在國內(nèi)失效分析設備領域,專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對較少,尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領域,具備自主技術(shù)積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術(shù)門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術(shù),也受限于市場需求的專業(yè)化程度,導致多數(shù)企業(yè)傾向于代理或集成方案。
致晟光電正是國內(nèi)少數(shù)深耕該領域的原廠之一。不同于單純的設備組裝,其從中樞技術(shù)迭代入手,在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上進化出熱紅外顯微鏡,形成從光學系統(tǒng)設計、信號算法研發(fā)到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內(nèi)半導體、材料等行業(yè)的失效分析需求,例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產(chǎn)新材料的熱特性研究等場景,提供更貼合實際應用的設備與技術(shù)支持,成為本土失效分析領域不可忽視的自主力量。 熱紅外顯微鏡的高精度熱檢測,為電子設備可靠性提供保障 。顯微熱紅外顯微鏡圖像分析
半導體制程已逐步進入 3 納米及更先進階段,芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)日趨密集,供電電壓也持續(xù)降低,這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上,經(jīng)迭代進化而成的精密工具。在先進制程研發(fā)中,它在應對熱難題方面能提供一定支持,在芯片設計驗證、失效排查以及性能優(yōu)化等環(huán)節(jié),都能發(fā)揮相應的作用。其通過不斷優(yōu)化的技術(shù),適應了先進制程下對微觀熱信號檢測的需求,為相關(guān)研發(fā)工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息,助力研發(fā)人員更好地推進芯片相關(guān)的研究與改進工作。
顯微熱紅外顯微鏡用途熱紅外顯微鏡在材料研究領域,常用于觀察材料微觀熱傳導特性。
非破壞性分析(NDA)以非侵入方式分析樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)和性能,無需切割、拆解或化學處理,能保留樣品完整性,為后續(xù)研究留有余地,在高精度、高成本的半導體領域作用突出。
無損分析,通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像,全程無接觸,無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導體制造中,可識別晶圓晶體缺陷;封裝階段,能檢測焊接點完整性或封裝層粘結(jié)質(zhì)量;失效分析時,可定位內(nèi)部短路或斷裂區(qū)域的隱性熱信號,為根源分析提供依據(jù),完美適配半導體行業(yè)對高價值樣品的保護需求。
相較于宏觀熱像儀(空間分辨率約50-100μm),熱紅外顯微鏡通過顯微光學系統(tǒng)將分辨率提升至1-10μm,且支持動態(tài)電激勵與鎖相分析,能深入揭示微觀尺度的熱-電耦合失效機理。例如,傳統(tǒng)熱像儀能檢測PCB表面的整體熱分布,而熱紅外顯微鏡可定位某一焊點內(nèi)部的微裂紋導致的局部過熱。技術(shù)發(fā)展趨勢當前,熱紅外顯微鏡正朝著更高靈敏度(如量子點探測器提升光子捕捉能力)、多模態(tài)融合(集成EMMI光子探測、OBIRCH電阻分析)及智能化方向發(fā)展,部分設備已內(nèi)置AI算法自動標記異常熱點,為半導體良率提升、新能源汽車電驅(qū)系統(tǒng)熱管理等應用提供更高效的解決方案。熱紅外顯微鏡可對不同材質(zhì)的電子元件進行熱特性對比分析 。
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)技術(shù),作為半導體失效分析領域的關(guān)鍵手段,通過捕捉器件內(nèi)部產(chǎn)生的熱輻射,實現(xiàn)失效點的精細定位。它憑借對微觀熱信號的高靈敏度探測,成為解析半導體故障的 “火眼金睛”。然而,隨著半導體技術(shù)不斷升級,器件正朝著超精細圖案制程與低供電電壓方向快速演進:線寬進入納米級,供電電壓降至 1V 以下。這使得失效點(如微小短路、漏電流區(qū)域)產(chǎn)生的熱量急劇減少,其輻射的紅外線信號強度降至傳統(tǒng)檢測閾值邊緣,疊加芯片復雜結(jié)構(gòu)的背景輻射干擾,信號提取難度呈指數(shù)級上升。
熱紅外顯微鏡通過測量熱輻射強度,量化評估電子元件的功耗 。低溫熱熱紅外顯微鏡方案
熱紅外顯微鏡可模擬器件實際工作溫度測試,為產(chǎn)品性能評估提供真實有效數(shù)據(jù)。顯微熱紅外顯微鏡圖像分析
RTTLITP20 熱紅外顯微鏡憑借多元光學物鏡配置,構(gòu)建從宏觀到納米級的全尺度熱分析能力,靈活適配多樣檢測需求。Micro廣角鏡頭可快速覆蓋大尺寸樣品整體熱分布,如整塊電路板、大型模組的散熱趨勢,高效完成初步篩查;0.13~0.3x變焦鏡頭通過連續(xù)倍率調(diào)節(jié),適配芯片封裝體、傳感器陣列等中等尺度器件熱分析,兼顧整體熱場與局部細節(jié);0.65X~0.75X變焦鏡頭提升分辨率,解析芯片內(nèi)部功能單元熱交互,助力定位封裝散熱瓶頸;3x~4x變焦鏡頭深入微米級結(jié)構(gòu),呈現(xiàn)晶體管陣列、引線鍵合點等細微部位熱分布;8X~13X變焦鏡頭聚焦納米尺度,捕捉微小短路點、漏電流區(qū)域等納米級熱點的微弱熱信號,滿足先進制程半導體高精度分析需求。
多段變焦與固定倍率結(jié)合的設計,實現(xiàn)宏觀到微觀熱分析平滑切換,無需頻繁更換配件,大幅提升半導體失效分析、新材料熱特性研究等領域的檢測效率與精細度。 顯微熱紅外顯微鏡圖像分析
蘇州致晟光電科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟奇跡,一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍圖,在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設備中始終保持良好的信譽,信奉著“爭取每一個客戶不容易,失去每一個用戶很簡單”的理念,市場是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領導下,全體上下,團結(jié)一致,共同進退,齊心協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來蘇州致晟光電科技供應和您一起奔向更美好的未來,即使現(xiàn)在有一點小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗,才能繼續(xù)上路,讓我們一起點燃新的希望,放飛新的夢想!