致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列，是電子工業(yè)中不可或缺的精密檢測(cè)工具，在半導(dǎo)體芯片、先進(jìn)封裝技術(shù)、功率電子器件以及印刷電路板（PCB）等領(lǐng)域的失效分析中發(fā)揮著舉足輕重的作用。

該設(shè)備搭載——實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析（RTTLIT）系統(tǒng)，并集成高靈敏度紅外相機(jī)、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術(shù)組件，賦予其三大特性：超凡靈敏度與亞微米級(jí)檢測(cè)精度，可捕捉微弱熱信號(hào)與光子發(fā)射；高精度溫度測(cè)量能力（鎖相靈敏度達(dá)0.001℃），支持動(dòng)態(tài)功耗分析；無(wú)損故障定位特性，無(wú)需破壞器件即可鎖定短路、開(kāi)路等缺陷。憑借技術(shù)集成優(yōu)勢(shì)，ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點(diǎn)，更能通過(guò)失效分析優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性，為半導(dǎo)體制造、先進(jìn)封裝及電子器件研發(fā)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。 熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率，助力復(fù)雜半導(dǎo)體失效分析 。熱紅外顯微鏡P10

RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學(xué)配置上的靈活性，可通過(guò)多種可選物鏡得以充分體現(xiàn)，為不同尺度、不同場(chǎng)景的熱分析需求提供精細(xì)適配。

Micro 廣角鏡頭擅長(zhǎng)捕捉大視野范圍的整體熱分布，適合快速定位樣品宏觀(guān)熱異常區(qū)域，如整片晶圓的整體散熱趨勢(shì)觀(guān)測(cè)；0.2X 鏡頭在保持一定視野的同時(shí)提升細(xì)節(jié)捕捉能力，可用于中等尺寸器件（如傳感器模組）的熱行為分析，平衡效率與精度；0.4X 鏡頭進(jìn)一步聚焦局部，能清晰呈現(xiàn)芯片封裝級(jí)的熱分布特征，助力排查封裝缺陷導(dǎo)致的散熱不均問(wèn)題；1X 與 3X 鏡頭則聚焦微觀(guān)尺度，1X 鏡頭可解析芯片內(nèi)部功能模塊的熱交互，3X 鏡頭更是能深入到微米級(jí)結(jié)構(gòu)（如晶體管陣列、引線(xiàn)鍵合點(diǎn)），捕捉納米級(jí)熱點(diǎn)的細(xì)微溫度波動(dòng)。

制造熱紅外顯微鏡熱紅外顯微鏡突破傳統(tǒng)限制，以超分辨率清晰呈現(xiàn)芯片內(nèi)部熱分布細(xì)節(jié) 。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI ）技術(shù)不僅可實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備的故障精細(xì)定位，更在性能評(píng)估、熱管理優(yōu)化及可靠性分析等領(lǐng)域展現(xiàn)獨(dú)特價(jià)值。通過(guò)高分辨率熱成像捕捉設(shè)備熱點(diǎn)分布圖譜，工程師能深度解析器件熱傳導(dǎo)特性，以此為依據(jù)優(yōu)化散熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效提升設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性與使用壽命。此外，該技術(shù)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)線(xiàn)路功耗分布與異常發(fā)熱區(qū)域，建立動(dòng)態(tài)熱特征數(shù)據(jù)庫(kù)，為線(xiàn)路故障的早期預(yù)警與預(yù)防性維護(hù)提供數(shù)據(jù)支撐，從根本上去降低潛在失效風(fēng)險(xiǎn)。

致晟光電在推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研一體化進(jìn)程中，積極開(kāi)展校企合作。公司依托南京理工大學(xué)光電技術(shù)學(xué)院，專(zhuān)注開(kāi)發(fā)基于微弱光電信號(hào)分析的產(chǎn)品及應(yīng)用。雙方聯(lián)合攻克技術(shù)難題，不斷優(yōu)化實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)（RTTLIT），使該系統(tǒng)溫度靈敏度可達(dá)0.0001℃，功率檢測(cè)限低至1uW，部分功能及參數(shù)優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備。此外，致晟光電還與其他高校建立合作關(guān)系，搭建起學(xué)業(yè)-就業(yè)貫通式人才孵化平臺(tái)。為學(xué)生提供涵蓋研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)實(shí)踐、項(xiàng)目管理全鏈條的育人平臺(tái)，輸送了大量實(shí)踐能力強(qiáng)的專(zhuān)業(yè)人才，為企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新注入活力。通過(guò)建立科研成果產(chǎn)業(yè)孵化綠色通道，高校的前沿科研成果得以快速轉(zhuǎn)化為實(shí)際生產(chǎn)力，實(shí)現(xiàn)了高?？蒲匈Y源與企業(yè)市場(chǎng)轉(zhuǎn)化能力的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。

熱紅外顯微鏡在工業(yè)生產(chǎn)中，用于在線(xiàn)監(jiān)測(cè)電子器件的熱質(zhì)量 。

無(wú)損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析（NDA）技術(shù)，為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價(jià)值樣品的前提下，捕捉隱性熱信號(hào)以定位內(nèi)部缺陷，既保障了分析的準(zhǔn)確性，又為后續(xù)驗(yàn)證、復(fù)盤(pán)保留了完整樣本，讓失效分析從 “找到問(wèn)題” 到 “解決問(wèn)題” 的閉環(huán)更高效、更可靠。

相較于無(wú)損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測(cè)，這些有損分析方法雖能獲取內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，但會(huì)破壞樣品完整性，更適合無(wú)需保留樣品的分析場(chǎng)景，與無(wú)損分析形成互補(bǔ)。 熱紅外顯微鏡可用于研究電子元件在不同環(huán)境下的熱行為 。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡原理

在半導(dǎo)體制造中，通過(guò)逐點(diǎn)熱掃描篩選熱特性不一致的晶圓，提升良率。熱紅外顯微鏡P10

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng)，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術(shù)，通過(guò)調(diào)制電信號(hào)提升特征分辨率與靈敏度，并結(jié)合軟件算法優(yōu)化信噪比，實(shí)現(xiàn)顯微成像下超高靈敏度的熱信號(hào)測(cè)量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測(cè)器，測(cè)溫靈敏度達(dá)0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測(cè)靈敏度與測(cè)試效能。該系統(tǒng)重點(diǎn)應(yīng)用于對(duì)測(cè)溫精度和顯微分辨率要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景，包括半導(dǎo)體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導(dǎo)體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導(dǎo)體器件失效分析及缺陷定位領(lǐng)域的關(guān)鍵工具。熱紅外顯微鏡P10