激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計的光學(xué)精密計量儀器，主要用于檢測光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測量精度可達(dá)到1/10-1/100波長量級，采用半導(dǎo)體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點，適用于光學(xué)車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測量口徑設(shè)計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。昆山新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2，它們經(jīng)反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經(jīng)過透射和反射后，來到觀察區(qū)域E。G2（右）為補償板，它與G1為相同材料，有相同的厚度，且平行安裝，目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等，兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時，表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋，移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時，中心就會“吐出”一個個條紋；反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時，則表現(xiàn)為等厚干涉條紋，移動M2時，條紋不斷移過視場中某一標(biāo)記位置，M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關(guān)系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長。高新區(qū)本地雙頻激光干涉儀五星服務(wù)即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。

干涉儀是一種使用干涉測量技術(shù)的光學(xué)計量儀器，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實驗所關(guān)心的物理量。以下是對干涉儀的詳細(xì)介紹：一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化，從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)，這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋，即干涉條紋?；緲?gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏（或檢測器）等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束，分別經(jīng)由反射鏡反射回來，并在干涉屏（或檢測器）上產(chǎn)生干涉圖樣。其中，各元件的功能如下：

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。3、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。

環(huán)境適應(yīng)力強即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測量機，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實時動態(tài)測速高現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀**終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中因此，對于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進(jìn)其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應(yīng)用，具有重大意義。它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。高新區(qū)定制雙頻激光干涉儀銷售廠

而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。昆山新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機校準(zhǔn)及光學(xué)平臺校準(zhǔn)。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。昆山新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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