雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測長度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測量，既可以對(duì)幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測量等等。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴(kuò)展；太倉新款雙頻激光干涉儀單價(jià)

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì)，通過對(duì)比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號(hào)） [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式：兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn)：實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析吳中區(qū)定制雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2，它們經(jīng)反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經(jīng)過透射和反射后，來到觀察區(qū)域E。G2（右）為補(bǔ)償板，它與G1為相同材料，有相同的厚度，且平行安裝，目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等，兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時(shí)沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時(shí)，表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋，移動(dòng)M2時(shí),會(huì)不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時(shí)，中心就會(huì)“吐出”一個(gè)個(gè)條紋；反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時(shí)，則表現(xiàn)為等厚干涉條紋，移動(dòng)M2時(shí)，條紋不斷移過視場中某一標(biāo)記位置，M2平移距離 d 與條紋移動(dòng)數(shù) N 的關(guān)系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長。

光源：提供相干光，通常是激光，因?yàn)榧す饩哂懈叨鹊南喔尚裕軌虍a(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡：調(diào)節(jié)光程差，確保兩束光在干涉屏（或檢測器）上相遇時(shí)具有合適的相位差。干涉屏（或檢測器）：顯示干涉結(jié)果，或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行進(jìn)一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進(jìn)行分類，常見的分類方法包括：按結(jié)構(gòu)區(qū)分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中，干涉的波通過同一路徑傳播，如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中，干涉的波通過不同的路徑傳播，如邁克爾遜干涉儀。即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。

（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。工業(yè)園區(qū)安裝雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。太倉新款雙頻激光干涉儀單價(jià)

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)及光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)。其測量鏡組可擴(kuò)展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補(bǔ)償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計(jì)、自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償及符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號(hào)LH3000的測量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。太倉新款雙頻激光干涉儀單價(jià)

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