雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束,Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。高新區(qū)購(gòu)買雙頻激光干涉儀維保
激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。它通過(guò)將激光束分成兩部分,分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測(cè)量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個(gè)步驟:激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。光束分割:通過(guò)分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測(cè)量光束。光程傳播:參考光束和測(cè)量光束分別經(jīng)過(guò)不同的路徑,可能會(huì)經(jīng)過(guò)被測(cè)物體或介質(zhì)。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。吳中區(qū)新款雙頻激光干涉儀五星服務(wù)現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。
若干涉條紋發(fā)生移動(dòng),一定是場(chǎng)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線長(zhǎng)度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動(dòng)鏡,它和精密螺絲相連,轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪可以使其向前后方向移動(dòng),最小讀數(shù)為10mm,可估計(jì)到10mm,。M1和M2后各有3個(gè)小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束(反射光和透射光)。
另一方面,當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào),而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō),可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等測(cè)量精度不受空氣湍流的影響,無(wú)需預(yù)熱時(shí)間。
這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長(zhǎng))后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。江蘇通用雙頻激光干涉儀單價(jià)
通過(guò)分析干涉條紋的變化,可以得到被測(cè)物體的位移信息。高新區(qū)購(gòu)買雙頻激光干涉儀維保
常見(jiàn)的干涉儀包括:邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明,主要用于測(cè)量光的波長(zhǎng)、干涉條紋的變化等。它通過(guò)將光束分成兩部分,分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。法布里-佩**涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。它通過(guò)多次反射在兩個(gè)平面鏡之間形成干涉。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。干涉儀的應(yīng)用包括測(cè)量微小位移、折射率、波長(zhǎng)、材料的光學(xué)特性等。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測(cè)中,干涉儀是一種非常重要的工具。高新區(qū)購(gòu)買雙頻激光干涉儀維保
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