杭州宏譽智能科技有限公司2025-07-26

石墨舟氮氣柜專為保護石墨舟及敏感材料設計，主要應用于光伏電池片鍍膜、半導體晶圓加工等場景。其功能包括： 惰性氣體保護：通過持續(xù)注入高純度氮氣，將柜內(nèi)氧氣濃度控制在0.1%以下，有效防止石墨舟與硅片在高溫工藝中發(fā)生氧化反應，延長設備使用壽命。 溫濕度調(diào)控：搭載智能恒溫系統(tǒng)，可將溫度穩(wěn)定在±1℃范圍內(nèi)，濕度控制在5%RH以下，確保材料存儲環(huán)境的一致性。 自動化存取管理：支持機械臂或軌道式傳輸系統(tǒng)，實現(xiàn)石墨舟的無人化存取，減少人工干預帶來的污染風險。

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