激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量、回轉(zhuǎn)精度測量、平行度測量和小角度測量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補(bǔ)償現(xiàn)在，利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量，其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時(shí)間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。上海精密儀器激光干涉儀品牌激光干涉儀為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。

激光干涉儀的應(yīng)用：幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較佳精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。

激光干涉儀引力波探測器的工作原理：用干涉儀進(jìn)行科學(xué)探測的基本原理是比較光在其相互垂直的兩臂中度越時(shí)所用的時(shí)間。當(dāng)引力波在垂直于干涉儀所在的平面入射時(shí),由于特殊的偏振特性,它會以四極矩的形式使空間畸變,也就是說,會以引力波的頻率,在一個(gè)方向上把空間拉伸,同時(shí)在與之垂直的方向上把空間壓縮,反之亦然。對于激光干涉儀來說,當(dāng)引力波通過時(shí),干涉儀相互垂直的兩臂所在的那部分空間自然也產(chǎn)生拉伸或壓縮效應(yīng)。也就是說,引力波會使干涉儀的一臂伸長而同時(shí)又使另一臂縮短。比較光在相互垂直的兩臂中度越時(shí)所用的時(shí)間的變化,就能探測引力波產(chǎn)生的效應(yīng),從而知道引力波是否存在。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快。

多功能激光干涉儀：主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號，如測量光強(qiáng)和電壓隨時(shí)間變化的波形。因?yàn)樗捻憫?yīng)速度極快，是微微秒(Ps)量級。所以，它非常適用于超快變電場和超短光脈沖信號變化的測量。已有技術(shù)主要有兩個(gè)方面。一是普通干涉儀，如一九八七年機(jī)械工業(yè)出版社出版的“剪切干涉儀及其應(yīng)用”一書中描述的干涉儀，可用來做多樣的測量工作，但它既不能像示波器一樣示波顯示電信號的波形，也不能示波顯示光信號、磁信號的波形。雖然能示波顯示電信號和光信號的波形，但不能示波顯示其他如磁信號的波形等。而且，這些測量系統(tǒng)內(nèi)不含有干涉系統(tǒng)。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。上海精密儀器激光干涉儀品牌

可進(jìn)行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動時(shí)會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。山東位移傳感器激光干涉儀設(shè)備廠家