試錯,加快產(chǎn)品從實驗室走向市場的速度。當市場需求瞬息萬變時,更快的研發(fā)響應速度意味著企業(yè)能搶先推出符合市場需求的產(chǎn)品,搶占市場先機。例如,在當下市場 5G 芯片、AI 芯片等領域,技術迭代速度極快,誰能更早解決研發(fā)中的失效難題,誰就能在技術競爭中爭先一步,建立起差異化的競爭優(yōu)勢。直銷微光顯微鏡售價