20世紀(jì)60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術(shù)。到80年代初，其加工尺寸精度已可達(dá)10納米（1納米=0.001微米）級(jí)，表面粗糙度達(dá)1納米，加工的小尺寸達(dá) 1微米，正在向納米級(jí)加工尺寸精度的目標(biāo)前進(jìn)。納米級(jí)的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。20 世紀(jì) 50 年代至 80 年代為技術(shù)開創(chuàng)期。20 世紀(jì) 50 年代末，出于航天等技術(shù)發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。不受加工數(shù)量的限制，對于小批量加工服務(wù)，激光超精密加工更加便宜。日本技術(shù)超精密薄膜芯片

超精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢向更高精度方向發(fā)展：由現(xiàn)在的亞微米級(jí)向納米級(jí)進(jìn)軍，以期達(dá)到移動(dòng)原子的目的，實(shí)現(xiàn)原子級(jí)加工。向大型化方向發(fā)展：研制各類大型的超精密加工設(shè)備，以滿足航空、航天、通信和安全的需要。向微型化方向發(fā)展：以適應(yīng)飛速發(fā)展的微機(jī)械、集成電路的需要。向超精結(jié)構(gòu)、多功能、光、加工檢測一體化等方向發(fā)展：多采用先進(jìn)的檢測監(jiān)控技術(shù)實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償。新工藝和復(fù)合加工技術(shù)不斷涌現(xiàn)：使加工的材料的范圍不斷擴(kuò)大1。韓國技術(shù)超精密半導(dǎo)體卡盤改變基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光電鍍、激光合金化和激光氣相沉積等應(yīng)用。

精密加工小知識(shí)：IT是加工精度的衡量單位，主要為衡量生產(chǎn)產(chǎn)品的精度、品質(zhì)、加工誤差。IT后面的數(shù)值愈大，表示精度越低、誤差越大，如IT9就比IT5來的粗糙；公差等級(jí)從IT01，IT0，IT1，IT2，IT3至IT18一共有20個(gè)。精密加工技術(shù)特色介紹隨著時(shí)代變化，工業(yè)能力的不斷進(jìn)步，有可能現(xiàn)在的精密加工也會(huì)變成明天的粗加工。常見工藝過程有：車削、銑削、鉆孔、插齒、珩磨、磨削等；若有特殊需求，在車床加工完后還會(huì)多一道熱處理的方式，包括：滲碳，淬火，回火等，提升硬度、機(jī)械規(guī)格。目前精密加工技術(shù)能應(yīng)用在「所有的」金屬材料、塑料、木材、石磨與玻璃上，但由于不同材質(zhì)的表面都有所差異，所以切割與研磨等數(shù)值都需在CAD（計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)）或CAM（計(jì)算機(jī)輔助制造）程序上架構(gòu)好，并嚴(yán)格遵守才能確保產(chǎn)品品質(zhì)、降低誤差。由于材料范圍廣且精度高，精度加工技術(shù)普遍會(huì)應(yīng)用在航太業(yè)、醫(yī)療器材、太陽能板零件等。此外，當(dāng)精密加工已無法達(dá)到更好的形狀精度(formaccuracy)、表面粗糙度(surfaceroughness)與尺寸精度時(shí)，就會(huì)需要使用到超精密加工的技術(shù)。

超精密加工超精密加工（Ultra-precision machining）是一種高度精確的制造技術(shù)，通常用于生產(chǎn)具有極高表面質(zhì)量和尺寸精度的零部件。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、航空航天、醫(yī)療器械等領(lǐng)域。以下是一些關(guān)于超精密加工的關(guān)鍵點(diǎn)：特點(diǎn)和應(yīng)用高精度：超精密加工能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的精度，這使得它非常適合用于制造光學(xué)鏡頭、半導(dǎo)體器件和其他需要極高精度的產(chǎn)品。表面質(zhì)量控制：超精密加工的目標(biāo)是通過表面質(zhì)量控制獲得預(yù)定的表面功能。例如，光學(xué)鏡片的表面需要非常光滑以確保光線的正確傳播。激光超精密加工的切割面光滑：激光切割的切割面無毛刺。

精密零件的加工生產(chǎn)離不開精密切削技術(shù)，半導(dǎo)體/LCD、MLCC、二次電池等領(lǐng)域尤其使用精密零件。一般磨削技術(shù)的問題是，磨削后要根據(jù)葉輪磨損量繼續(xù)進(jìn)行修整，修整后葉輪表面會(huì)發(fā)生細(xì)微變化，因此很難保持相同的質(zhì)量。相反，ELID研磨技術(shù)可以解決這些問題，因?yàn)闊o需研磨即可連續(xù)工作。微泰的ELID（在線砂輪修正）技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)為基礎(chǔ)，實(shí)現(xiàn)高精度的切削加工技術(shù)，由此生產(chǎn)的產(chǎn)品具有一般難以生產(chǎn)的高精度平坦度和質(zhì)量。提高真空板（VACUUM板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，減少研磨時(shí)的Burr，無需手動(dòng)調(diào)整可以連續(xù)穩(wěn)定作業(yè)。刀片可以做到，材料：碳化鎢、氧化鋯等。刀片厚度（t1）：100?葉片。邊緣厚度（t2）：低于0.2?。刀刃線性度：低于5?。刀刃對稱性：低于3?。刀片邊緣粗糙度：Ra0.02?。角度（θ）精度：±0.3°激光超精密加工的對象范圍很寬，包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料，適于材料的打孔、焊接、表面改性等。超快激光超精密分度盤

激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合于超精密加工。激光精密加工質(zhì)量的影響因素少，加工精度高。日本技術(shù)超精密薄膜芯片

飛秒激光技術(shù)在超精密加工領(lǐng)域的應(yīng)用，如微機(jī)械加工、微電子制造等，其重點(diǎn)在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力，實(shí)現(xiàn)對材料的精細(xì)加工。超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米甚至納米級(jí)別的制造技術(shù)，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、航空航天、精密模具、半導(dǎo)體和醫(yī)療器械等領(lǐng)域，能夠滿足高精度、高表面質(zhì)量的產(chǎn)品需求。超精密鉆孔技術(shù)是一種高精度加工方法，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)甚至亞微米級(jí)的加工精度。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、精密儀器等領(lǐng)域，主要用于加工微型孔、異形孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。其加工設(shè)備通常包括數(shù)控機(jī)床、激光鉆孔系統(tǒng)等，并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質(zhì)量。日本技術(shù)超精密薄膜芯片