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瀏陽(yáng)私人潔凈凈化工程施工執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-19

    液晶面板已經(jīng)升級(jí)至第八代,行業(yè)需求非常巨大。凈化工程解決方案編輯語(yǔ)音大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求,不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求,而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。因此,在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因?yàn)橄募臼彝饪諝馐歉邷?、高濕的),冬季要加熱加濕(因?yàn)槎臼彝饪諝馐呛涓稍锏?,室?nèi)濕度過(guò)低會(huì)產(chǎn)生靜電,靜電對(duì)電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。從確保潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度精度要求≤±10%時(shí)**好不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個(gè)噴蒸汽效率的問(wèn)題,并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中,而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來(lái)。因此。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。瀏陽(yáng)私人潔凈凈化工程施工執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

    往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。層流式(Laminar)等級(jí)名稱等級(jí)限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國(guó)際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在***側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。亂流式優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。復(fù)合式。雨花區(qū)品質(zhì)潔凈凈化工程施工價(jià)格大全因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混。

    噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng),因此表現(xiàn)為越容易帶電。靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前,這些材料料是被***采用的。凈化工程作用編輯語(yǔ)音控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。凈化工程分類編輯語(yǔ)音亂流式(TurbulentFlow)亂流式空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***,欲達(dá)需求之潔凈度。

    MixedType)復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用**之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間,其等級(jí)為10~1000級(jí),高度在,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運(yùn)用。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^(guò)濾器向室內(nèi)送風(fēng)。

    由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因?yàn)轱L(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時(shí)換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩?,因此不適合用來(lái)表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)。凈化工程控制編輯語(yǔ)音潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露。凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度。雨花區(qū)品質(zhì)潔凈凈化工程施工價(jià)格大全

使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。瀏陽(yáng)私人潔凈凈化工程施工執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

    室內(nèi)相對(duì)濕度偏低,達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。有的工廠為了簡(jiǎn)便和省錢,在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是,事與愿違,不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會(huì)很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來(lái),而達(dá)不到加濕目的。因?yàn)?,濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過(guò)程,加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。在加濕問(wèn)題上還有一個(gè)應(yīng)注意的問(wèn)題就是空調(diào)器內(nèi)空氣流動(dòng)帶水的問(wèn)題。有的工程中由于加濕的帶水問(wèn)題沒有處理好,結(jié)果后面的中效過(guò)濾器甚至高效過(guò)濾器都被攜帶的水打濕了。對(duì)于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問(wèn)題,要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設(shè)在空調(diào)器的風(fēng)機(jī)段內(nèi),還應(yīng)采取措施避免凝結(jié)水滴到電機(jī)上,造成電機(jī)短路斷電。光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室。瀏陽(yáng)私人潔凈凈化工程施工執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

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