標準漏孔用于來校準腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標準漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護和校準可延長其有效的使用時間。正確使用標準漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。標準漏孔使用時需緩慢調(diào)節(jié)壓力避免沖擊 。寧波非標漏孔外形
開放式氣體標準漏孔,可同時指定壓力、漏率等,開放式標準漏孔不帶氣室或氣體存儲裝置,需外接氣源,適用于任何檢漏儀及檢漏系統(tǒng)。采用先進的微通道技術(shù),具有響應(yīng)快、溫飄小(玻璃滲透為3%/℃,通道型為0.2%/℃),以及支持小漏率、不易堵塞之優(yōu)點,且漏率測試范圍廣,有無儲存氣罐都可以使用,結(jié)構(gòu)堅固,不易損,穩(wěn)定性好。作為標準漏孔,真實模擬工況;各種氣體檢測儀校準,包括氦質(zhì)譜檢漏儀,氫氣檢漏儀,冷媒檢漏儀、SF6檢漏儀,氣密性檢漏儀等紹興冷媒漏孔的漏率標準漏孔可用于檢漏系統(tǒng)的調(diào)試與驗證 。
冷媒標準漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ,漏孔元件為微通道毛細管,其漏率或校準精度0.1g/a,漏率范圍:(0~10)g/a,支持客戶指定漏率或年泄漏量定制,如1g/a,2.5g/a,5g/a,…,也可以指定其他漏率單位, 如Pa·m3/s(≥5×10-6 Pa·m3/s), 大漏率10~100g/a亦可定制。 使用方法: 通過增壓或減壓閥旋鈕,調(diào)節(jié)到校準點的對應(yīng)的漏率,氣瓶規(guī)格:雙罐設(shè)計,液態(tài)+氣態(tài),一次充注,長期使用,其優(yōu)點漏率穩(wěn)定、漏率可調(diào)、可重復(fù)充灌、使用成本低、便于攜帶等
組成與工作原理:標準漏孔主要由漏孔元件、氣室、漏孔閥、充氣閥和連接件構(gòu)成。漏孔元件是允許氣體從壓力相對高的一側(cè)進入壓力低的一側(cè)的重要元件,其要求包括與所連接的系統(tǒng)相容、安全可靠、可重復(fù)地將氣流限制在所要求的水平、具有剛性和耐久性、不怕堵塞和污染、只允許一種所要求的氣體通過。氣室是向漏孔進氣端提供氣源的裝置,要求供氣充足以避免漏率隨時間而發(fā)生較大的變化。漏孔閥是把控漏孔與所連系統(tǒng)氣流的裝置,關(guān)閉時還可以保護漏孔元件免受來自所連系統(tǒng)或環(huán)境大氣的污染標準漏孔安裝時要確保連接部位密封完好。
氦氣真空標準漏孔真空漏孔的選用主要包括以下幾個技術(shù)指標:漏率值和示漏氣體:主要由檢漏工藝和需求決定,說明的是在檢漏儀內(nèi)置漏孔一般為2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式,主要分為滲氦型和通道型。一般滲氦型漏孔主要用作帶氦氣室,并且氦氣漏率在(10-10~10-7)Pa.m3/s的標準漏孔,檢漏儀內(nèi)置漏孔大多采用該型號。通道型漏孔相對滲氦型漏孔,應(yīng)用會更廣,特別是非標定制的模擬漏孔。還具有可以用高壓容器,溫度系數(shù)小等優(yōu)勢。是否帶氦氣/氫氮混合氣室。主要由標準漏孔使用方式?jīng)Q定。帶氦氣室具有漏率穩(wěn)定/恒定的特點,而不帶氦氣室往往用作模擬漏孔,模擬允許漏率指標的被檢工件,用來保證檢漏系統(tǒng)的定量需求。接口方式和外形尺寸,是指氣源加壓端接口和漏氣端接口。主要根據(jù)漏孔使用方式確定。標準漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。寧波非標漏孔外形
標準漏孔的參數(shù)需符合相關(guān)行業(yè)標準要求。寧波非標漏孔外形
標準漏孔的制造工藝需嚴格把控材料純度與結(jié)構(gòu)精度,細微的尺寸偏差都可能導(dǎo)致泄漏率明顯變化。例如毛細管型漏孔的內(nèi)徑和長度需經(jīng)過精密測量,確保氣體流動符合理論計算模型,為量值準確性奠定基礎(chǔ)。在制冷設(shè)備檢漏中,標準漏孔用于校準鹵素檢漏儀,幫助檢測制冷劑是否存在微量泄漏。由于制冷劑泄漏不僅影響設(shè)備效率,還可能對環(huán)境造成影響,因此借助標準漏孔確保檢測精度尤為重要。濕度較高的環(huán)境可能導(dǎo)致標準漏孔內(nèi)部結(jié)露,進而堵塞氣體通道,影響其性能。因此在潮濕地區(qū)使用時,需配備干燥裝置,或選擇具有抗潮濕設(shè)計的漏孔,維持其穩(wěn)定工作狀態(tài)。寧波非標漏孔外形
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