MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機電系統(tǒng)的重要組成部分，MEMS傳感器是實現(xiàn)微機電系統(tǒng)感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術，即微電子制造技術和微機械加工制造技術，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應工作的，它的制作工藝結合當今先進的IC微電子加工工藝和MEMS微機械加工制造工藝來實現(xiàn)，通過對材料的微機械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結構器件(如梁、膜、叉指等單一或復合的結構)，從而實現(xiàn)對各種相關參數(shù)的感知、測試和轉換利用激光技術進行測量的傳感器。它由激光器、激光檢測器和測量電路組成。普陀區(qū)標準傳感器推薦貨源

壓力壓力傳感器引是工業(yè)實踐中**為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、**、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。超聲波測距離超聲波測距離傳感器采用超聲波回波測距原理，運用精確的時差測量技術，檢測傳感器與目標物之間的距離，采用小角度，小盲區(qū)超聲波傳感器，具有測量準確，無接觸，防水，防腐蝕，低成本等優(yōu)點，可應于液位，物位檢測，特有的液位，料位檢測方式，可保證在液面有泡沫或大的晃動，不易檢測到回波的情況下有穩(wěn)定的輸出，應用行業(yè)：液位，物位，料位檢測，工業(yè)過程控制等。徐匯區(qū)常見傳感器特點物理類，基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應。

例如，基于半導體硅材料壓阻效應的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應的微位移傳感器等。1.應用于醫(yī)療MEMS傳感器應用于無創(chuàng)胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數(shù)很難測量準確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀，價格昂貴，*為少數(shù)大醫(yī)院使用，在中、小型醫(yī)院及廣大的農村地區(qū)無法普及。此外，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇，不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。

在生產過程中，位移的測量一般分為測量實物尺寸和機械位移兩種。機械位移包括線位移和角位移。按被測變量變換的形式不同，位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型（如自發(fā)電式）和結構型兩種。常用位移傳感器以模擬式結構型居多，包括電位器式位移傳感器、 電感式位移傳感器、自整角機、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、霍爾式位移傳感器等。數(shù)字式位移傳感器的一個重要優(yōu)點是便于將信號直接送入計算機系統(tǒng)。這種傳感器發(fā)展迅速，應用日益***。在基礎學科研究中，傳感器更具有突出的地位。

玻璃封裝連接器優(yōu)點：廣泛應用于露點儀、電力設備、物聯(lián)網設備、航空航天連接器，煤炭開采和石油勘探設備，實現(xiàn)數(shù)據的采集和傳輸。技術性能：1.常溫常壓下，泄漏率≤1*10 -9 Pa.m 3 /s(He)；2.絕緣電阻大于1000MΩ/500VDC（500伏，1000兆歐）;3.玻璃絕緣子與底座間耐壓強度大于300MPa4.良好的焊接性能。電阻式電阻式傳感器是將被測量，如位移、形變、力、加速度、濕度、溫度等這些物理量轉換式成電阻值這樣的一種器件。主要有電阻應變式、壓阻式、熱電阻、熱敏、氣敏、濕敏等電阻式傳感器件。線性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成，它輸出模擬量。徐匯區(qū)常見傳感器特點

化學類，基于化學反應的原理。普陀區(qū)標準傳感器推薦貨源

(1)將敏感元件與信號處理、校準、補償、微控制器等進行單片集成，研制智能化的壓力傳感器。(2)進一步提高壓力傳感器的靈敏度，實現(xiàn)低量程的微壓傳感器。(3)提高工作溫度，研制高低溫壓力傳感器。(4)開發(fā)諧振式壓力傳感器。2、微加速度傳感器硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進入市場的微機械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中相當有有吸引力的是力平衡加速度計，其典型產品是Kuehnel等人在1994年報道的AGXL50型。普陀區(qū)標準傳感器推薦貨源

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