HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。工業(yè)烤箱怎樣挑選比較好?淮安生產工業(yè)烤箱
工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性,在工業(yè)烤箱開關箱門運送物料的過程中,溫度值會受到影響發(fā)生變動,熱風循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內恢復工作狀態(tài)的溫度值。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內物料的干燥速度。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經過電熱設備加熱攜帶熱能后經風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。恒溫工業(yè)烤箱溫度不均勻工業(yè)烤箱找哪家比較安心?合肥真萍不錯。
通過數顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經精確計算,風源是由送風馬達運轉帶動風輪經由電熱器,將熱風送至風道后進入烘箱工作室,且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱運用,如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關,可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經過電熱設備加熱攜帶熱能后經風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。
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一、本產品廣泛應用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產單位。確定儀器儀表、電工產品、材料、零部件、設備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應性與可靠性試驗.二、主要技術指標:1、工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2、溫度波動度:1.0℃(空載);3、溫度偏差:常壓溫度試驗:常溫~200℃時2℃200~300℃時5.0℃低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時2.0℃,100℃~200℃時5.0℃200℃~300℃時7.0℃4、升降溫速率:升溫時間:①常壓時:90min(常溫~+260℃)②低氣壓0.0001pa時:180min(常溫~+260℃)降溫時間:3℃~10℃/min(260℃~120℃),1℃~5℃/min(120℃~常溫℃)降溫方式:水冷降溫5、試驗箱承壓方式:采用內承壓方式6、壓力范圍:常壓~0.0001Pa淮安生產工業(yè)烤箱
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