數(shù)控機床設(shè)備在維修維保或機床設(shè)備大修之后，使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，把檢測的數(shù)據(jù)值通過數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補償進入數(shù)控系統(tǒng)，利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差，利用球桿儀檢測數(shù)控軸聯(lián)動加工的真圓度，不但可以提高相關(guān)聯(lián)的幾個數(shù)控軸聯(lián)動加工的精度等級，還保證了數(shù)控軸的精度、延長數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器，對數(shù)控機床設(shè)備進行精度的再校準。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標準，它具備自動線性誤差補償功能，可以方便恢復(fù)機床精度。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。高精度激光干涉儀廠商

隨著數(shù)控機床應(yīng)用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理：激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。西安高精度測量激光干涉儀定購激光干涉儀具有有線性測量鏡組、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。

激光干涉儀的應(yīng)用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測。

單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。激光干涉儀的光源——激光。山東位移傳感器激光干涉儀訂購

激光干涉儀的維護：儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)。高精度激光干涉儀廠商

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光波長非常穩(wěn)定，可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。高精度激光干涉儀廠商