特定設(shè)計(jì)芯片的批量生產(chǎn)也降低了其成本。Caliper的旗艦產(chǎn)品是LabChip 3000新藥研發(fā)系統(tǒng)，其微流體成分分析可以達(dá)到10萬(wàn)個(gè)樣品，還有用于高通量基因和蛋白分析的LabChip 90 電泳系統(tǒng)。據(jù)Caliper宣稱(chēng)，75 %的主要制藥和生物技術(shù)公司都在使用LabChip 3000系統(tǒng)。美國(guó)加州的安捷倫科技公司曾與Caliper科技公司簽署正式合作協(xié)議，該項(xiàng)合作于1998年開(kāi)始，安捷倫作為一個(gè)儀器生產(chǎn)商的實(shí)力，結(jié)合其在噴墨墨盒的經(jīng)驗(yàn)，在微流控技術(shù)尚未成熟時(shí)，就對(duì)微流體市場(chǎng)做出了獨(dú)特的預(yù)見(jiàn)，除了采用MEMS微納米加工技術(shù)外，采用噴墨打印是目前為止微流控技術(shù)應(yīng)用很多的產(chǎn)品路徑之一。微流控芯片通過(guò)設(shè)計(jì)可以呈現(xiàn)多流道的形式。湖南微流控芯片 公司

玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學(xué)穩(wěn)定性及表面平整性，成為光學(xué)檢測(cè)類(lèi)微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結(jié)合工藝，在玻璃基板上實(shí)現(xiàn)1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，確保流道結(jié)構(gòu)的三維高精度匹配。刻蝕后的玻璃芯片通過(guò)高溫鍵合（300-450℃）或陽(yáng)極鍵合實(shí)現(xiàn)密封，鍵合強(qiáng)度可達(dá)5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無(wú)泄漏）。典型應(yīng)用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測(cè)芯片，其光滑的玻璃表面可直接進(jìn)行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質(zhì)吸附等反應(yīng)。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過(guò)優(yōu)化刻蝕液配比與等離子體參數(shù)，將流道深度誤差控制在±2%以內(nèi)，滿足前端科研與工業(yè)檢測(cè)對(duì)芯片一致性的嚴(yán)苛要求。山東微流控芯片誠(chéng)信合作硅基微流道鍵合微電極，為神經(jīng)調(diào)控芯片提供穩(wěn)定信號(hào)傳輸與生物相容性。

微孔陣列芯片在液滴分散與生化反應(yīng)中的應(yīng)用：微孔陣列作為微流控芯片的主要功能單元，其加工精度直接影響液滴生成效率與反應(yīng)均一性。公司通過(guò)光刻膠模塑、激光微加工等技術(shù)，在PDMS或硬質(zhì)塑料基板上制備直徑5-50μm、間距可控的微孔陣列，孔密度可達(dá)10^4個(gè)/cm2以上。在數(shù)字PCR芯片中，微孔陣列將反應(yīng)液分割成微腔，結(jié)合油相封裝實(shí)現(xiàn)單分子級(jí)核酸擴(kuò)增，檢測(cè)靈敏度可達(dá)0.1%突變頻率。針對(duì)生化試劑反應(yīng)腔需求，開(kāi)發(fā)了表面疏水處理技術(shù)，使液滴在微孔內(nèi)的滯留時(shí)間延長(zhǎng)30%，確保酶促反應(yīng)充分進(jìn)行。此外，微孔陣列與微流道的集成設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了液滴的高通量生成與分選，每分鐘可處理10^3個(gè)以上液滴，適用于高通量藥物篩選與細(xì)胞分選芯片，為醫(yī)療與生物制藥提供高效工具。

安捷倫已有一些儀器使用趨向于具有更多可用性方面的經(jīng)驗(yàn)，并將這些經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用到了微流體技術(shù)開(kāi)發(fā)上。微流體和生物傳感器的項(xiàng)目經(jīng)理Kevin Killeen博士在接受采訪時(shí)說(shuō)，安捷倫的目標(biāo)是為終端使用者解除負(fù)擔(dān)，“由適宜的儀器產(chǎn)品組裝成的系統(tǒng)可以讓非專(zhuān)業(yè)人士操縱專(zhuān)業(yè)設(shè)備”。微流體技術(shù)也需要適時(shí)表現(xiàn)出其自身的實(shí)用性和可靠性，例如，納米級(jí)電噴霧質(zhì)譜分析（nano-electrospray MS）不必考慮其頂端的閉合及邊帶的加寬，Killeen補(bǔ)充道：“對(duì)于生物學(xué)家來(lái)說(shuō)，微流控技術(shù)的價(jià)值就在于此?！笨啥ㄖ萍庸ば∨?PDMS、硬質(zhì)塑料、玻璃、硅片等材質(zhì)的微流控芯片。

什么是微流控技術(shù)？微流控技術(shù)是一門(mén)精確控制和操縱流體的科學(xué)技術(shù)，這些流體在幾何空間上被限制在小規(guī)模流道中，通常流道系統(tǒng)的直徑低于100μm。對(duì)于科學(xué)家和工程師來(lái)講，微流體一詞的使用方式存在不同；對(duì)許多教授來(lái)說(shuō)，微流控是一個(gè)科學(xué)領(lǐng)域，主要應(yīng)用于通過(guò)直徑在100微米（μm）到1微米之間的流道研究和操縱微量流體。對(duì)微流控工程師來(lái)講，微流控芯片（通常稱(chēng)為：生物MEMS芯片）的制造，主要是為了引導(dǎo)流體在直徑為100μm至1μm的流道系統(tǒng)中流動(dòng)。利用微流控芯片對(duì)cancer標(biāo)志物檢測(cè)。河北微流控芯片pcr

表面親疏水涂層調(diào)控接觸角，優(yōu)化微流道內(nèi)流體傳輸與反應(yīng)效率。湖南微流控芯片 公司

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學(xué)方法對(duì)其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術(shù)將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機(jī)均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學(xué)腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當(dāng)?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結(jié)束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標(biāo)準(zhǔn)光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境，無(wú)法實(shí)現(xiàn)快速批量生產(chǎn)。湖南微流控芯片 公司