皮拉尼型真空計在氣相沉積中的分類：單片淀積工藝推動并導(dǎo)致產(chǎn)生了新的CVD反應(yīng)室結(jié)構(gòu)。這些新的結(jié)構(gòu)中絕大多數(shù)都使用了等離子體，其中一部分是為了加快反應(yīng)過程，也有一些系統(tǒng)外加一個按鈕，以控制淀積膜的質(zhì)量。根據(jù)金屬源的自特性來保證它的分類，這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài)，在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。通過調(diào)整淀積：蝕刻比率，有可能得到一個很好的縫隙填充工藝。皮拉尼真空計，又有翻譯派藍(lán)尼真空計。此種真空計屬于熱傳導(dǎo)式真空計的一種。電阻真空計是全鋁合金殼體，他的外觀堅固輕盈且美觀大方。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家

皮拉尼型真空計的分類：皮拉尼真空計，熱電偶真空計，熱敏電阻真空計，定電流式燈絲的溫度會隨著真空壓力的變化而變化，由于燈絲為高電阻溫度系數(shù)材料，燈絲的溫度的改變會導(dǎo)致燈絲電阻值發(fā)生變化，以電阻電橋的感測方式來測定電阻的改變就可以證明出真空壓力的變化。定電壓式當(dāng)感應(yīng)頭里的燈絲上維持一定的電壓時，燈絲的溫度會隨真空壓力而發(fā)生變化。以真空壓力變高時為例，此時熱傳導(dǎo)帶走的熱能增加，燈絲的溫度會下降，由于燈絲為高電阻溫度系數(shù)材料，燈絲的溫度變低會導(dǎo)致燈絲的電阻值上升，當(dāng)燈絲兩段的電壓不發(fā)生變化的時候，會使通過燈絲的電流降低，因此電流的減少也就證明出真空壓力增高。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家真空計具有簡單、經(jīng)濟(jì)、使用方便等特點。

常見的真空計和真空部件：常見真空計有電阻真空計(皮拉尼真空計)、熱電偶真空計、電容真空計、電離真空計、冷陰極電離真空計和全量程真空計等。其中冷陰極電離真空計又分為潘寧規(guī)、磁控管規(guī)和反磁控管規(guī)三種。全量程真空計是低真空計和高真空計的組合；電阻真空計量程寬，比較常用；熱電偶真空計量程窄，結(jié)構(gòu)簡單，不易損壞；電容真空計測量值不受氣體種類的影響；電離真空計屬于高真空計，會發(fā)熱；冷陰極電離真空計屬于高真空計，不發(fā)熱，易維修；全量程真空計自動量程切換，使用方便。

皮拉尼真空計的原理：利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)。皮拉尼真空計,也稱電阻式真空規(guī)。其工作原理是：真空度不同，單位體積內(nèi)的空氣分子數(shù)就不同，對于正在發(fā)熱的電阻絲帶走熱量的能力（散熱能力）就不同，電阻絲溫度就不同，因為電阻絲的電阻率是溫度的函數(shù)，所以不同的真空度就引起了電阻率的不同，則電阻就不同，電流在電阻絲上的壓降就不同，根據(jù)電壓的變化就能換算出空氣壓強(qiáng)，也就是測量真空度。實際的皮拉尼真空計一般做成四臂電橋，并有用于溫度補(bǔ)償?shù)碾娮杞z與其串聯(lián)。當(dāng)氣體分子平均自由程大于容器的線度時，電阻真空計的熱傳導(dǎo)系數(shù)正比于壓強(qiáng)。

皮拉尼真空計的特點：1.熱電偶真空計配用的傳感器抗沾污、抗氧化、結(jié)實、不怕氣流沖擊與振動。2.重復(fù)性好。眾所周知，在工業(yè)應(yīng)用中，真空測量的重復(fù)性比側(cè)量精度更為重要。是用戶較關(guān)心的一個指標(biāo)。測試結(jié)果與應(yīng)用實例表明本真空計的重復(fù)性是工業(yè)應(yīng)用中較理想的中、低真空測量儀器。3.測量范圍寬。國內(nèi)外熱偶真空計的測量范圍達(dá)到1-105Pa尚是一次出現(xiàn)。4.帶有兩組觸點輸出。既可作真空檢測，又可作真空監(jiān)控真空繼電器用。5.帶有斷絲報警。當(dāng)規(guī)管斷絲或規(guī)管電纜接觸不良，操作者能及時發(fā)現(xiàn)。焊接時，必須將真空計套在接頭上的密封圈取下。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家

真空計按測量性質(zhì)可分為真空計和相對真空計。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家

電阻真空計選用須知：1在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度；2被測氣體是否會對真空計造成損傷；3真空計是否會對被測真空環(huán)境造成影響；4真空計所測壓強(qiáng)是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān)；5真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應(yīng)時間如何。除此之外，在選擇真空計時還會涉及到接口類型等。在多方面了解上述的幾方面內(nèi)容之后，就能知道如何選擇合適的真空計了。低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導(dǎo)真空計。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家

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