當(dāng)電子設(shè)備中的某個(gè)元件發(fā)生故障或異常時(shí)，常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過(guò)高靈敏度的紅外探測(cè)器，能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號(hào)。這些探測(cè)器通常采用量子級(jí)聯(lián)激光器等先進(jìn)技術(shù)，或其他高性能紅外傳感方案，具備寬溫區(qū)、高分辨率的成像能力。通過(guò)對(duì)熱輻射信號(hào)的精細(xì)探測(cè)與分析，熱紅外顯微鏡能夠?qū)㈦娮釉O(shè)備表面的溫度分布以高對(duì)比度的熱圖像形式呈現(xiàn)，直觀展現(xiàn)熱點(diǎn)區(qū)域的位置、尺寸及溫度變化趨勢(shì)，從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)高效可靠的故障排查。快速鎖定 PCB 板上因線路搭接、元件損壞導(dǎo)致的熱點(diǎn)，尤其是隱藏在多層板內(nèi)部的短路點(diǎn)。熱紅外顯微鏡測(cè)試

致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng)，創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設(shè)計(jì)，搭配靈活可選的制冷/非制冷模式，可根據(jù)您的實(shí)際需求定制專屬配置方案。這套設(shè)備的優(yōu)勢(shì)在于一體化集成能力：只需一套系統(tǒng)，即可同時(shí)搭載可見(jiàn)光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設(shè)計(jì)省去了多設(shè)備切換的繁瑣，更通過(guò)硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能，讓您在同一平臺(tái)上輕松完成多波段觀測(cè)任務(wù)。相比單獨(dú)購(gòu)置多套設(shè)備，該集成系統(tǒng)能大幅降低采購(gòu)與維護(hù)成本，在保證檢測(cè)精度的同時(shí)，為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省空間與預(yù)算，真正實(shí)現(xiàn)性能與性價(jià)比的雙重提升。博羅熱紅外顯微鏡熱紅外顯微鏡通過(guò)測(cè)量熱輻射強(qiáng)度，量化評(píng)估電子元件的功耗 。

從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到致晟光電熱紅外顯微鏡的技術(shù)進(jìn)化，不只是觀測(cè)精度與靈敏度的提升，更實(shí)現(xiàn)了對(duì)先進(jìn)制程研發(fā)需求的深度適配。它以微觀熱信號(hào)為紐帶，串聯(lián)起芯片設(shè)計(jì)、制造與可靠性評(píng)估全流程。在設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)助力優(yōu)化熱布局，制造階段輔助排查熱相關(guān)缺陷，可靠性評(píng)估時(shí)提供精細(xì)熱數(shù)據(jù)。這種全鏈條支撐，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破先進(jìn)制程的熱壁壘提供了扎實(shí)技術(shù)保障，助力研發(fā)更小巧、運(yùn)算更快、性能更可靠的芯片，推動(dòng)其從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)穩(wěn)步邁向量產(chǎn)應(yīng)用。

熱紅外顯微鏡與光學(xué)顯微鏡雖同屬微觀觀測(cè)工具，但在原理、功能與應(yīng)用場(chǎng)景上存在明顯差異，尤其在失效分析等專業(yè)領(lǐng)域各有側(cè)重。

從工作原理看，光學(xué)顯微鏡利用可見(jiàn)光（400-760nm 波長(zhǎng)）的反射或透射成像，通過(guò)放大樣品的物理形態(tài)（如結(jié)構(gòu)、顏色、紋理）呈現(xiàn)細(xì)節(jié)，其主要是捕捉 “可見(jiàn)形態(tài)特征”；而熱紅外顯微鏡則聚焦 3-10μm 波長(zhǎng)的紅外熱輻射，通過(guò)檢測(cè)樣品自身發(fā)射的熱量差異生成熱分布圖，本質(zhì)是捕捉 “不可見(jiàn)的熱信號(hào)”。

在主要功能上，光學(xué)顯微鏡擅長(zhǎng)觀察樣品的表面形貌、結(jié)構(gòu)缺陷（如裂紋、變形），適合材料微觀結(jié)構(gòu)分析、生物樣本觀察等；熱紅外顯微鏡則專注于微觀熱行為解析，能識(shí)別因電路缺陷、材料熱導(dǎo)差異等產(chǎn)生的溫度異常，即使是納米級(jí)的微小熱點(diǎn)（如半導(dǎo)體芯片的漏電區(qū)域）也能精確捕捉，這是光學(xué)顯微鏡無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。

從適用場(chǎng)景來(lái)看，光學(xué)顯微鏡是通用型觀測(cè)工具，廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)科研、教學(xué)等領(lǐng)域；而熱紅外顯微鏡更偏向?qū)I(yè)細(xì)分場(chǎng)景，尤其在半導(dǎo)體失效分析中，可定位短路、虛焊等隱性缺陷引發(fā)的熱異常，在新材料研發(fā)中能分析不同組分的熱傳導(dǎo)特性，為解決 “熱相關(guān)問(wèn)題” 提供關(guān)鍵依據(jù)。 熱紅外顯微鏡通過(guò)熱輻射相位差算法，三維定位 3D 封裝中 Z 軸方向的失效層。

紅外顯微鏡（非熱紅外）與熱紅外顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域各有側(cè)重。前者側(cè)重成分分析，在材料科學(xué)中用于檢測(cè)復(fù)合材料界面成分、涂層均勻性及表面污染物；生物醫(yī)藥領(lǐng)域可識(shí)別生物組織中蛋白質(zhì)等分子分布，輔助診斷；地質(zhì)學(xué)和考古學(xué)中能鑒定礦物組成與文物顏料成分；食品農(nóng)業(yè)領(lǐng)域則用于檢測(cè)添加劑、農(nóng)藥殘留及農(nóng)作物成分。熱紅外顯微鏡聚焦溫度與熱特性研究，電子半導(dǎo)體領(lǐng)域可定位芯片熱點(diǎn)、評(píng)估散熱性能；材料研究中測(cè)試熱分布均勻性與熱擴(kuò)散系數(shù)；生物醫(yī)藥領(lǐng)域監(jiān)測(cè)細(xì)胞代謝熱分布及組織熱傳導(dǎo)；工業(yè)質(zhì)檢能檢測(cè)機(jī)械零件隱形缺陷，評(píng)估電池充放電溫度變化。二者應(yīng)用有交叉，但分別為成分分析與熱特性研究。熱紅外顯微鏡的 AI 智能分析模塊，自動(dòng)標(biāo)記異常熱斑并匹配歷史失效數(shù)據(jù)庫(kù)。紅外光譜熱紅外顯微鏡用戶體驗(yàn)

熱紅外顯微鏡在材料研究領(lǐng)域，常用于觀察材料微觀熱傳導(dǎo)特性。熱紅外顯微鏡測(cè)試

熱紅外顯微鏡能高效檢測(cè)微尺度半導(dǎo)體電路及MEMS器件的熱問(wèn)題。在電路檢測(cè)方面，這套熱成像顯微鏡可用于電路板失效分析，且配備了電路板檢測(cè)用軟件包“模型比較”，能識(shí)別缺陷元件；同時(shí)還可搭載“缺陷尋找”軟件模塊，專門探測(cè)不易發(fā)現(xiàn)的短路問(wèn)題并定位短路點(diǎn)。在MEMS研發(fā)領(lǐng)域，空間溫度分布與熱響應(yīng)時(shí)間是微反應(yīng)器、微型熱交換器、微驅(qū)動(dòng)器、微傳感器等MEMS器件的關(guān)鍵參數(shù)。目前，非接觸式測(cè)量MEMS器件溫度的方法仍存在局限，而紅外成像顯微鏡可提供20微米空間分辨率的熱分布圖像，是迄今為止測(cè)量MEMS器件熱分布的高效工具。
熱紅外顯微鏡測(cè)試