潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產品能夠在良好的環(huán)境空間中生產制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結構來說,哪怕是一點點的粉塵也會產生非常大的負面影響。噪音水平檢測有助于評估潔凈室內的工作環(huán)境舒適度。福建電子廠房環(huán)境檢測方便客戶
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設計應符合下列規(guī)定:1在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應按微振控制要求設計。2潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及連接管道應采取主動隔振措施。3應測定潔凈廠房內、外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。當生產工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時,可按現(xiàn)行國家標準《隔振設計規(guī)范》GB50463的有關規(guī)定執(zhí)行。浙江潔凈室環(huán)境檢測技術好潔凈室(區(qū))溫度應為18~26℃,相對濕度應為45%~65%。
潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統(tǒng)調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統(tǒng)已經充分運轉,各項狀況已經穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。
1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計測定上下游粒子的濃度,得出泄漏率的大小。3.儀器設備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進行收費,過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器,一般檢測時采用冷發(fā)收費較貴而采用熱發(fā)收費較為優(yōu)惠,具體報價請聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預檢查①對于非層流區(qū)域-關閉HVAC的風機。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機組的負壓段。②對于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風口,風機進風口或專門的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔,如果沒有測試孔,可在空調機組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計內部參數(shù)調節(jié)至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對球型結構,直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源,溫度升至400??C。檢測過程中,應確保所有設備處于正常工作狀態(tài)。
2、溫濕度潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。***個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統(tǒng)調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統(tǒng)已經充分運轉,各項狀況已經穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。3、壓差這項檢測的目的是驗證完工設施與周圍環(huán)境之間、設施內各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進行這項檢測。壓差的測試應在所有的門都關閉的條件下,由高壓向低壓、由平面布置上與外界**遠的里間房間開始,依次向外測試;有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室(區(qū)),其洞口處宜有合理的氣流流向等等。由于排風量大造成新風量大,故新風處理所需冷量消耗大。上海排風柜檢測價格
潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進機會應納入持續(xù)改進計劃中。福建電子廠房環(huán)境檢測方便客戶
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量??諝鈽颖境槿藘x器,經噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行。空氣樣本中的所有粒子均在測量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質量成反比。利用測量點的風速與粒子速度兩者的關系,可測定粒子的空氣動力學直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。福建電子廠房環(huán)境檢測方便客戶