氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計(jì)量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對(duì)于以開展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級(jí)有所欠缺的省市和企業(yè)級(jí)別的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室建議以相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對(duì)裝置，該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低等特點(diǎn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因?yàn)樵搩x器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。標(biāo)準(zhǔn)漏孔可用于教學(xué)實(shí)驗(yàn)中的演示環(huán)節(jié)。湖南滲氦漏孔偏差

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準(zhǔn)規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實(shí)際測(cè)量范圍（1-10）g/a對(duì)應(yīng)。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔，如表所示，鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。昆明氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔特點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用壓力不能超過額定值 。

不同的氣體對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的泄漏率有著一定影響，通常校準(zhǔn)以氮?dú)饣蚝鉃榻橘|(zhì)，實(shí)際使用時(shí)需要根據(jù)檢測(cè)氣體的性質(zhì)來進(jìn)行修正，提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程，以確保連接緊密、無額外的泄漏，避免因安裝不當(dāng)影響校準(zhǔn)或者檢測(cè)結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計(jì)有專屬接口，方便與不同設(shè)備對(duì)接。隨著檢漏技術(shù)的發(fā)展，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能不斷提升，出現(xiàn)了可調(diào)節(jié)泄漏率、智能化監(jiān)控等新型產(chǎn)品，滿足了更復(fù)雜場(chǎng)景下的計(jì)量需求。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔老化會(huì)導(dǎo)致漏率發(fā)生明顯變化 。

氣密性標(biāo)準(zhǔn)漏孔的原理是利用節(jié)流效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)氣體的泄漏。具體來說，當(dāng)氣體通過漏孔時(shí)，由于孔徑的限制和節(jié)流效應(yīng)的作用，氣體的流量是會(huì)受到一定的限制，從而實(shí)現(xiàn)氣體上的泄漏。通過來調(diào)節(jié)漏孔的大小和孔徑，可以控制氣體的泄漏速率和流量，從而模擬出不同的氣體泄漏情況?？勺稣龎?真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔、響應(yīng)速度快，等待時(shí)間短、受外界溫度變化影響小，溫度系數(shù)小于0.5%/℃、耐高溫，耐沖擊，抗震，抗摔，壽命長(zhǎng)、支持定制多種規(guī)格接頭，可配置不同品牌設(shè)計(jì)、漏率范圍廣，支持漏率定制，支持同時(shí)指定漏率和壓力。漏孔檢測(cè)前需明確檢測(cè)范圍及標(biāo)準(zhǔn)。江蘇全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔接口多大

標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)避免接觸各類腐蝕性氣體介質(zhì)。湖南滲氦漏孔偏差

滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用氦氣對(duì)石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對(duì)污染不敏感；長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負(fù)5-10負(fù)13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補(bǔ)償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門為手動(dòng)(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對(duì)于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對(duì)于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y。湖南滲氦漏孔偏差

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