無塵車間設(shè)計需綜合多方面關(guān)鍵因素。首先是工藝流程和建筑平面布置,要根據(jù)生產(chǎn)工藝特點,合理規(guī)劃設(shè)備擺放和人員流動路線,避免交叉污染。例如電子芯片制造車間,需將光刻、蝕刻等關(guān)鍵工序設(shè)置在潔凈度高的區(qū)域。其次是建筑構(gòu)造和材料選擇,墻體、地面、天花板材料要具備防塵、防靜電、易清潔等特性,如選用彩鋼板作為墻體材料。還要依據(jù)當(dāng)?shù)啬茉垂?yīng)背景,選定可靠且經(jīng)濟的冷、熱源,滿足車間溫濕度控制需求。同時,要合理劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng),確??諝鈨艋Ч蜌饬鹘M織合理,以滿足不同潔凈等級要求。黃光區(qū)紫外防護,泄漏量≤1μW/cm2,保護光刻膠性能。重慶氫燃料電池?zé)o塵車間改造
光學(xué)儀器和航空航天部件的制造需要極高的精度和可靠性,無塵車間可以減少灰塵和顆粒物的存在,保證光學(xué)產(chǎn)品的清晰度和精度。在光學(xué)制造領(lǐng)域,無塵車間是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。無塵車間確保了航空航天零部件的制造過程中不受污染,提高了產(chǎn)品的整體質(zhì)量和安全性。航空航天產(chǎn)品的制造對環(huán)境要求極為嚴(yán)格,無塵車間為零部件制造提供了潔凈、穩(wěn)定的環(huán)境,保障了航空航天事業(yè)的發(fā)展。無塵車間在科研實驗室中的應(yīng)用,可以減少實驗過程中的污染和誤差,提高實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。無論是生物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)還是材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究,都需要在潔凈、無塵的環(huán)境中進行。無塵車間為科學(xué)研究提供了良好的實驗環(huán)境,推動了科學(xué)技術(shù)的進步。中國臺灣光學(xué)電子無塵車間生產(chǎn)醫(yī)藥級無塵車間采用VHP滅菌,孢子殺滅率達6-log,符合GMP標(biāo)準(zhǔn)。
設(shè)置單獨防爆墻,采用A級防火材料。分容柜配置熱電偶陣列,實時監(jiān)測電芯溫度梯度。當(dāng)溫差超過5℃時自動啟動冷卻系統(tǒng),通過液冷板將電芯溫度控制在25±2℃范圍。采用化學(xué)過濾機組與FFU機組組合方案,對0.1μm顆粒過濾效率達99.9995%。光刻機臺設(shè)置單獨百級潔凈罩,通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境。配置自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS),減少人員干預(yù)。設(shè)置單獨除濕系統(tǒng),將濕度控制在35±5%RH范圍。膠合臺配置顯微鏡,通過圖像處理系統(tǒng)實時檢測膠層厚度。采用UV固化燈時,設(shè)置單獨排風(fēng)系統(tǒng),將臭氧濃度控制在0.1ppm以下。
在一些食品的生產(chǎn)中,如巧克力、糖果等,為了防止微生物滋生和異物混入,也需要建設(shè)無塵車間。無塵車間能夠有效控制食品生產(chǎn)環(huán)境中的細菌和其他污染物,確保食品的衛(wèi)生和質(zhì)量,讓消費者能夠放心食用。無塵無菌車間通過分區(qū)設(shè)計與空氣動力學(xué)控制實現(xiàn)污染物隔離。采用BIM技術(shù)結(jié)合生產(chǎn)流程進行三維空間規(guī)劃,將車間劃分為潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三大功能區(qū)域。通過不同區(qū)域間的壓差梯度設(shè)置(通常保持10 - 15Pa壓差),形成從潔凈區(qū)向準(zhǔn)潔凈區(qū)再向輔助區(qū)的單向氣流路徑,有效阻隔外部污染物滲透。離子注入無塵車間,金屬污染≤1×10^6atoms/cm2,提升器件性能。
采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式,在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內(nèi)置氮氣保護系統(tǒng),將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC)的嚴(yán)苛要求,配置化學(xué)過濾機組,對硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達99.999%。采用VOC在線監(jiān)測系統(tǒng),實時檢測NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo),結(jié)合FFU風(fēng)機過濾單元的三級過濾體系,確保ISO1級潔凈環(huán)境。楚嶸無塵車間,通過CFD模擬優(yōu)化,氣流均勻性提升60%。江西十萬級無塵車間工程
智能排風(fēng)與應(yīng)急裝置,保障生產(chǎn)安全與人員健康。重慶氫燃料電池?zé)o塵車間改造
動力電池生產(chǎn)涉及易燃易爆材料,對無塵車間的安全防護要求極高。廣東楚嶸公司設(shè)計的動力電池?zé)o塵車間,采用了防爆型電氣設(shè)備和七氟丙烷滅火系統(tǒng),確保了電芯分選、注液等工序的安全。同時,車間內(nèi)還設(shè)置了氣體檢測儀和緊急排風(fēng)系統(tǒng),實時監(jiān)測電解液蒸汽濃度,并在濃度超標(biāo)時自動啟動排風(fēng)系統(tǒng),防止風(fēng)險。楚嶸公司還提供了應(yīng)急處理預(yù)案和培訓(xùn)服務(wù),確保員工在緊急情況下能夠迅速應(yīng)對。半導(dǎo)體封裝工序?qū)ξ⑽廴緲O為敏感,直接影響產(chǎn)品良率。廣東楚嶸公司設(shè)計的半導(dǎo)體封裝無塵車間,采用了化學(xué)過濾機組與FFU風(fēng)機過濾單元組合方案,對0.1μm顆粒過濾效率達99.9995%。在引線鍵合區(qū),楚嶸公司設(shè)置了單獨的百級潔凈艙,通過層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境,有效減少了微污染對封裝良率的影響。同時,車間內(nèi)還配備了在線監(jiān)測系統(tǒng),實時監(jiān)測潔凈度等關(guān)鍵參數(shù),確保封裝過程的穩(wěn)定性。重慶氫燃料電池?zé)o塵車間改造