質(zhì)譜儀在半導(dǎo)體和電子芯片制造中承擔(dān)著對(duì)材料成分、雜質(zhì)含量等進(jìn)行高精度分析的重任。其工作原理基于對(duì)離子的精確檢測(cè)與分析,而環(huán)境中的微小干擾都可能影響離子的產(chǎn)生、傳輸與檢測(cè)過程。例如,空氣中的塵埃顆??赡芪皆陔x子源或檢測(cè)器表面,導(dǎo)致檢測(cè)信號(hào)失真;溫濕度的波動(dòng)可能改變儀器內(nèi)部電場(chǎng)、磁場(chǎng)的分布,影響離子的飛行軌跡與檢測(cè)精度。精密環(huán)控柜通過高效的空氣過濾系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)超高水準(zhǔn)的潔凈度控制,確保質(zhì)譜儀工作環(huán)境無塵、無雜質(zhì)。同時(shí),憑借高超的溫濕度控制能力,將溫度波動(dòng)控制在極小范圍,維持濕度穩(wěn)定,為質(zhì)譜儀提供穩(wěn)定的工作環(huán)境,保證其對(duì)半導(dǎo)體材料的分析結(jié)果準(zhǔn)確可靠。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷追求更高集成度、更小芯片尺寸的發(fā)展趨勢(shì)下,精密環(huán)控柜的環(huán)境保障作用愈發(fā)關(guān)鍵,助力質(zhì)譜儀為半導(dǎo)體材料研發(fā)、芯片制造工藝優(yōu)化等提供有力的數(shù)據(jù)支撐,推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新與發(fā)展。精密環(huán)控柜可滿足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)等不同潔凈度要求。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕控制室
對(duì)于光學(xué)儀器,溫度哪怕有細(xì)微變化,都會(huì)引發(fā)諸多問題。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件,這些材料熱膨脹系數(shù)各異。當(dāng)溫度升高時(shí),鏡片會(huì)膨脹,鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會(huì)發(fā)生相應(yīng)變化,若膨脹程度不一致,就會(huì)使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響,光路隨之發(fā)生偏差。例如在顯微鏡觀察中,原本清晰聚焦的樣本圖像會(huì)突然變得模糊,科研人員無法準(zhǔn)確獲取樣本細(xì)節(jié),影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。對(duì)于望遠(yuǎn)鏡而言,溫度波動(dòng)導(dǎo)致的光路變化,會(huì)讓觀測(cè)天體時(shí)的成像偏離理想位置,錯(cuò)過重要天文現(xiàn)象的記錄。廣東質(zhì)譜儀恒溫恒濕針對(duì)光學(xué)鏡片研磨車間,提供穩(wěn)定溫濕度,保證鏡片加工精度。
在光學(xué)鏡片研磨這一精細(xì)入微的工藝?yán)?,溫濕度波?dòng)無疑是如影隨形的 “大敵”,對(duì)鏡片質(zhì)量的影響堪稱致命。就研磨設(shè)備而言,即便是零點(diǎn)幾攝氏度的細(xì)微溫度變化,也會(huì)迅速讓研磨盤與鏡片材料的熱膨脹系數(shù)差異暴露無遺。這一差異會(huì)直接導(dǎo)致鏡片在研磨過程中受力不均,研磨效果參差不齊,鏡片的曲率精度因此大打折扣,進(jìn)而嚴(yán)重影響其光學(xué)性能。而當(dāng)處于高濕度環(huán)境時(shí),空氣中彌漫的水汽就像隱匿的破壞者,極易在鏡片表面悄然凝結(jié)成水漬。這些水漬會(huì)在后續(xù)鍍膜工藝中成為棘手難題,極大地干擾鍍膜均勻性,致使鏡片的透過率和抗反射能力雙雙下滑,成品鏡片根本無法契合光學(xué)儀器所要求的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。
我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達(dá) 0.1%,能精細(xì)掌控溫度變化。溫度波動(dòng)控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴(yán)苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,可達(dá)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發(fā)等敏感項(xiàng)目營造理想溫場(chǎng),保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,8 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%;壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時(shí),助力長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)與制造。在潔凈度上,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,既確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動(dòng)科研與生產(chǎn)進(jìn)步。其控制系統(tǒng)精細(xì)處理循環(huán)氣流各環(huán)節(jié),確保柜內(nèi)溫濕度的超高精度控制。
電子萬能試驗(yàn)機(jī),作為材料力學(xué)性能測(cè)試設(shè)備,在金屬材料研發(fā)、塑料制品質(zhì)量檢測(cè)等眾多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。它能夠開展材料拉伸、壓縮、彎曲等力學(xué)性能測(cè)試,為產(chǎn)品質(zhì)量把控與材料特性研究提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。然而,環(huán)境溫濕度的波動(dòng)對(duì)其影響極大。溫度波動(dòng)時(shí),試驗(yàn)機(jī)力傳感器的精度首先受到?jīng)_擊,測(cè)量的力值出現(xiàn)偏差,同時(shí)還會(huì)改變材料自身的力學(xué)性能,例如金屬在高溫下屈服強(qiáng)度降低,導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果無法真實(shí)反映材料特性。濕度波動(dòng)時(shí),試驗(yàn)機(jī)的夾具、傳動(dòng)部件極易生銹腐蝕,致使對(duì)試樣的夾持穩(wěn)定性大打折扣,加載均勻性也難以保證,進(jìn)一步降低測(cè)試精度。根據(jù)高精密行業(yè)用戶的反饋,對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行持續(xù)優(yōu)化,不斷提升設(shè)備的適用性和穩(wěn)定性。光刻機(jī)高精度恒溫恒濕控制房
為滿足多樣化需求,箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),可按需定制外觀顏色。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕控制室
自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障,為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和用戶的使用安全提供防護(hù)。故障自動(dòng)保護(hù)程序時(shí)刻監(jiān)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),一旦檢測(cè)到異常情況,如溫度過高、壓力過大、電氣故障等,系統(tǒng)會(huì)立即啟動(dòng)相應(yīng)的保護(hù)措施,停止設(shè)備的危險(xiǎn)運(yùn)行,避免設(shè)備損壞或引發(fā)安全事故,實(shí)現(xiàn)全天候無憂運(yùn)行。同時(shí),故障實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒,能及時(shí)引起用戶的注意。用戶可以根據(jù)報(bào)警信息迅速判斷故障類型和位置,及時(shí)采取應(yīng)對(duì)措施。此外,遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理功能,使用戶能夠通過網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)技術(shù)人員取得聯(lián)系,技術(shù)人員可以遠(yuǎn)程查看設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)和故障信息,指導(dǎo)用戶進(jìn)行故障排查和修復(fù),縮短了故障處理時(shí)間,提高了設(shè)備的可用性。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕控制室