半導(dǎo)體刻蝕腔體注塑加工件采用全氟烷氧基樹脂(PFA)與二硫化鉬納米管復(fù)合注塑,添加 3% 二硫化鉬納米管(直徑 20nm,長度 1μm)通過超臨界流體混合(CO?壓力 10MPa,溫度 80℃)均勻分散,使材料表面摩擦系數(shù)降至 0.08,抗等離子體刻蝕速率≤0.05μm/h。加工時運(yùn)用精密擠出成型(溫度 380℃,口模溫度 360℃),在 0.5mm 薄壁部件上成型精度 ±5μm 的氣流槽,槽面經(jīng)電子束拋光后粗糙度 Ra≤0.02μm,減少刻蝕產(chǎn)物沉積。成品在 CF?/O?等離子體環(huán)境(功率 1000W,氣壓 10Pa)中使用 1000 小時后,表面腐蝕量≤0.1μm,且顆粒脫落量≤0.01 個 / 片,滿足高級半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的高純度與長壽命需求。絕緣加工件的材料選用耐電弧型,減少高壓下的電弧腐蝕問題。一體加工件ODM/OEM代工
半導(dǎo)體制造設(shè)備中的絕緣加工件,需達(dá)到 Class 100 級潔凈標(biāo)準(zhǔn),通常選用聚醚醚酮(PEEK)材料。采用激光切割工藝進(jìn)行加工,切口熱影響區(qū)≤50μm,避免傳統(tǒng)機(jī)械加工產(chǎn)生的微塵污染,切割后表面經(jīng)超純水超聲清洗(電阻率≥18MΩ?cm),粒子殘留量≤0.1 個 /ft2。制成的晶圓載具絕緣件,在 150℃真空環(huán)境中放氣率≤1×10??Pa?m3/s,且摩擦系數(shù)≤0.15,防止晶圓傳輸過程中產(chǎn)生靜電吸附,同時通過 1000 次插拔循環(huán)測試,接觸電阻波動≤5mΩ,確保半導(dǎo)體生產(chǎn)的高可靠性。?杭州出口級加工件定制加工這款絕緣件具有抗腐蝕特性,在酸堿環(huán)境中仍能保持良好絕緣性。
礦用隔爆型電氣設(shè)備的絕緣加工件,必須滿足 MT/T 661 - 2011 標(biāo)準(zhǔn)要求,選用耐瓦斯腐蝕的三聚氰胺甲醛樹脂材料。加工時采用模壓成型工藝,在 170℃、18MPa 壓力下保壓 120 分鐘,使工件密度達(dá)到 1.5 - 1.6g/cm3,吸水率≤0.1%。成品需通過 1.5 倍額定電壓的工頻耐壓測試(持續(xù) 1 分鐘無擊穿),同時承受 50J 能量的沖擊試驗(yàn)不破裂,其表面電阻值≤1×10?Ω,防止摩擦產(chǎn)生靜電引燃瓦斯氣體。在井下濕度 95% RH 的環(huán)境中使用 12 個月后,絕緣電阻仍能保持≥1011Ω,保障煤礦安全生產(chǎn)。?
在風(fēng)力發(fā)電領(lǐng)域,絕緣加工件需適應(yīng)高海拔強(qiáng)風(fēng)沙環(huán)境,通常選用耐候性優(yōu)異的硅橡膠復(fù)合材料。通過擠出成型工藝制成的絕緣子,邵氏硬度達(dá) 60±5HA,經(jīng) 5000 小時紫外線老化測試后,拉伸強(qiáng)度下降率≤15%,表面憎水性恢復(fù)時間≤2 小時。加工時需在原料中添加納米級氧化鋁填料,使體積電阻率≥101?Ω?cm,同時通過三維編織技術(shù)增強(qiáng)傘裙結(jié)構(gòu)的抗撕裂強(qiáng)度,確保在 12 級臺風(fēng)工況下,仍能承受 50kN 以上的機(jī)械拉力,且工頻耐壓值≥30kV/cm,有效抵御雷暴天氣下的瞬時過電壓沖擊。?注塑加工件的筋位設(shè)計增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,可承受 20kg 以上的垂直壓力。
半導(dǎo)體封裝用注塑加工件,需達(dá)到 Class 10 級潔凈標(biāo)準(zhǔn),選用環(huán)烯烴共聚物(COC)與氣相二氧化硅復(fù)合注塑。將 5% 疏水型二氧化硅(比表面積 300m2/g)混入 COC 粒子,通過真空干燥(溫度 80℃,時間 24h)去除水分,再經(jīng)熱流道注塑(模具溫度 120℃,注射壓力 150MPa)成型,制得粒子析出量≤0.1 個 /ft2 的封裝載體。加工時采用激光微雕技術(shù),在 0.2mm 厚薄膜上雕刻出精度 ±2μm 的導(dǎo)電路徑槽,槽壁粗糙度 Ra≤0.1μm,避免金屬化過程中產(chǎn)生毛刺。成品在 150℃真空環(huán)境中放氣率≤1×10??Pa?m3/s,且通過 1000 次熱循環(huán)(-40℃~125℃)測試,翹曲量≤50μm,滿足高級芯片封裝的高精度與低污染要求。這款絕緣件的介電常數(shù)穩(wěn)定,在不同頻率下電氣性能保持一致。杭州出口級加工件定制加工
注塑加工件可根據(jù)客戶需求添加玻纖增強(qiáng),抗拉強(qiáng)度提升 40% 以上。一體加工件ODM/OEM代工
核電站乏燃料處理的注塑加工件,需耐受強(qiáng)輻射與化學(xué)腐蝕,選用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)與硼纖維復(fù)合注塑。添加 10% 碳化硼纖維(直徑 10μm)通過冷壓燒結(jié)工藝(壓力 200MPa,溫度 180℃)成型,使材料耐輻射劑量達(dá) 1021n/cm2,在 8mol/L 硝酸溶液中浸泡 30 天后質(zhì)量損失率≤0.3%。加工時采用水刀切割技術(shù)(水壓 400MPa),在 20mm 厚板材上加工精度 ±0.1mm 的法蘭密封面,表面經(jīng)等離子體處理后與鉛板的粘結(jié)強(qiáng)度≥25MPa。成品在乏燃料水池中(溫度 80℃,輻射劑量 10?Gy/h)使用 10 年后,拉伸強(qiáng)度保留率≥80%,且體積電阻率≥1012Ω?cm,為核廢料運(yùn)輸容器提供安全絕緣與輻射屏蔽部件。一體加工件ODM/OEM代工