真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。 真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。金山區(qū)標準泵推薦咨詢
油封式真空泵結構特點分類: a旋片式真空泵:轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近,在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個可變容積。 b.滑閥式真空泵:在偏心轉子外部裝有一個滑閥,轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而泵腔分成兩個可變容積。 c.定片式真空泵:在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。 d.余擺線式真空泵:在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子,它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。 e.多室旋片式真空泵:在一個泵殼內并聯(lián)裝有由同一個電動機驅動的多個單獨的工作室的旋片真空泵。松江區(qū)質量泵供應商真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。
分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 水環(huán)泵初始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到了應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應用日益增多。真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。 立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。 臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應同時動作。嘉定區(qū)標準泵售后保障
真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。金山區(qū)標準泵推薦咨詢
真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補焊高溫產(chǎn)生的熱應力無法完全消除,易造成材質損傷,導致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復金屬,無法改變“硬對硬”的配合關系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當代西方國家針對以上問題多使用高分子復合材料的修復方法,而應用較多的有美國美嘉華技術體系,其具有較強的粘著力,優(yōu)異的抗壓強度等綜合性能。應用高分子材料修復,可免拆卸,免機加工。既無補焊熱應力影響,修復厚度也不受限制,同時產(chǎn)品所具有的金屬材料不具備的退讓性,可吸收設備的沖擊震動,避免再次磨損的可能,并延長設備部件的使用壽命,為企業(yè)節(jié)省大量的停機時間,創(chuàng)造巨大的經(jīng)濟價值。金山區(qū)標準泵推薦咨詢
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