離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中sp3含量變化趨勢則與之相反。在選定的實驗條件下,-100V偏壓時所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD...
類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)兩類。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon,簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer—likecarbon,簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時還結(jié)合一定數(shù)量的氫.類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過相同簡單的結(jié)構(gòu)單元通過共價鍵重復(fù)連接而成的化合物...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中sp3含量變化趨勢則與之相反。在選定的實驗條件下,-100V偏壓時所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD...
發(fā)展型金剛石微粉不同的金剛石微粉各具有其本身的特點。有一種單晶體顆粒的金剛石微粉,其顆粒為高級度的完整晶體,呈立方八面體形,有多棱切割表面,不容易剝落成無用的(無切削能力的)微細(xì)晶粒,與金屬粘結(jié)劑有極為有效的保持力,在高溫條件下有很高的強(qiáng)度和抗破碎和破裂能力,所以用于金屬粘結(jié)劑的金剛石制品具有鋒利的切削作用,并可獲得較好的表面光潔度。另一種金剛石微粉則是以具有脆性為特點,其顆粒形狀為不規(guī)則的準(zhǔn)圓塊狀,表面粗糙而且凹凸不平,當(dāng)顆粒承受應(yīng)力時,其脆性導(dǎo)致顆粒碎裂,從而產(chǎn)生新的尖銳切削點。這種金剛石微粉用于制造樹脂粘結(jié)劑砂輪等很理想,具有柔和的精磨和拋光作用。無可置疑,金剛石微粉是使產(chǎn)品向高、精、尖...
cBN 的硬度略低于金剛石, 顏色多樣,晶體顏色與所含雜質(zhì)種類、 數(shù)量有關(guān)。超硬材料制品的主要品種超硬材料及其制品工具在工業(yè)中已經(jīng)獲得廣泛應(yīng)用,不僅解決了用傳統(tǒng)工具無法加工或難以加工的難題,還明顯提高了傳統(tǒng)加工效率,明顯降低消耗及廢物排放。幾種超硬材料制品及工具(a.刀片;b.砂輪;c.鋸片;d.鉆頭)超硬材料制品及工具主要品種有鋸切工具、磨具(包括固結(jié)磨具、涂附磨具和松散磨具)、切削刀具、鉆探工具、修整工具、拉絲模具、其他工具及不同的功能元器件。類金剛石薄膜的損耗嚴(yán)重嗎?寶山?jīng)_壓模具類金剛石技術(shù)隨著硬質(zhì)合金刀具市場的不斷擴(kuò)大,刀具涂層技術(shù)不斷進(jìn)步,類金剛石薄膜制備方法越來越多,包括物相沉積技...
類金剛石(英文:Diamond-likeCarbon縮寫DLC)是一種非晶碳,這種材料表現(xiàn)出很多與金剛石相類似的性質(zhì),DLC常常作為涂層材料使用。類金剛石的微觀結(jié)構(gòu)為了弄清楚類金剛石的概念,我們首先研究一下碳元素。碳元素存在于自然界當(dāng)中,我們平時看到的鉆石、石墨、富勒烯、碳納米管等等都是碳元素形成的。當(dāng)碳原子以sp3鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成金剛石。當(dāng)碳原子以sp2鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成石墨。當(dāng)以碳原子sp2、sp3鍵混合雜化的時候,形成的就是類金剛石了。如何提高電鍍金剛石線鋸的切割效率,延長其使用壽命?電鍍類金剛石價格DLC薄膜處于熱力學(xué)非平衡狀態(tài),其原子排布呈現(xiàn)...
類金剛石(英文:Diamond-likeCarbon縮寫DLC)是一種非晶碳,這種材料表現(xiàn)出很多與金剛石相類似的性質(zhì),DLC常常作為涂層材料使用。類金剛石的微觀結(jié)構(gòu)為了弄清楚類金剛石的概念,我們首先研究一下碳元素。碳元素存在于自然界當(dāng)中,我們平時看到的鉆石、石墨、富勒烯、碳納米管等等都是碳元素形成的。當(dāng)碳原子以sp3鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成金剛石。當(dāng)碳原子以sp2鍵的雜化軌道行程共價鍵的時候,就會形成石墨。當(dāng)以碳原子sp2、sp3鍵混合雜化的時候,形成的就是類金剛石了。類金剛石薄膜的種類及其應(yīng)用。溫州插齒刀類金剛石廠DLC涂層(類金剛石涂層)的運用:精密模具-DLC涂層后,產(chǎn)品在...
DLC薄膜在發(fā)動機(jī)上的應(yīng)用效果,在技術(shù)上DLC薄膜將極低的摩擦阻力和極高的硬度完美地結(jié)合在一起,該技術(shù)已被初步應(yīng)用于汽車零部件的各個運動系統(tǒng)中,尤其是自20世紀(jì)90年代中期以來,作為汽車零部件保護(hù)性薄膜材料得到快速發(fā)展。除上述性能與應(yīng)用外,DLC薄膜的潤濕性能也受到了人們的關(guān)注。某些需要疏水的領(lǐng)域如電子元器件、窗口等都對DLC薄膜的潤濕性能提出了新的要求,目前主要通過對其進(jìn)行化學(xué)改性來改善DLC薄膜的疏水性能。利用DLC薄膜的耐腐蝕性和低溫合成的特點!既可以將其鍍在塑料飾件上,防止酸、堿及有機(jī)試劑的侵蝕,又可以在橡膠、樹脂等有機(jī)材料上鍍一層DLC薄膜。從而增加其柔軟性,這在對有機(jī)材料有滑動性和...
類金剛石在電學(xué)性能及應(yīng)用。DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能,一般來說,含氫DLC薄膜電阻率比不含氫的DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3相的緣故。由于DLC中的sp2相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對DLC薄膜層電阻率有著很大的影響。由于DLC薄膜的良好導(dǎo)熱性能,它可以作為芯片中銅片散熱器的絕緣電阻,能防止通常功率下因熱膨脹系數(shù)不匹配而引起的銅片抓痕。此外,DLC在腐蝕介質(zhì)中表現(xiàn)出極高的化學(xué)惰性,可以保護(hù)基底免遭外界腐蝕介質(zhì)的溶蝕。純的DLC薄膜表現(xiàn)出極好的耐蝕性,可以抵御各類酸堿甚至王水的侵蝕。另外,DLC薄膜具有較低的電子親和勢,是一種優(yōu)異的冷陰極場發(fā)射材料...
類金剛石薄膜的制備方法較多,相關(guān)的工藝層出不窮,因而對于不同應(yīng)用場合,有相應(yīng)的工藝方法,制備出對應(yīng)性能要求的薄膜。通過改變制備方法的相關(guān)參數(shù),調(diào)控薄膜中的sp3,sp2雜化鍵的比例及不同的氫含量可獲得不同性能特征的DLC薄膜。如含氫與不含氫的DLC薄膜在不同濕度環(huán)境中會呈現(xiàn)不同的摩擦學(xué)特性。針對在特殊環(huán)境服役的DLC薄膜,如高承載,高速運轉(zhuǎn)的零部件,也會對DLC薄膜進(jìn)行適當(dāng)?shù)膿诫s來改變薄膜內(nèi)部交聯(lián)碳基質(zhì)混合網(wǎng)絡(luò)的成鍵方式與薄膜表面的化學(xué)狀態(tài),進(jìn)而提高薄膜的性能,以實現(xiàn)在實際工況中的應(yīng)用。其中摻雜的金屬主要有Ti、Cr、W、Mo、Al、Ni、Cu、Co、Nb等,非金屬有Si、N、F等,化合物有過...
研究結(jié)果表明,采用射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法,可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜與基材之間存在較大的內(nèi)應(yīng)力,薄膜牢度較小,易剝落,且不耐磨。用旋轉(zhuǎn)磁控電弧離子鍍技術(shù),在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層,然后再用射頻等離子體化學(xué)氣相沉積(rfPEVCD)方法在過渡層上制備了DLC薄膜,發(fā)現(xiàn)所制備的DLC碳膜的附著牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強(qiáng)、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來制作復(fù)雜、異型刀具,是未來刀具的一個重要發(fā)展方向.本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積、真空陰極電弧沉積、等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積)與分類.從酸蝕法、施加過渡層、表面微噴砂處理和摻雜4個方面分析如何提高膜基結(jié)合力,探討了DLC膜的摩擦性能受濕度、溫度和加工條件的影響.例舉了幾個國內(nèi)外DLC涂層硬質(zhì)合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之處,提出了下一步研究工作的重點是優(yōu)化DLC膜的制備工藝、提高膜基結(jié)合力和熱穩(wěn)定性...
采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國較早汽車股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動機(jī)配氣機(jī)構(gòu)的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜.利用摩擦磨損試驗機(jī)和發(fā)動機(jī)配氣機(jī)構(gòu)試驗臺架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對發(fā)動機(jī)節(jié)能的影響.試驗結(jié)果表明,在邊界潤滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實際使用工況下,配氣機(jī)構(gòu)的摩擦損失降低6%.DLC涂層零件可以降低發(fā)動機(jī)摩擦損失,適用于汽車低碳技術(shù)路線.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層...
類金剛石薄膜又稱山膜。碳的一種亞穩(wěn)態(tài),組成主要是碳,也含有氫,其量隨工藝條件而異,多時可達(dá)20%。類金剛石具有很高的硬度、高導(dǎo)熱性、高絕緣性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、從紅外到紫外的高光學(xué)透過率等。這與金剛石相似,但其性能數(shù)值均低于金剛石膜。類金剛石膜已開始用作耐磨涂層。類金剛石碳(DLC)是非晶結(jié)構(gòu),碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合。含氫DLC又稱為α-C:H,其中氫含量在20%到50%之間。無氫類金剛石膜包括無氫非晶碳(α-C)和四面體非晶碳(ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3鍵;ta-C膜中以sp3鍵為主(sp3>70%)。結(jié)構(gòu)類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯Diamon...
天然生成的金剛石常常發(fā)現(xiàn)有幾乎純結(jié)晶形式的立方取向的sp雜化的碳原子。有時候它們會有一些缺陷或者是雜質(zhì)原子,這使它們有一定的顏色,但是晶格仍然是立方結(jié)構(gòu)而且鍵合仍然是純粹的sp雜化。立方晶型的內(nèi)部能量比六方晶型要略低,而且就從熔融材料中生長速率而言,無論是自然形成還是合成金剛石都足夠的慢,使得晶格有時間以比較低的能量(立方)生長,從而使sp雜化的碳原子成為可能。相比之下,類金剛石碳是由具有高能量前驅(qū)碳(例如等離子體、陰極電弧沉積、濺射沉積以及離子束沉積)在相對冷的表面上快速冷卻或淬火而成。在這些情況下,立方晶格和六方晶格被一層層的隨機(jī)混合,因為在碳原子被“凍結(jié)”在材料表面之前并沒有足夠的結(jié)晶生...
類金剛石涂層是一種在微觀結(jié)構(gòu)上含有金剛石成分的涂層。構(gòu)成類金剛石的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,使其終產(chǎn)生的物質(zhì)也不同,如在金剛石中碳原子與碳原子之間是以sp3鍵的形式結(jié)合的,在石墨中碳原子與碳原子之間是以sp2鍵的形式結(jié)合的,而在類金剛石中碳原子與碳原子之間則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合的。類金剛石涂層由于含有金剛石成分,具有硬度高(能達(dá)到-60GPa或Hv6000以上);摩擦系數(shù)低();膜層致密性極好;化學(xué)穩(wěn)定性好以及光學(xué)性能好等很多優(yōu)良的性能。因此,類金剛石涂層作為一種理想的涂層材料廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金刀具,成為現(xiàn)代機(jī)械加工業(yè)的新生力量。類金剛石薄膜的問世始于20世紀(jì)70年...
類金剛石(DiamondlikecarbonDLC)薄膜是近年來出現(xiàn)的備受關(guān)注的新型碳材料,具有高硬度、低摩擦、化學(xué)惰性和導(dǎo)熱性佳等優(yōu)異性能,在摩擦學(xué)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景,也是PVD涂層的一種新的應(yīng)用,特別是對于汽車零部件行業(yè)的減磨、自潤滑具有重要的意義。汽車行業(yè)的長期壓力是減少車輛的尾氣排放,預(yù)計在未來幾年內(nèi),對排放的要求會更加嚴(yán)格。這將導(dǎo)致大力提倡使用新材料和新處理技術(shù),以增加發(fā)動機(jī)和傳動系統(tǒng)的效率。歐洲、亞洲和美洲各地政策決策者為未來的汽車時代制定新要求已不可避免?,F(xiàn)代真空涂層技術(shù)是滿足上述新要求的關(guān)鍵因素之一,尤其是類金剛石涂層對于減磨、自潤滑意義重大,且制備類金剛石薄膜能真正做到無...
超高研磨性能的金剛石微粉研究所一直在大力研究和開發(fā)人造金剛石微粉研磨膏的應(yīng)用。據(jù)他們認(rèn)為,金剛石研磨膏應(yīng)用于拋光高精度零件比用非金剛石磨料制成的研磨膏的生產(chǎn)效率提高1~2倍,而且加工的光潔度可提高一個等級。金剛石研磨膏的應(yīng)用十分多,常用于一些高精度高表面光潔度元器件的精磨和拋光。例如用于金相試樣、拉絲模、鐘表和其它工業(yè)用寶石軸承、壓模和沖模、量規(guī)和塊規(guī)、航空器高精度液壓傳動零件和內(nèi)燃機(jī)零件、精密儀表元件、雷達(dá)設(shè)備、各種晶體管和陀螺儀零件等的精磨或拋光。此外還用于鉆石、硬質(zhì)合金、玻璃、石英、陶瓷、紅寶石、藍(lán)寶石、鍺、硅和其它硬脆材料元件的研磨,以及鑄鐵、鋼、有色金屬和合金零件的拋光;鈦、鉭、鋯和...
金剛石中每個碳原子周圍連有四個碳原子,這四個碳原子構(gòu)成四面體結(jié)構(gòu)。同樣的,在(BN)x中,每個B周圍有四個N原子,這四個N原子構(gòu)成四面體結(jié)構(gòu)。9這四個鍵中,有三個是普通共價鍵,另外一個是配位鍵(即由N原子單方面提供一對電子與B原子公用)。每個N原子周圍連有四個B原子,同樣構(gòu)成四面體結(jié)構(gòu),同樣是有三個普通共價鍵和一個配位鍵?;蛘吣憧梢韵胂蟪擅總€N原子失去了一個電子形成N+,每個B原子得到一個電子形成B-。這樣兩種原子都有與C相同的電子層結(jié)構(gòu)。然后兩種原子交錯著按照金剛石結(jié)構(gòu)排列(由于同性離子相斥,所以要交錯排列)。退火處理對WC-DLC薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響。紹興金剛石類金剛石廠家類金剛石(Dia...
在刀具上沉積類金剛石(DLC)薄膜的關(guān)鍵技術(shù)問題是如何提高DLC薄膜的附著力,以發(fā)揮DLC薄膜在刀具涂層領(lǐng)域的優(yōu)勢.本文通過對微型鉆頭表面進(jìn)行不同的化學(xué)預(yù)處理后利用射頻等離子體化學(xué)氣相沉法沉積DLC薄膜,對影響膜基附著力的內(nèi)在規(guī)律進(jìn)行了探討.結(jié)果表明:采用簡單酸堿腐蝕(先后使用NaOH溶液和HNO3溶液進(jìn)行腐蝕)對DLC薄膜附著力的提高有一定作用,而綜合腐蝕(首先使用酸堿腐蝕,然后使用Murakami試劑腐蝕)的效果更佳;此外,使用Murakami試劑腐蝕時間過長(超過6min)會影響鉆頭本體的機(jī)械強(qiáng)度.實驗結(jié)果對于DLC薄膜作為微型鉆頭涂層的應(yīng)用具有很好的指導(dǎo)意義.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引...
納米壓印是一種理想的光刻技術(shù),它具有生產(chǎn)率和分辨率高的特點.脫模過程中,粘連限制了圖形的精確轉(zhuǎn)移,因此,抗粘連成為納米壓印技術(shù)需要解決的關(guān)鍵問題.氟化自組裝單分子層是一種被多種應(yīng)用的抗粘連涂層,介紹和分析了其在耐熱性和降解方面的新的研究進(jìn)展.介紹了類金剛石碳膜、在光刻膠上噴涂脫模劑和含氟表面活化劑在納米壓印抗粘連研究上的進(jìn)展,分析了這些方法所存在的問題及納米壓印抗粘連的發(fā)展趨勢.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)...
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強(qiáng)、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機(jī)械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來,類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,逐漸成為熱點。采用類金剛石...
類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon,簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer-likecarbon,簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時還結(jié)合一定數(shù)量的氫.類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過相同簡單的結(jié)構(gòu)單元通過共價鍵重復(fù)連接而成...
類金剛石薄膜的制備方法根據(jù)制備DLC薄膜碳源的不同,可將DLC薄膜的制備方法分為固體靶材為碳源的物相沉積法和含碳?xì)怏w為碳源的化學(xué)氣相沉積法。其中DLC薄膜的制備方法和性能也隨著相應(yīng)沉積技術(shù)的發(fā)展獲得改進(jìn)和提升。傳統(tǒng)的氣相沉積技術(shù)制備薄膜的能量來自于熱源。為制備性能更為優(yōu)異,功能應(yīng)用多樣化的新型特殊薄膜,傳統(tǒng)的鍍膜技術(shù)無法滿足實際的需求。為使薄膜達(dá)到更優(yōu)異的性能,逐漸地把各種氣體放電技術(shù)引入到薄膜材料制備的過程中,進(jìn)而發(fā)展形成了離子鍍膜技術(shù)。離子鍍膜技術(shù)能很大程度上增加膜層粒子的離化率,提高膜層粒子的整體能量,終高效地進(jìn)行薄膜的制備。相應(yīng)的,對于制備DLC薄膜的兩種主要方法也進(jìn)行了一定程度的補(bǔ)充...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中sp3含量變化趨勢則與之相反。在選定的實驗條件下,-100V偏壓時所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD...
DLC薄膜處于熱力學(xué)非平衡狀態(tài),其原子排布呈現(xiàn)出近程有序、遠(yuǎn)程無序的特點。近程有序主要表現(xiàn)為C-C原子之間的sp3和sp2雜化鍵的結(jié)構(gòu)。第一種模型是Beeman等人提出的,他們構(gòu)造了三種具有不同sp3和sp2雜化碳原子含量的非晶碳薄膜模型。此模型具備兩個典型特征:其一,除了sp2雜化結(jié)構(gòu)模型外,所有模型對應(yīng)于相對各向同性的無序混亂網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),而且沒有內(nèi)部懸鍵;其二,所有模型都做了弛豫處理,目的是使由偏離結(jié)晶態(tài)的鍵長、鍵角所引起的應(yīng)變能降到比較低。第二種模型是完全無規(guī)網(wǎng)絡(luò)模型,由Phillips等人提出并完善。該模型的基本觀點是,在非晶態(tài)隨機(jī)共價網(wǎng)絡(luò)當(dāng)中,當(dāng)原子的平均數(shù)與原子的機(jī)械自由度相等時,該...
類金剛石膜DLC具有良好的生物相容性,許多實驗都發(fā)現(xiàn)它對蛋白質(zhì)的吸附率高,對血小板的吸附率低,可以在不影響主體特征前提下,從多種途徑促進(jìn)材料表面生成具有活性的功能簇,從而減少了血液凝固,使生物組織和植入的人工材料和平相處,減輕了患者的痛苦。DLC作為固體潤滑材料,減摩性和耐磨性都很好,這樣就降低了生物醫(yī)學(xué)材料的磨損,延長材料使用壽命。同時,DLC作為一種碳膜,是一種碳素生物醫(yī)學(xué)材料,在生理環(huán)境中呈化學(xué)惰性,不會引起生物化學(xué)反應(yīng)。研究表明,金屬生物醫(yī)學(xué)材料磨損所產(chǎn)生的碎屑可以引起嚴(yán)重的組織反應(yīng),從而導(dǎo)致植入物周圍的骨損傷,引起裝置松動。DLC具有良好的耐磨性和生物化學(xué)惰性,研究表明鍍有DLC髖關(guān)...
類金剛石薄膜(DLC)擁有高硬度,低摩擦、耐腐蝕等性能,已經(jīng)應(yīng)用于機(jī)械刀具、模具、汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。但由于制備技術(shù)的限制,導(dǎo)致DLC存在殘余應(yīng)力較高、膜/基結(jié)合力差、摩擦性能不穩(wěn)定、大面積均勻制備困難等問題。線性陽極離子束技術(shù)具有等離子體離化率高、大面積均勻沉積等特點,是制備高性能DLC薄膜的理想技術(shù)。針對DLC與基體結(jié)合性能較差的現(xiàn)狀,首先從添加合適過渡層(W)匹配膜/基適應(yīng)性出發(fā),探討W過渡層厚度對DLC薄膜物相、機(jī)械力學(xué)、摩擦學(xué)性能的影響。在此基礎(chǔ)上,通過不同工藝W過渡層結(jié)構(gòu)設(shè)計,研究其對膜/基性能的影響。為改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應(yīng)用,根據(jù)不同類型過渡層性能的對比,優(yōu)化過...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機(jī)上進(jìn)行.比較了不同鈦合金化程度的DLC膜及熱處理前后的性能變化.結(jié)果表明,薄膜的力學(xué)性能與Ti含量有非單值關(guān)系,但摩擦系數(shù)隨Ti含量增加而升高;熱處理后薄膜顯微硬度有名升高的原因是生成了碳化鈦硬化相.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有...
DLC涂層(類金剛石涂層)的優(yōu)點類金剛石碳(Diamond-likeCarbon)DLC泛指不定性碳的晶體結(jié)構(gòu)材質(zhì),此類材質(zhì)里同時存在著如鉆石般(SP3)及石墨般(SP2)碳原子排列方式,雜錯地結(jié)合在一起??茀RDLC涂層可達(dá)至高硬度(2000-5000Hv),低摩擦系數(shù),抗酸抗堿的化學(xué)特征,優(yōu)良的耐磨性能,與基體結(jié)合力強(qiáng),具有優(yōu)異的耐蝕性,能耐各種酸、堿等腐蝕,對金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結(jié)和防咬合性能,表面粗糙度低(可達(dá)鏡面級),可在各種鋼鐵、鈦合金、硬質(zhì)合金等材料上沉積,其中含金屬DLC更有導(dǎo)電特性??茀R可做到涂層厚度:μm,涂層比較高耐熱400℃。DLC涂層表面非常光滑,有著...