DLC薄膜具有優(yōu)異的電學性能,一般來說,含氫DLC薄膜電阻率比不含氫DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3雜化碳相的緣故。喲與DLC中的sp3雜化碳相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對DLC薄膜層電阻率有這很大的影響。DLC薄膜...
為提高紡織機高速紡紗工況下鋼絲圈表面的磨損性能,采用直流等離子氣相沉積法在鋼絲圈表面制備類金剛石涂層(DLC),采用原位掃描探針顯微鏡觀測涂層表面形貌,測量并計算涂層硬度。結(jié)果發(fā)現(xiàn),DLC涂層顆粒粒徑約為100nm,呈島狀聚集分布,硬度約為18GPa。采用球-...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強化學氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強度、力學性能、...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應用價值...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應用價值...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強化學氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強度、力學性能、...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中...
DLC薄膜具有優(yōu)異的電學性能,一般來說,含氫DLC薄膜電阻率比不含氫DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3雜化碳相的緣故。喲與DLC中的sp3雜化碳相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對DLC薄膜層電阻率有這很大的影響。DLC薄膜...
采用ECR-PECVD技術(shù)制備DLC薄膜時,不同過程參數(shù)對沉積DLC中sp3/sp2鍵比例影響的重要性次序為:微波功率>氣體流量比>基底偏壓>沉積室壓強。其中sp3/sp2隨著微波功率的增大而減少;隨著C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;隨著基底偏壓的增加而...
經(jīng)過對類金剛石涂層不斷地研究,發(fā)現(xiàn)可以通過選擇合適的工藝參數(shù)、改善基體狀態(tài)、添加過渡層來增加膜基結(jié)合力。并且近年來的研究表明在含氫類金剛石涂層制備中加入Si等雜質(zhì)元素、采用液相法制作類金剛石涂層熱穩(wěn)定性極高,可以有效地解決熱穩(wěn)定性差的問題??傊?,硬質(zhì)合金刀具表...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應用價值...
固體潤滑薄膜材料具有優(yōu)異的摩擦學性能,可以有效降低相對運動摩擦副之間的摩擦磨損,是汽車節(jié)能減排技術(shù)的重要研究方向.對固體潤滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦學性能進行了介紹,研究了其在高壓柴油噴射系統(tǒng)和發(fā)動機挺柱等零部件上的應用.臺架試驗結(jié)果表明,DLC薄膜可以有效...
為了提高活塞銷表面類金剛石(DLC)涂層的結(jié)合力及抗磨損性能,使用掃描電子顯微鏡、圓度儀、粗糙度儀等檢測設備對2種活塞銷DLC涂層表面、截面及涂層結(jié)合處的微觀形貌、組成元素和成分進行了對比分析,并對2種活塞銷進行了發(fā)動機臺架耐久試驗.結(jié)果表明:原樣件活塞銷耐久...
利用射頻等離子體增強化學氣相沉積技術(shù)以CH4、H2為氣源,Ar為稀釋氣體,在不銹鋼、玻璃等基底上制備大面積類金剛石碳膜(DLC)。并對所制備的DLC碳膜采用拉曼光譜(Raman)、X射線光電子能譜(XPS)、傅立葉紅外光譜(FT-IR)、掃描電子顯微鏡(SEM...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應用價值...
一種功能梯度的類金剛石碳薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:(1)通過空心陰極電子束輔助脈沖偏壓多弧離子鍍在工件的表面沉積金屬基底層;(2)通過空心陰極電子束輔助脈沖偏壓多弧離子鍍在所述金屬基底層的表面沉積金屬氮化物過渡層;(3)通過脈沖偏壓離子束輔助磁...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來制作復雜、異型刀具,是未來刀具的一個重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
DLC薄膜具有優(yōu)異的電學性能,一般來說,含氫DLC薄膜電阻率比不含氫DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3雜化碳相的緣故。喲與DLC中的sp3雜化碳相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對DLC薄膜層電阻率有這很大的影響。DLC薄膜...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來制作復雜、異型刀具,是未來刀具的一個重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
類金剛石膜作為新型的膜材料一直是世界各國膜技術(shù)領(lǐng)域研究的熱點之一。我國在類金剛石膜的研究方面取得了一定的進展,但與發(fā)達國家相比,還是有一定的差距。類金剛石膜的種類很多,其結(jié)構(gòu)、工藝及機理極為復雜,主要是由于DLC是在非平衡態(tài)和等離子體狀態(tài)下制備合成的,存在著許...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中...
類金剛石(DLC)由于其優(yōu)越的耐摩擦學性能和抗腐蝕性能.生物相容性,被認為是一個有前途的生物醫(yī)學材料.DLC薄膜與各種原子鍵結(jié)構(gòu)和成分結(jié)合,應用于骨科、心血管和牙科等醫(yī)療領(lǐng)域.細胞可在DLC膜生長,證實其沒有任何細胞毒性和炎性.DLC涂層在骨科中應用:減少磨損...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗機測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)小;摩擦...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...
為了提高活塞銷表面類金剛石(DLC)涂層的結(jié)合力及抗磨損性能,使用掃描電子顯微鏡、圓度儀、粗糙度儀等檢測設備對2種活塞銷DLC涂層表面、截面及涂層結(jié)合處的微觀形貌、組成元素和成分進行了對比分析,并對2種活塞銷進行了發(fā)動機臺架耐久試驗.結(jié)果表明:原樣件活塞銷耐久...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應用價值...
DLC碳元素的天然結(jié)構(gòu)有兩種,空間立體結(jié)構(gòu)(金剛石)和平面網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)(石墨),而兩者共存的結(jié)構(gòu)就是DLC,其實DLC的定義是具有非晶質(zhì)(amorphous)結(jié)構(gòu)的碳素。所以,DLC的定義非常***,只要含有碳元素,而且是非晶質(zhì)結(jié)構(gòu)(沒有固定的結(jié)構(gòu)形態(tài)),那么它就...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗機測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)小;摩擦...