干式機械真空泵的應(yīng)用是普遍的，主要有以下幾個方面：1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。真空泵和其他設(shè)備組成真空系統(tǒng)，可應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。河源移動式真空泵

選用真空泵時需要注意事項：真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。哈爾濱水循環(huán)真空泵廠商真空泵的抽速還與氣體的種類有關(guān)。

真空泵故障及方法：極限真空不高及其消除（1）油位太低，有較大排氣聲，可加入清潔的真空泵油。（2）泵油為可凝性蒸汽所污染，可開氣鎮(zhèn)凈化或更換新油。（3）泵口外接管道、容器、測試儀表管道、接頭等漏氣。大漏時，有大排氣聲，排氣口有氣排出，應(yīng)找出漏氣部位，進行消除。（4）進氣咀或氣鎮(zhèn)閥橡膠密封圖裝配不當(dāng)，損壞或老化，應(yīng)調(diào)整或更換。（5）進油咀油孔堵塞，可拔出進油咀，疏通油孔。（6）真空系統(tǒng)嚴(yán)重污染，包括容器、管道等，應(yīng)予清洗。（7）旋片彈簧折斷，應(yīng)予調(diào)換。（8）旋片、泵身或蓋磨損，間隙過大，應(yīng)進行檢查，修整或調(diào)換。（9）泵溫過高，應(yīng)改善通風(fēng)和冷卻。如所抽氣體溫度太高，應(yīng)予先冷卻后再進入泵內(nèi)。

真空泵的好壞決定于其機械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時必須也要保護好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。因此使用真空泵時必須注意下列幾點：在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中有機溶劑的蒸氣。如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。真空泵可單獨使用，也可用為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵、維持泵、鈦泵的預(yù)抽泵用。

真空泵機械選擇：⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。真空泵常常安裝在地面結(jié)實堅固的場所。水真空泵制造廠家

真空泵的使用保養(yǎng)方法是什么？河源移動式真空泵

真空泵的操作方法：檢查真空系統(tǒng)中的閥門是否開啟或關(guān)閉，真空裝置上方的閥門應(yīng)關(guān)閉，檢查系統(tǒng)是否有泄漏。檢查真空泵油杯中的真空泵油是否符合要求;檢查水環(huán)泵室中的水量是否超過水環(huán)泵的啟動要求，允許少量水或空腔留在泵室中，否則大部分水應(yīng)在啟動前排干。嚴(yán)禁泵房充水啟動，以免造成跳閘或葉輪破損。檢查水和電路的連接。水路是否平整，水壓是否滿足要求，連接回路時，每臺真空泵的轉(zhuǎn)向必須滿足要求。每臺水環(huán)泵與羅茨水環(huán)真空機組的聯(lián)軸器在手板上，應(yīng)有彈性不卡的現(xiàn)象，尤其是水環(huán)泵。河源移動式真空泵