激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。軟件強(qiáng)：友好的人機(jī)界面；豐富的應(yīng)用功能模塊；向?qū)降牟僮髁鞒?；簡潔化的記錄管理；支持中文、英文和俄文界面；支持企業(yè)專屬模板定制。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度進(jìn)行測(cè)量。上海激光干涉儀誠信合作

數(shù)控機(jī)床設(shè)備在維修維?；驒C(jī)床設(shè)備大修之后，使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實(shí)現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量，把檢測(cè)的數(shù)據(jù)值通過數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補(bǔ)償進(jìn)入數(shù)控系統(tǒng)，利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差，利用球桿儀檢測(cè)數(shù)控軸聯(lián)動(dòng)加工的真圓度，不但可以提高相關(guān)聯(lián)的幾個(gè)數(shù)控軸聯(lián)動(dòng)加工的精度等級(jí)，還保證了數(shù)控軸的精度、延長數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機(jī)床更高的定位精度、更小的公差及更高的進(jìn)給率。它是一種精密測(cè)量儀器，對(duì)數(shù)控機(jī)床設(shè)備進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)。雷尼紹激光干涉儀為機(jī)床檢定提供一種高精度標(biāo)準(zhǔn)，它具備自動(dòng)線性誤差補(bǔ)償功能，可以方便恢復(fù)機(jī)床精度。蘇州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀安裝影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。

單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。

多功能激光干涉儀：主要適用于測(cè)量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號(hào)，如測(cè)量光強(qiáng)和電壓隨時(shí)間變化的波形。因?yàn)樗捻憫?yīng)速度極快，是微微秒(Ps)量級(jí)。所以，它非常適用于超快變電場(chǎng)和超短光脈沖信號(hào)變化的測(cè)量。已有技術(shù)主要有兩個(gè)方面。一是普通干涉儀，如一九八七年機(jī)械工業(yè)出版社出版的“剪切干涉儀及其應(yīng)用”一書中描述的干涉儀，可用來做多樣的測(cè)量工作，但它既不能像示波器一樣示波顯示電信號(hào)的波形，也不能示波顯示光信號(hào)、磁信號(hào)的波形。雖然能示波顯示電信號(hào)和光信號(hào)的波形，但不能示波顯示其他如磁信號(hào)的波形等。而且，這些測(cè)量系統(tǒng)內(nèi)不含有干涉系統(tǒng)。激光干涉儀配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測(cè)量工作。

激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調(diào)整更方便，提高了測(cè)試效率。立式架構(gòu)整機(jī)占地更?。徽麄€(gè)干涉腔，處于穩(wěn)定的框架結(jié)構(gòu)下，這樣對(duì)抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺(tái)。立式配置對(duì)于某些特殊應(yīng)用的特殊優(yōu)勢(shì)，比如高精度曲率半徑測(cè)量，大口徑平面樣品的拼接測(cè)量。對(duì)于很多超高精度測(cè)量，要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測(cè)量。工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試環(huán)境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩(wěn)定。在某些應(yīng)用場(chǎng)合，基于測(cè)試效率，樣品夾持，測(cè)試方式或精度的要求，立式配置會(huì)更有優(yōu)勢(shì)。激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)。浙江口碑好激光干涉儀

激光干涉儀的光源——激光。上海激光干涉儀誠信合作

激光干涉儀組件：要測(cè)量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測(cè)量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺(tái)、XC環(huán)境補(bǔ)償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測(cè)量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測(cè)量軟件的計(jì)算機(jī)。激光干涉儀工作原理多普勒效應(yīng)（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質(zhì)或中間反射器的運(yùn)動(dòng)，會(huì)使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運(yùn)動(dòng)有關(guān)。上海激光干涉儀誠信合作