半導體設備對氣體質量流量控制器的要求重要的一點就是高精度,傳統(tǒng)的氣體質量流量控制器在使用一段時間后,由于環(huán)境溫度、氣體污染等原因,有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象,但由于檢測條件的限制,用戶無法對氣體質量流量控制器的精度進行檢驗。因此需要研究一種自我診斷技術,通過該技術,用戶可以隨時對氣體質量流量控制器的精度進行檢驗。增加氣體質量流量控制器的自我診斷功能,需要通過初級流量測量原理獲得流量。若Qm為氣體的質量流量,可以根據(jù)壓力、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時間的變化曲線建立氣體質量流量控制器的精度對應表,進行自我診斷過程中,與該表格信息進行對比,可通過兩條曲線的相似度判定,系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內。自我診斷技術很大程度的提高了氣體質量流量控制系統(tǒng)的可靠性,完善了系統(tǒng)功能。測量范圍廣是熱式氣體質量流量控制器的主要優(yōu)勢。云南MD30M氣體質量流量控制器廠家
憑借類型寬泛的儀表設備,為許多不同市場的不同應用提供創(chuàng)新的解決方案和成套設備,各類產品按照用戶需求定制,適用于實驗室、工業(yè)環(huán)境、半導體加工和分析設備、工業(yè)過程、醫(yī)療和制藥系統(tǒng)、分析測試應用、生物技術和化學裝置等行業(yè)。模擬型和數(shù)字型的氣體質量流量控制器/流量計除了能在正常的工業(yè)環(huán)境中用于測控和控制氣體的質量流量使用以外,還能集成到各種自動化設備中使用,寬泛使用的設備主要有動態(tài)配氣裝置,模擬型和數(shù)字型的氣體質量流量控制器/流量計可以快速穩(wěn)定流量調節(jié),配氣響應時間快。上海熱式氣體質量流量控制器廠家氣體質量流量控制器可應用于食品加工及飲料氣體質量流量和控制。
在使用氣體質量流量控制器時的注意事項:安裝位置問題:本控制器安裝時較好保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時若發(fā)現(xiàn)零點偏移,可以調整零點后在工作。閥口密封問題:氣體質量流量控制器的電磁閥是調節(jié)閥,不是截止閥,不能當截止閥使用,用戶應另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體,通常應該在氣體質量流量控制器進出氣口各加一個截止閥,以保證工作安全。長期工作后,如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內,是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%,則應進行維修。
數(shù)字型熱式氣體質量流量控制器目前應用在發(fā)動機中,作為一個控制流量的充系統(tǒng),能夠同時使用多路4氣體,結合管道抽真空設備,以氫氣為工作介質的若干設備和系統(tǒng)的組合,該系統(tǒng)用于滿足對各種不同狀態(tài)氦氣的需要。熱式氣體質量流量計/控制器等產品呈現(xiàn)出多元化的趨勢,針對不同的用戶、不同的使用環(huán)境而生產各種不一樣的氣路系統(tǒng)和設備,適用于流量等過程量的監(jiān)測和控制,一鍵啟動,人機界面,具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點,是目前較便捷、簡單、自然的一種人機交互方式。氣體質量流量控制器可應用于產品質量的嚴格控制。
氣體質量流量控制器的自我診斷技術是在不停機或基本不拆機的情況下,通過各種檢測分析來判斷設備狀態(tài)是否正常,異?;蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預測。自我診斷技術的主要作用是獲得設備的結果狀態(tài)信息,即根據(jù)設備在各種工況下,表現(xiàn)出來的精度超差,零點漂移,內漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識別產品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴重程度,其本質是一個包含信號采集、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過程。自我診斷的目標是確保產品在功能、精度、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運行。熱式氣體質量流量控制器基于先進的技術,是高精度、高重復性的儀表系統(tǒng),能解決各種不同的氣體應用問題。湖北模擬式氣體質量流量控制器廠家報價
解決熱式氣體質量流量控制器零漂問題,要定期進行零點檢查和調整。云南MD30M氣體質量流量控制器廠家
客戶在使用氣體質量流量控制器/計時,對電子線路的要求:在使用氣體質量流量控制器/計時必須小心按規(guī)定連接系統(tǒng)的接線,不正確的接線會導致氣體質量流量控制器/計內部電路板產生的無可挽回的損壞。氣體質量流量控制器電源需要電壓波動小于5mV的高抗干擾穩(wěn)壓電源。氣體質量流量控制器/計氣路的連接:必須仔細的安裝密封管件,保證所有的密封管件經過單獨檢查并且沒有劃痕。禁止自行拆開氣體質量流量控制器/計。如果自行拆卸造成損壞,則本公司承諾的保修無效。云南MD30M氣體質量流量控制器廠家