新巴頓自主研發(fā)的微量油氣潤滑系統(tǒng),將潤滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統(tǒng)脂潤滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問題的產(chǎn)生。針對半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤滑脂,其揮發(fā)分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈標準,即便在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,依然能保持穩(wěn)定的潤滑性能。某半導(dǎo)體 MOCVD 設(shè)備使用該潤滑方案后,軸承的維護周期從 3 個月延長至 14 個月,每年可節(jié)省設(shè)備維護成本約 120 萬元,同時減少了因潤滑問題導(dǎo)致的設(shè)備停機風險。巴頓分子泵軸承:高效節(jié)能設(shè)計,降低運行成本。虹口區(qū)BARDUN分子泵軸承
新巴頓為機械行業(yè)用戶提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強輻射環(huán)境),可設(shè)計全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實驗設(shè)備。對于超高速場景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設(shè)計,通過高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿足機械行業(yè)的極端工況需求。定制化過程中,工程師會通過有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構(gòu),如在大型分子泵中增加加強筋設(shè)計,使軸承座的固有頻率避開運轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機械共振。上海巴頓C36STAY39分子泵軸承巴頓分子泵軸承:醫(yī)療器械中的關(guān)鍵組件。
新巴頓在分子泵軸承制造過程中,嚴格把控每一道工序,以實現(xiàn)微米級的加工精度。套圈滾道采用數(shù)控超精磨床加工,圓度誤差控制在 0.3μm 以內(nèi),表面粗糙度 Ra 值達到 0.08μm,較行業(yè)常規(guī)工藝精度提升了 50% 。陶瓷球生產(chǎn)需經(jīng)過 12 道精密研磨工序,通過激光測振篩選,確保每顆陶瓷球的圓度誤差小于 0.08μm,振動幅值不超過 0.08mm/s 。在無塵車間(ISO 6 級)進行裝配,運用真空注脂技術(shù),保證潤滑脂均勻度誤差小于 3% 。經(jīng)三坐標測量儀檢測,成品軸承的軸向游隙控制精度達到 ±1.5μm,為分子泵的穩(wěn)定運行奠定堅實基礎(chǔ)。
新巴頓分子泵軸承在加工過程中進行高精度動平衡處理,殘余不平衡量≤1g?mm/kg,確保機械運轉(zhuǎn)時的低振動特性。在大型分子泵機組中,軸承與轉(zhuǎn)子的組合動平衡等級達到 G1.0(ISO 1940 標準),當轉(zhuǎn)速 30000rpm 時,軸承座振動速度≤1.0mm/s。這種動態(tài)平衡技術(shù)可避免機械系統(tǒng)因振動導(dǎo)致的連接件松動、密封失效等問題,尤其適用于半導(dǎo)體光刻機的真空系統(tǒng) —— 該場景要求振動振幅<10μm,軸承的高精度平衡配合阻尼器設(shè)計,可將振動控制在 5μm 以內(nèi),保障光刻工藝的精度。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新設(shè)計,降低振動。
借助數(shù)字化技術(shù),新巴頓為分子泵軸承構(gòu)建數(shù)字化孿生模型,實現(xiàn)機械系統(tǒng)的預(yù)測性維護。通過采集軸承的溫度、振動、載荷等實時數(shù)據(jù),在虛擬空間中構(gòu)建動態(tài)仿真模型,預(yù)測剩余壽命(誤差≤5%)與失效概率。某汽車零部件廠的真空壓鑄機應(yīng)用該技術(shù)后,軸承更換周期從固定 5000 小時優(yōu)化至按需維護,維護成本降低 40%,停機時間減少 60%。數(shù)字化孿生還可模擬不同工況對軸承的影響,如快速啟停、載荷突變等,為機械工程師提供優(yōu)化運行參數(shù)的依據(jù),提升分子泵軸承在復(fù)雜機械系統(tǒng)中的使用效率。材料疲勞壽命長,新巴頓分子泵軸承通過超 1×10?次循環(huán)測試,性能可靠。寶山區(qū)C1904HX205Y113DF分子泵軸承
國際物流網(wǎng)絡(luò)完善,新巴頓分子泵軸承實現(xiàn)全球快速供應(yīng)。虹口區(qū)BARDUN分子泵軸承
隨著半導(dǎo)體制程向 3nm 以下演進,分子泵軸承正朝超高速、低功耗方向發(fā)展。新巴頓研發(fā)的 SiC 陶瓷軸承,其熱導(dǎo)率(400W/m?K)是氧化鋯陶瓷的 10 倍,可將軸承溫升控制在 15℃以內(nèi),適配 20 萬轉(zhuǎn) / 分鐘的超高速分子泵。同時,基于仿生學(xué)的表面織構(gòu)技術(shù),在滾道表面加工微米級凹坑儲油槽,使?jié)櫥侍嵘?30%,有望實現(xiàn)全壽命免維護。此外,公司正在開發(fā)的智能軸承,內(nèi)置微型傳感器,可實時傳輸溫度、振動、載荷數(shù)據(jù),通過邊緣計算實現(xiàn)故障預(yù)警,推動分子泵系統(tǒng)向預(yù)測性維護升級。這些技術(shù)創(chuàng)新將助力我國真空裝備在半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域的國產(chǎn)化突破。虹口區(qū)BARDUN分子泵軸承