離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應(yīng)用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強化學氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強度、力學性能、...
為提高紡織機高速紡紗工況下鋼絲圈表面的磨損性能,采用直流等離子氣相沉積法在鋼絲圈表面制備類金剛石涂層(DLC),采用原位掃描探針顯微鏡觀測涂層表面形貌,測量并計算涂層硬度。結(jié)果發(fā)現(xiàn),DLC涂層顆粒粒徑約為100nm,呈島狀聚集分布,硬度約為18GPa。采用球-...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來制作復(fù)雜、異型刀具,是未來刀具的一個重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
使用類金剛石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作為涂層,采用等離子體離子浸沒注入技術(shù)PlasmaImmersionIonImplantationandDeposition,PIIID)對空間飛輪長壽命軸承溝道表面進行改性.結(jié)果表明,陪試件表面D...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中...
采用ECR-PECVD技術(shù)制備DLC薄膜時,不同過程參數(shù)對沉積DLC中sp3/sp2鍵比例影響的重要性次序為:微波功率>氣體流量比>基底偏壓>沉積室壓強。其中sp3/sp2隨著微波功率的增大而減少;隨著C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;隨著基底偏壓的增加而...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應(yīng)用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強化學氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強度、力學性能、...
經(jīng)過對類金剛石涂層不斷地研究,發(fā)現(xiàn)可以通過選擇合適的工藝參數(shù)、改善基體狀態(tài)、添加過渡層來增加膜基結(jié)合力。并且近年來的研究表明在含氫類金剛石涂層制備中加入Si等雜質(zhì)元素、采用液相法制作類金剛石涂層熱穩(wěn)定性極高,可以有效地解決熱穩(wěn)定性差的問題??傊?,硬質(zhì)合金刀具表...
為了探究類金剛石(DLC)涂層在輪胎模具上應(yīng)用的可行性,以35鋼為基體,采用等離子輔助增強化學氣相沉積(PECVD)的方法分別制備出了含氫類金剛石(DLC)涂層和氟化類金剛石(F-DLC)涂層,并對涂層表面形貌、Raman光譜、表面粗糙度、結(jié)合強度、力學性能、...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗機測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)??;摩擦...
一種功能梯度的類金剛石碳薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:(1)通過空心陰極電子束輔助脈沖偏壓多弧離子鍍在工件的表面沉積金屬基底層;(2)通過空心陰極電子束輔助脈沖偏壓多弧離子鍍在所述金屬基底層的表面沉積金屬氮化物過渡層;(3)通過脈沖偏壓離子束輔助磁...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來制作復(fù)雜、異型刀具,是未來刀具的一個重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價值...
采用ECR-PECVD技術(shù)制備DLC薄膜時,不同過程參數(shù)對沉積DLC中sp3/sp2鍵比例影響的重要性次序為:微波功率>氣體流量比>基底偏壓>沉積室壓強。其中sp3/sp2隨著微波功率的增大而減少;隨著C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;隨著基底偏壓的增加而...
類金剛石(DLC)膜涂層刀具的硬度高、摩擦系數(shù)低、耐摩擦和耐腐蝕性能強、抗粘結(jié)性能好,并且可以用來制作復(fù)雜、異型刀具,是未來刀具的一個重要發(fā)展方向。本文介紹了DLC膜的表面顯微結(jié)構(gòu)和Raman光譜并列舉了DLC的制備方法(包括磁控濺射、離子束沉積、脈沖激光沉積...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價值...
采用ECR-PECVD技術(shù)制備DLC薄膜時,不同過程參數(shù)對沉積DLC中sp3/sp2鍵比例影響的重要性次序為:微波功率>氣體流量比>基底偏壓>沉積室壓強。其中sp3/sp2隨著微波功率的增大而減少;隨著C2H2/Ar中Ar分量的增大而增大;隨著基底偏壓的增加而...
研究結(jié)果表明:采用射頻等離子體增強化學氣相沉積方法,可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜與基材之間存在較大的內(nèi)應(yīng)力,薄膜牢度較小,易剝落,且不耐磨。用旋轉(zhuǎn)磁控電弧離子鍍技術(shù),在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層,然后...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中...
DLC)薄膜材料潤滑應(yīng)用方面取得了系列進展。研究發(fā)現(xiàn),DLC薄膜材料具有優(yōu)異的減摩和抗磨性能,但傳統(tǒng)摩擦副用潤滑劑并不適合DLC摩擦副,或者說,傳統(tǒng)潤滑油并不能顯示DLC類摩擦副的優(yōu)越性。本課題組合成了含硼添加劑和含硼稀土類添加劑,對比研究發(fā)現(xiàn),新型環(huán)保型含硼...
一系列含有sp3和sp2雜化的不穩(wěn)定的非晶碳膜統(tǒng)稱為類金剛石薄膜(DLC),這類薄膜具有高的硬度,低的摩擦因數(shù),優(yōu)異的耐磨性,良好的光學透過性和生物相容性,是近年來引起重視的一種新型功能薄膜材料。膜基結(jié)合力強弱是決定涂層壽命的關(guān)鍵因素,也是決定所有涂層應(yīng)用價值...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗機測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)??;摩擦...
研究結(jié)果表明:采用射頻等離子體增強化學氣相沉積方法,可以在不銹鋼表面沉積一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜與基材之間存在較大的內(nèi)應(yīng)力,薄膜牢度較小,易剝落,且不耐磨。用旋轉(zhuǎn)磁控電弧離子鍍技術(shù),在不銹鋼金屬表面先制備了Ti/TiC、Ti/TiN等中間過渡層,然后...
類金剛石(DLC)薄膜與不銹鋼的結(jié)合強度是DLC薄膜應(yīng)用于血管支架表面改性的關(guān)鍵技術(shù)問題.利用磁過濾陰極真空弧源沉積方法在316L不銹鋼表面沉積DLC薄膜,研究沉積時基體偏壓、薄膜厚度以及鈦過渡層對DLC薄膜與基體結(jié)合強度的影響.研究結(jié)果表明,316L表面制備...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中...
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構(gòu)組成,利用摩擦磨損試驗機測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明:采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)小;摩擦...
在一臺yBHИПA-1型雙激發(fā)源等離子弧薄膜沉積裝置上制取Ti合金化DLC膜,用納米硬度計、顯微硬度計、原子力顯微鏡以及X射線衍射儀和光電子能譜儀等手段對薄膜的力學性能和結(jié)構(gòu)進行了分析和測定.摩擦磨損試驗在一臺球-盤滑動磨損試驗機上進行.比較了不同鈦合金化程度...