OBIRCH與EMMI技術(shù)在集成電路失效分析領(lǐng)域中扮演著互補(bǔ)的角色,其主要差異體現(xiàn)在檢測(cè)原理及應(yīng)用領(lǐng)域。具體而言,EMMI技術(shù)通過(guò)光子檢測(cè)手段來(lái)精確定位漏電或發(fā)光故障點(diǎn),而OBIRCH技術(shù)則依賴于激光誘導(dǎo)電阻變化來(lái)識(shí)別短路或阻值異常區(qū)域。這兩種技術(shù)通常被整合于同一檢測(cè)系統(tǒng)(即PEM系統(tǒng))中,其中EMMI技術(shù)在探測(cè)光子發(fā)射類缺陷,如漏電流方面表現(xiàn)出色,而OBIRCH技術(shù)則對(duì)金屬層遮蔽下的短路現(xiàn)象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術(shù)能夠有效檢測(cè)未開(kāi)封芯片中的失效點(diǎn),而OBIRCH技術(shù)則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問(wèn)題。紅外熱像儀捕獲這些溫度變化,通過(guò)鎖相技術(shù)提取微弱的有用信號(hào),提高檢測(cè)靈敏度。制冷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理
RTTLIT 系統(tǒng)采用了先進(jìn)的鎖相熱成像(Lock-In Thermography)技術(shù),這是一種通過(guò)調(diào)制電信號(hào)來(lái)大幅提升特征分辨率與檢測(cè)靈敏度的創(chuàng)新方法。在傳統(tǒng)的熱成像檢測(cè)中,由于背景噪聲和熱擴(kuò)散等因素的影響,往往難以精確檢測(cè)到微小的熱異常。而鎖相熱成像技術(shù)通過(guò)對(duì)目標(biāo)物體施加特定頻率的電激勵(lì),使目標(biāo)物體產(chǎn)生與激勵(lì)頻率相同的熱響應(yīng),然后通過(guò)鎖相放大器對(duì)熱響應(yīng)信號(hào)進(jìn)行解調(diào),只提取與激勵(lì)頻率相關(guān)的熱信號(hào),從而有效地抑制了背景噪聲,極大地提高了檢測(cè)的靈敏度和分辨率。 熱發(fā)射顯微鏡鎖相紅外熱成像系統(tǒng)平臺(tái)電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng),電子檢測(cè)黃金組合。
電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的射頻元件檢測(cè)中應(yīng)用重要,為射頻元件的高性能生產(chǎn)提供了保障。射頻元件如射頻放大器、濾波器、天線等,廣泛應(yīng)用于通信、雷達(dá)、導(dǎo)航等領(lǐng)域,其性能直接影響電子系統(tǒng)的信號(hào)傳輸質(zhì)量。射頻元件的阻抗不匹配、內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷、焊接不良等問(wèn)題,會(huì)導(dǎo)致信號(hào)反射、衰減增大,甚至產(chǎn)生諧波干擾。通過(guò)對(duì)射頻元件施加特定頻率的電激勵(lì),使其工作在接近實(shí)際應(yīng)用的射頻頻段,缺陷處會(huì)因能量損耗增加而產(chǎn)生異常熱量。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠檢測(cè)到元件表面的溫度分布,通過(guò)分析溫度場(chǎng)的變化,判斷元件的性能狀況。例如,在檢測(cè)射頻濾波器時(shí),系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因內(nèi)部諧振腔結(jié)構(gòu)缺陷導(dǎo)致的局部高溫區(qū)域,這些區(qū)域會(huì)影響濾波器的頻率響應(yīng)特性?;跈z測(cè)結(jié)果,企業(yè)可以優(yōu)化射頻元件的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)工藝,生產(chǎn)出高性能的射頻元件,保障通信設(shè)備等電子系統(tǒng)的信號(hào)質(zhì)量。
鎖相熱成像系統(tǒng)借助電激勵(lì)在電子產(chǎn)業(yè)的微型電子元件檢測(cè)中展現(xiàn)出極高的靈敏度,滿足了電子產(chǎn)業(yè)向微型化、高精度發(fā)展的需求。隨著電子技術(shù)的不斷進(jìn)步,電子元件正朝著微型化方向快速發(fā)展,如微型傳感器、微型繼電器等,其尺寸通常在毫米甚至微米級(jí)別,缺陷也更加細(xì)微,傳統(tǒng)的檢測(cè)方法難以應(yīng)對(duì)。電激勵(lì)能夠在微型元件內(nèi)部產(chǎn)生微小但可探測(cè)的溫度變化,即使是納米級(jí)的缺陷也能引起局部溫度的細(xì)微波動(dòng)。鎖相熱成像系統(tǒng)結(jié)合先進(jìn)的鎖相技術(shù),能夠從強(qiáng)大的背景噪聲中提取出與電激勵(lì)同頻的溫度信號(hào),將微小的溫度變化放大并清晰顯示出來(lái),從而檢測(cè)出微米級(jí)的缺陷。例如,在檢測(cè)微型加速度傳感器的敏感元件時(shí),系統(tǒng)能夠發(fā)現(xiàn)因制造誤差導(dǎo)致的微小結(jié)構(gòu)變形,這些變形會(huì)影響傳感器的測(cè)量精度。這一技術(shù)的應(yīng)用,為微型電子元件的質(zhì)量檢測(cè)提供了有力支持,推動(dòng)了電子產(chǎn)業(yè)向微型化、高精度方向不斷發(fā)展。鎖相熱成像系統(tǒng)通過(guò)識(shí)別電激勵(lì)引發(fā)的周期性熱信號(hào),可有效檢測(cè)材料內(nèi)部缺陷,其靈敏度遠(yuǎn)超傳統(tǒng)熱成像技術(shù)。
鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵(lì)方式在電子產(chǎn)業(yè)的 LED 芯片檢測(cè)中扮演著不可或缺的角色,為 LED 產(chǎn)品的質(zhì)量提升提供了重要支持。LED 芯片是 pn 結(jié),pn 結(jié)的質(zhì)量直接決定了 LED 的發(fā)光效率、壽命和可靠性。如果 pn 結(jié)存在缺陷,如晶格失配、雜質(zhì)污染等,會(huì)導(dǎo)致芯片的電光轉(zhuǎn)換效率下降,發(fā)熱增加,嚴(yán)重影響 LED 的性能。通過(guò)對(duì) LED 芯片施加電激勵(lì),使芯片處于工作狀態(tài),缺陷處的電流分布和熱分布會(huì)出現(xiàn)異常,導(dǎo)致局部溫度升高。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠精確檢測(cè)到這些溫度差異,并通過(guò)圖像處理技術(shù),清晰顯示出 pn 結(jié)缺陷的位置和形態(tài)。
制造商可以根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,篩選出良好的 LED 芯片,剔除不合格產(chǎn)品,從而提升 LED 燈具、顯示屏等產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。例如,在 LED 顯示屏的生產(chǎn)過(guò)程中,利用該系統(tǒng)對(duì) LED 芯片進(jìn)行檢測(cè),可使產(chǎn)品的不良率降低 30% 以上,推動(dòng)了電子產(chǎn)業(yè)中 LED 領(lǐng)域的發(fā)展。 鎖相熱成像系統(tǒng)的同步控制模塊需與電激勵(lì)源保持高度協(xié)同,極小的同步誤差都可能導(dǎo)致檢測(cè)圖像出現(xiàn)相位偏移。長(zhǎng)波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)批量定制
鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)下的缺陷無(wú)所遁形。制冷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理
在產(chǎn)品全壽命周期中,失效分析以解決失效問(wèn)題、確定根本原因?yàn)槟繕?biāo)。通過(guò)對(duì)失效模式開(kāi)展綜合性試驗(yàn)分析,它能定位失效部位,厘清失效機(jī)理——無(wú)論是材料劣化、結(jié)構(gòu)缺陷還是工藝瑕疵引發(fā)的問(wèn)題,都能被系統(tǒng)拆解。在此基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提出針對(duì)性糾正措施,從源頭阻斷失效的重復(fù)發(fā)生。作為貫穿產(chǎn)品質(zhì)量控制全流程的關(guān)鍵環(huán)節(jié),失效分析的價(jià)值體現(xiàn)在對(duì)全鏈條潛在風(fēng)險(xiǎn)的追溯與排查:在設(shè)計(jì)(含選型)階段,可通過(guò)模擬失效驗(yàn)證方案合理性;制造環(huán)節(jié),能鎖定工藝偏差導(dǎo)致的批量隱患;使用過(guò)程中,可解析環(huán)境因素對(duì)性能衰減的影響;質(zhì)量管理層面,則為標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。制冷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理